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公开(公告)号：CN110044275B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201910036740.3
申请日：2019-01-15
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： J·奎达克尔斯
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种用于测量物体的表面的高度图的方法、系统和数据载体。在用于测量物体的表面的高度图的方法和系统中，执行以下步骤。使用具有覆盖个体分区的视场即FOV的光学轮廓仪来测量物体的表面的不同分区的高度图，其中该高度图包括高度数据。将测量高度图分组成不同集合的高度图，其中在各集合内，该集合的高度图中的每一个高度图与该集合的至少一个其它高度图存在有效重叠，以及其中，各高度图属于一个集合并且与另一集合的任何高度图不存在有效重叠。在各集合内，将测量高度图拼接为子合成拼接高度图。将子合成拼接高度图组合为合成高度图。
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公开(公告)号：CN113188470A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110448029.6
申请日：2015-07-24
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及使用多传感器光学轮廓仪来测量测试表面的高度图的方法。该方法包括：通过设置于光学轮廓仪的具有相对长的工作距离和/或大的视野的预映射传感器来测量测试表面的粗糙高度图；将粗糙高度图存储在存储器中；将粗糙高度图细分为多个部分，以适合于设置于光学轮廓仪的相对高分辨率的光学轮廓仪传感器的视野；计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面的相应X、Y和Z位置；使用所计算出的X、Y和Z位置计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面在X、Y和Z方向上的轨迹；根据所述轨迹在X、Y和Z方向上使高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面移动；以及使用高分辨率的光学轮廓仪传感器来测量高精度高度图。
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公开(公告)号：CN107525463B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201710458539.5
申请日：2017-06-16
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具备参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被参考镜反射的反射光和被在测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在干涉物镜与光源及摄像单元之间的光路上沿干涉物镜的光轴方向移动。
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公开(公告)号：CN107525463A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710458539.5
申请日：2017-06-16
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具备参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被参考镜反射的反射光和被在测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在干涉物镜与光源及摄像单元之间的光路上沿干涉物镜的光轴方向移动。
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公开(公告)号：CN105277133B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201510325089.3
申请日：2015-06-12
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： J·奎达克尔斯
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种表面倾斜或弯曲的透明材料的主体的高度图的计算方法，其中计算方法用于计算样本的高度图，所述样本包括具有倾斜或弯曲的表面的折射率为n的透明材料的主体，所述主体设置于从该主体的下方横向延伸的基底表面上，所述计算方法包括：将具有倾斜或弯曲的表面的透明材料的主体的第一区域以及从所述主体的下方横向延伸的基底表面的第二区域，放置在光学轮廓仪的下方；利用所述光学轮廓仪来测量所述第一区域的高度图(ZIS)和所述第二区域的高度图(ZUS)；以及通过使用所述折射率(n)、所测量到的所述第一区域的高度图(ZIS)和所述第二区域的高度图(ZUS)，来计算所述倾斜或弯曲的表面的高度图(HIS)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105277133A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510325089.3
申请日：2015-06-12
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： J·奎达克尔斯
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/0608 , G01B9/02085 , G01B11/2441
Abstract: 本发明涉及一种表面倾斜或弯曲的透明材料的主体的高度图的计算方法，其中计算方法用于计算样本的高度图，所述样本包括具有倾斜或弯曲的表面的折射率为n的透明材料的主体，所述主体设置于从该主体的下方横向延伸的基底表面上，所述计算方法包括：将具有倾斜或弯曲的表面的透明材料的主体的第一区域以及从所述主体的下方横向延伸的基底表面的第二区域，放置在光学轮廓仪的下方；利用所述光学轮廓仪来测量所述第一区域的高度图(ZIS)和所述第二区域的高度图(ZUS)；以及通过使用所述折射率(n)、所测量到的所述第一区域的高度图(ZIS)和所述第二区域的高度图(ZUS)，来计算所述倾斜或弯曲的表面的高度图(HIS)。
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公开(公告)号：CN106468534B
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201610685793.4
申请日：2016-08-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种用于测量高度图并将高度图合并为合成高度图的方法。该方法用于利用光学轮廓仪来测量基板的表面上的多个视场的高度图并将这些高度图合并为合成高度图，所述方法包括：使光学轮廓仪相对于表面沿着路线在视场之间移动；利用光学轮廓仪沿着路线测量表面上的视场的高度图；以及通过使所测量的视场的多个高度图彼此归一化来合并该多个高度图，以产生表面的合成高度图，其中路线被配置为在合并多个高度图期间使得针对光学轮廓仪的高度漂移的灵敏度最小化。
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公开(公告)号：CN110044275A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910036740.3
申请日：2019-01-15
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： J·奎达克尔斯
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种用于测量物体的表面的高度图的方法、系统和数据载体。在用于测量物体的表面的高度图的方法和系统中，执行以下步骤。使用具有覆盖个体分区的视场即FOV的光学轮廓仪来测量物体的表面的不同分区的高度图，其中该高度图包括高度数据。将测量高度图分组成不同集合的高度图，其中在各集合内，该集合的高度图中的每一个高度图与该集合的至少一个其它高度图存在有效重叠，以及其中，各高度图属于一个集合并且与另一集合的任何高度图不存在有效重叠。在各集合内，将测量高度图拼接为子合成拼接高度图。将子合成拼接高度图组合为合成高度图。
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公开(公告)号：CN106468534A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201610685793.4
申请日：2016-08-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种用于测量高度图并将高度图合并为合成高度图的方法。该方法用于利用光学轮廓仪来测量基板的表面上的多个视场的高度图并将这些高度图合并为合成高度图，所述方法包括：使光学轮廓仪相对于表面沿着路线在视场之间移动；利用光学轮廓仪沿着路线测量表面上的视场的高度图；以及通过使所测量的视场的多个高度图彼此归一化来合并该多个高度图，以产生表面的合成高度图，其中路线被配置为在合并多个高度图期间使得针对光学轮廓仪的高度漂移的灵敏度最小化。
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公开(公告)号：CN108801148B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201810004677.0
申请日：2018-01-03
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： J·奎达克尔斯
Abstract: 用于计算物体表面的高度图的方法和系统。在用于从通过光学系统扫描物体表面的光学2.5D轮廓的图像栈计算物体表面的高度图的方法和系统中，在相对于物体表面的不同高度位置处扫描焦平面。在焦平面的各高度位置处拍摄图像以形成图像栈。扫描所述焦平面包括长距离感测和短距离感测焦平面的位移以感测低空间频率分量和高空间频率分量。通过将低空间频率分量和高空间频率分量结合估算焦平面的高度位置。基于估算的各相应焦平面的高度位置计算图像栈中各图像的高度位置。将图像栈的图像插值到等距的高度位置以获得校正的图像栈。从校正的图像栈计算物体表面的高度图。
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