形状测定装置以及方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101970983B

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN201080001241.8

    申请日:2010-03-09

    CPC classification number: G01B9/02044 G01B9/02063 G01B11/2441

    Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及方法,使从光源(90)射出的光成为平行光,将该平行光分支为两束,分支后的光中的一束通过圆锥透镜(104),变为在规定距离上在光轴上的能量密度达到极大的光(光束),并使其照射于被测定物(105)的表面,分支后的光中的另一束照射于参照镜(107),通过对照射于被测定物的表面的光(光束)的后方散射光与来自参照镜的反射光的干涉光进行检测,测定被测定物的形状。

    折射率测定装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102007392B

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201080001377.9

    申请日:2010-01-21

    CPC classification number: G01M11/0228

    Abstract: 本发明提供一种折射率测定装置。以将被检物(23)夹在中间的方式配置两个探针光学系统(22、24)以便用于测定被检物(23),由此,利用该被检物的干涉信号算出通过局部确定的被检物中的光的光程长度,而且,通过测定探针光学系统的位置而算出该部分的几何厚度,求出光程长度和几何厚度这两个值,并基于这些值和基准物的计算值,求出被检物的折射率分布。

    点群数据的曲面变换方法

    公开(公告)号:CN1099645C

    公开(公告)日:2003-01-22

    申请号:CN96106665.2

    申请日:1996-05-23

    Abstract: 本发明揭示一种点群数据的曲面变换方法,该方法从三维测量仪计量到的被测量物(10)的曲面三维坐标的实测点群数据(P),得到曲面数据(S),其特征在于,对三维坐标系统,在(P)的分布面(10a)的邻近处或边界位置设定具有规定图形形状的基本形状面(5a)后,在(5a)上确定多个基准点(Q),在(Q)上向(10a)设定标明方向的有向向量(6a),再对各基准点(Q)求出(6a)在所示方向的延长线与(10a)交叉的处理点群数据(D),并根据(D)求得(S)。

    形状测定装置以及方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101970983A

    公开(公告)日:2011-02-09

    申请号:CN201080001241.8

    申请日:2010-03-09

    CPC classification number: G01B9/02044 G01B9/02063 G01B11/2441

    Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及方法,使从光源(90)射出的光成为平行光,将该平行光分支为两束,分支后的光中的一束通过圆锥透镜(104),变为在规定距离上在光轴上的能量密度达到极大的光(光束),并使其照射于被测定物(105)的表面,分支后的光中的另一束照射于参照镜(107),通过对照射于被测定物的表面的光(光束)的后方散射光与来自参照镜的反射光的干涉光进行检测,测定被测定物的形状。

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