形状测定装置以及方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101970983B

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN201080001241.8

    申请日:2010-03-09

    CPC classification number: G01B9/02044 G01B9/02063 G01B11/2441

    Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及方法,使从光源(90)射出的光成为平行光,将该平行光分支为两束,分支后的光中的一束通过圆锥透镜(104),变为在规定距离上在光轴上的能量密度达到极大的光(光束),并使其照射于被测定物(105)的表面,分支后的光中的另一束照射于参照镜(107),通过对照射于被测定物的表面的光(光束)的后方散射光与来自参照镜的反射光的干涉光进行检测,测定被测定物的形状。

    形状测定方法及装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102713508A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201180003359.9

    申请日:2011-05-31

    CPC classification number: G01B11/2441 G01B9/02007 G01B9/02058

    Abstract: 在向被测定物(105)入射的光和向参照反射镜(107)的光的光轴上,分别配置透镜组(202、203、204),该透镜组(202、203、204)使用准直透镜的焦点距离及/或阿贝数,对消色差条件、光束直径条件、减色差条件进行最佳化,通过使用该透镜组(202、203、204)对波面进行修正,能够减少波面像差的影响,在基于光干涉的形状测定中能提高析像度。

    形状测定装置以及方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101970983A

    公开(公告)日:2011-02-09

    申请号:CN201080001241.8

    申请日:2010-03-09

    CPC classification number: G01B9/02044 G01B9/02063 G01B11/2441

    Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及方法,使从光源(90)射出的光成为平行光,将该平行光分支为两束,分支后的光中的一束通过圆锥透镜(104),变为在规定距离上在光轴上的能量密度达到极大的光(光束),并使其照射于被测定物(105)的表面,分支后的光中的另一束照射于参照镜(107),通过对照射于被测定物的表面的光(光束)的后方散射光与来自参照镜的反射光的干涉光进行检测,测定被测定物的形状。

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