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公开(公告)号：CN112985277A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011459154.9
申请日：2020-12-11
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 亨德瑞克·凯特拉尔斯 , A·祖德伟格 , L·雷德拉斯基 , J·奎达克尔斯
IPC: G01B11/06
Abstract: 公开了一种用于测量测试表面的高度图的方法，该方法使用包括预扫描传感器和高度测量传感器的多传感器设备来进行测量，所述测试表面具有变化的反射率。多传感器设备还包括被配置为对测试表面进行照明的一个或多个光源以及空间光调制器。空间光调制器被放置在一个或多个光源与多传感器设备的测量位置之间的光路中，并且被配置为调制从光源中至少之一发出的光。该方法包括进行用于确定测试表面的照明强度图的测量以及用于形成测试表面的高度图的测量。
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