公开(公告)号：CN111670265A

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN201980011102.4

申请日：2019-01-30

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格 ,  纳格拉杰·尚卡尔

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  F16K27/00

Abstract: 多种实施方案包含将前体气体供应至处理工具的设备。在多种示例中，设备包含使用点(POU)阀歧管，POU阀歧管包含耦合至处理工具的处理室的歧管体。歧管体具有由环状部围绕的多个前体气体出口端口。歧管体的清扫气体出口端口实质上朝向环状部的内壁。针对多种前体气体中的每一种，POU阀歧管还包含耦合至歧管体的第一阀以及耦合至第一阀的转向阀。第一阀可耦合至前体气体供应部且具有在歧管体内部的独立的前体气体流动路径。转向阀在前体气体不由第一阀引导至处理室内时的时间段期间使前体气体转向。其他实施例被公开。

公开(公告)号：CN113614902B

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202080021384.9

申请日：2020-03-12

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 尼克·雷·小莱恩巴格 ,  普拉哈拉德·纳拉辛格达斯·阿加瓦尔 ,  拉维库玛·萨达希夫·帕蒂尔 ,  达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格

IPC: H01L21/687 ,  H05B1/02 ,  B23K20/12 ,  H01L21/67

Abstract: 在一示例中，提供了一种用于衬底处理室的喷头基座组件。该喷头基座组件包括面板。平台被设置在该面板内，并且包括延伸通过该面板内至少一个沟槽的加热器元件。该至少一个沟槽的轮廓被设置成接纳该加热器元件的至少一部分。通过摩擦搅拌焊接的接合部将平台的周缘接合至面板的内表面上。

公开(公告)号：CN112262464B

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN201980039640.4

申请日：2019-06-06

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格 ,  纳格拉杰·尚卡尔

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  C23C16/455

Abstract: 一种用于衬底处理室的喷头包含：内壁；内充气腔，其位于所述内壁之间；面板，其具有第一表面与第二表面，所述第二表面与所述第一表面相反；穿过所述面板的孔，其从所述第一表面延伸到所述第二表面；第一入口，其与所述内充气腔流体地连接；外壁；第一外充气腔，其位于所述内壁与所述外壁之间；第二外充气腔，其位于所述内壁与所述外壁之间；以及冷却剂通道，其：使所述第一外充气腔与所述第二外充气腔流体地连接；设置在所述面板内且在所述第一与第二表面之间；并且与所述孔流体地隔离。所述喷头还包括：第二入口，其与所述第一外充气腔流体地连接。

公开(公告)号：CN115485413A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202180032064.8

申请日：2021-04-07

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 罗希特·欧德 ,  尤金·斯马加西 ,  杰弗里·沃马克 ,  尼克·拉伊·小林百格 ,  达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格 ,  埃里克·马德森

IPC: C23C16/455

Abstract: 一种方法包括：选择待加工的在第一公差范围内的多个第一特征；以及待加工的在选定特征的指定尺寸的第二公差范围内的多个第二特征，该第二特征相隔至少预定距离定位。该方法包括：使用工具的切割配件以加工在该第一公差范围内的第一特征，且当与该工具相关的造成第一选定特征的尺寸变化的参数达到预定阈值时，使用该切割配件以加工在该第二公差范围内的第二选定特征。在第二方法中，第一和第二特征的尺寸的平均值与指定尺寸的偏差小于或等于预定平均偏差，且第一和第二特征的尺寸的标准偏差小于或等于预定标准偏差。

公开(公告)号：CN113614902A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202080021384.9

申请日：2020-03-12

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 尼克·雷·小莱恩巴格 ,  普拉哈拉德·纳拉辛格达斯·阿加瓦尔 ,  拉维库玛·萨达希夫·帕蒂尔 ,  达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格

IPC: H01L21/687 ,  H05B1/02 ,  B23K20/12 ,  H01L21/67

Abstract: 在一示例中，提供了一种用于衬底处理室的喷头基座组件。该喷头基座组件包括面板。平台被设置在该面板内，并且包括延伸通过该面板内至少一个沟槽的加热器元件。该至少一个沟槽的轮廓被设置成接纳该加热器元件的至少一部分。通过摩擦搅拌焊接的接合部将平台的周缘接合至面板的内表面上。

公开(公告)号：CN112262464A

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：CN201980039640.4

申请日：2019-06-06

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格 ,  纳格拉杰·尚卡尔

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  C23C16/455

Abstract: 一种用于衬底处理室的喷头包含：内壁；内充气腔，其位于所述内壁之间；面板，其具有第一表面与第二表面，所述第二表面与所述第一表面相反；穿过所述面板的孔，其从所述第一表面延伸到所述第二表面；第一入口，其与所述内充气腔流体地连接；外壁；第一外充气腔，其位于所述内壁与所述外壁之间；第二外充气腔，其位于所述内壁与所述外壁之间；以及冷却剂通道，其：使所述第一外充气腔与所述第二外充气腔流体地连接；设置在所述面板内且在所述第一与第二表面之间；并且与所述孔流体地隔离。所述喷头还包括：第二入口，其与所述第一外充气腔流体地连接。