形状测定装置以及方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101970983B

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN201080001241.8

    申请日:2010-03-09

    CPC classification number: G01B9/02044 G01B9/02063 G01B11/2441

    Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及方法,使从光源(90)射出的光成为平行光,将该平行光分支为两束,分支后的光中的一束通过圆锥透镜(104),变为在规定距离上在光轴上的能量密度达到极大的光(光束),并使其照射于被测定物(105)的表面,分支后的光中的另一束照射于参照镜(107),通过对照射于被测定物的表面的光(光束)的后方散射光与来自参照镜的反射光的干涉光进行检测,测定被测定物的形状。

    形状测定装置以及方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101970983A

    公开(公告)日:2011-02-09

    申请号:CN201080001241.8

    申请日:2010-03-09

    CPC classification number: G01B9/02044 G01B9/02063 G01B11/2441

    Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及方法,使从光源(90)射出的光成为平行光,将该平行光分支为两束,分支后的光中的一束通过圆锥透镜(104),变为在规定距离上在光轴上的能量密度达到极大的光(光束),并使其照射于被测定物(105)的表面,分支后的光中的另一束照射于参照镜(107),通过对照射于被测定物的表面的光(光束)的后方散射光与来自参照镜的反射光的干涉光进行检测,测定被测定物的形状。

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