公开(公告)号：CN114001672A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202110842859.7

申请日：2021-07-26

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： L·雷德拉斯基 ,  新井秀幸

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明提供形状测量方法。所述形状测量方法获得待测量透光对象的在厚度方向上的形状数据。形状测量设备，将周期性图案施加于光束，所述周期性图案在与光轴垂直的方向上具有周期性并且在与光轴垂直的方向上可移位；在与光轴平行的方向上相对地移位物镜的焦点，并且基于光检测器所检测到的光束的强度的振幅来计算待测量对象的面形状数据。然后，顶面测量步骤，获取待测量对象的顶面的面形状数据，以及底面测量步骤，通过经由待测量对象的顶面进行透射并将物镜的焦点与待测量对象的底面对准来获取待测量对象的底面的面形状数据。

公开(公告)号：CN112985277A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN202011459154.9

申请日：2020-12-11

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 亨德瑞克·凯特拉尔斯 ,  A·祖德伟格 ,  L·雷德拉斯基 ,  J·奎达克尔斯

IPC: G01B11/06

Abstract: 公开了一种用于测量测试表面的高度图的方法，该方法使用包括预扫描传感器和高度测量传感器的多传感器设备来进行测量，所述测试表面具有变化的反射率。多传感器设备还包括被配置为对测试表面进行照明的一个或多个光源以及空间光调制器。空间光调制器被放置在一个或多个光源与多传感器设备的测量位置之间的光路中，并且被配置为调制从光源中至少之一发出的光。该方法包括进行用于确定测试表面的照明强度图的测量以及用于形成测试表面的高度图的测量。