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1.

发明公开
微电子机械系统器件无效

公开(公告)号：CN102066239A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980122969.3

申请日：2009-12-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 山冈徹 , 三由裕一 , 竹内祐介

IPC: B81B3/00 , H04R19/00

CPC classification number: B81B3/0072

Abstract: 本发明公开了一种微电子机械系统器件。该微电子机械系统器件包括硅基板(1)、振动膜(6)及固定膜(13)。该振动膜(6)隔着束缚部(12)设置在硅基板(1)上并具有下电极(7)。该固定膜(13)隔着支撑部(18)设置在硅基板(1)上，覆盖振动膜(6)并具有上电极(14)。振动膜(6)和固定膜(13)之间，具有由形成在彼此相向的区域的间隙形成的气隙层(17)。束缚部(12)将硅基板(1)和振动膜(6)部分地连接起来，振动膜(6)具有下电极(7)和具有压应力的绝缘膜(8)叠层形成的多层结构。绝缘膜(8)设置在比下电极(7)的周缘更靠向内侧。

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