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公开(公告)号：CN102348621B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201080011242.0
申请日：2010-03-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1345 , H01L21/677 , H05K13/02
CPC classification number: H01L21/67173 , B65G49/061 , B65G49/067 , B65G49/068 , H01L21/6838 , H01L21/68728 , H05K13/0061
Abstract: 本发明提供一种基板搬运处理系统，其使用基板移载装置，在第一作业装置和第二作业装置之间，进行保持单元(70)的回旋移动，并在沿水平方向保持一定姿势且同时搬运基板，该基板移载装置具有：臂部(61)；支承轴(62)，其固定于臂部(61)的一端，在水平面内将臂部支承为能够回旋，并且配置在第一作业装置和第二作业装置之间；保持单元(70)，其支承于臂部(61)的另一端，并吸附保持基板的上表面；旋转驱动装置(64)，其以支承轴(62)为旋转中心使臂部(61)回旋，从而使保持单元(70)回旋移动；姿势保持机构(66-69)，其使回旋移动的保持单元在水平方向保持一定姿势。
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公开(公告)号：CN102176981B
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN200980139903.5
申请日：2009-10-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B08B1/00
CPC classification number: B08B1/008 , Y10S134/902
Abstract: 本发明提供基板清洗装置及其方法。基板清洗装置通过清洗带(12)的拂拭面(12a、12b)清洗基板(1)的侧缘部的表侧的清洗面(1a)和背侧的清洗面(1b)，基板清洗装置具有：将清洗带(12)按压到清洗面(1a)上的按压构件(11a)；将清洗带(12)按压到清洗面(1b)上的按压构件(11b)；通过按压构件(11a)与清洗面(1a)之间以及按压构件(11b)与清洗面(1b)之间的带路径；使清洗带(12)和基板(1)沿侧缘部的长度方向相对移动的移动装置。带路径使清洗带(12)以拂拭面(12a)与清洗面(1a)对置的状态沿与基板(1)的侧缘部的长度方向正交的方向通过按压构件(11a)与清洗面(1a)之间，然后进行翻转以使拂拭面(12b)与基板(1)的背侧对置，接着以拂拭面(12b)与清洗面(1b)对置的状态向与按压构件(11a)与清洗面(1a)之间的通过方向相同的方向通过按压构件(11b)与清洗面(1b)之间。
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公开(公告)号：CN101151104A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200680010190.9
申请日：2006-03-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B08B1/008 , G02F1/1303 , G02F1/13458 , G02F2001/1316
Abstract: 本发明提供一种基板端子清洁装置，其通过使清洁构件抵接于基板的端子部，对该端子部进行清洁，其中，具备：在第一位置支承清洁构件的第一支承部；在第二位置支承该清洁构件的第二支承部；在所述第一位置和所述第二位置之间使所述被支承状态的清洁构件的一部分抵接于所述基板的所述端子部并加压的清洁头部；在所述沿端子部的方向，使所述第一支承部以及所述第二支承部一体移动的支承部移动装置；以与基于所述支承部移动装置的所述第一支承部以及所述第二支承部的第一移动速度不同的第二移动速度，在所述沿端子部的方向使所述清洁头部移动的清洁头移动装置。
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公开(公告)号：CN102348621A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201080011242.0
申请日：2010-03-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1345 , H01L21/677 , H05K13/02
CPC classification number: H01L21/67173 , B65G49/061 , B65G49/067 , B65G49/068 , H01L21/6838 , H01L21/68728 , H05K13/0061
Abstract: 本发明提供一种基板搬运处理系统，其使用基板移载装置，在第一作业装置和第二作业装置之间，进行保持单元(70)的回旋移动，并在沿水平方向保持一定姿势且同时搬运基板，该基板移载装置具有：臂部(61)；支承轴(62)，其固定于臂部(61)的一端，在水平面内将臂部支承为能够回旋，并且配置在第一作业装置和第二作业装置之间；保持单元(70)，其支承于臂部(61)的另一端，并吸附保持基板的上表面；旋转驱动装置(64)，其以支承轴(62)为旋转中心使臂部(61)回旋，从而使保持单元(70)回旋移动；姿势保持机构(66-69)，其使回旋移动的保持单元在水平方向保持一定姿势。
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公开(公告)号：CN102176981A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200980139903.5
申请日：2009-10-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B08B1/00
CPC classification number: B08B1/008 , Y10S134/902
Abstract: 本发明提供基板清洗装置及其方法。基板清洗装置通过清洗带(12)的拂拭面(12a、12b)清洗基板(1)的侧缘部的表侧的清洗面(1a)和背侧的清洗面(1b)，基板清洗装置具有：将清洗带(12)按压到清洗面(1a)上的按压构件(11a)；将清洗带(12)按压到清洗面(1b)上的按压构件(11b)；通过按压构件(11a)与清洗面(1a)之间以及按压构件(11b)与清洗面(1b)之间的带路径；使清洗带(12)和基板(1)沿侧缘部的长度方向相对移动的移动装置。带路径使清洗带(12)以拂拭面(12a)与清洗面(1a)对置的状态沿与基板(1)的侧缘部的长度方向正交的方向通过按压构件(11a)与清洗面(1a)之间，然后进行翻转以使拂拭面(12b)与基板(1)的背侧对置，接着以拂拭面(12b)与清洗面(1b)对置的状态向与按压构件(11a)与清洗面(1a)之间的通过方向相同的方向通过按压构件(11b)与清洗面(1b)之间。
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公开(公告)号：CN101151104B
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200680010190.9
申请日：2006-03-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B08B1/008 , G02F1/1303 , G02F1/13458 , G02F2001/1316
Abstract: 本发明提供一种基板端子清洁装置，其通过使清洁构件抵接于基板的端子部，对该端子部进行清洁，其中，具备：在第一位置支承清洁构件的第一支承部；在第二位置支承该清洁构件的第二支承部；在所述第一位置和所述第二位置之间使所述被支承状态的清洁构件的一部分抵接于所述基板的所述端子部并加压的清洁头部；在所述沿端子部的方向，使所述第一支承部以及所述第二支承部一体移动的支承部移动装置；以与基于所述支承部移动装置的所述第一支承部以及所述第二支承部的第一移动速度不同的第二移动速度，在所述沿端子部的方向使所述清洁头部移动的清洁头移动装置。
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