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公开(公告)号：CN104823079A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062685.6
申请日：2013-12-02
Applicant: 埃西勒国际通用光学公司 , 株式会社尼康
CPC classification number: G02C7/022 , G02B3/08 , G02C7/02 , G02C2202/20
Abstract: 一种用于包括像平面的光学系统的折射型菲涅尔透镜，包括：同心布置的多个环带透镜表面；以及多个侧壁表面，每个侧壁表面形成于相邻的环带透镜表面之间，其特征在于，所述侧壁表面被调制，使得因在所述侧壁表面反射和/或折射而产生的噪声光在所述像平面上空间地散布。
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公开(公告)号：CN100517569C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200580026943.0
申请日：2005-08-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G01M11/02 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/7085 , G03F7/70133 , G03F7/70141 , G03F7/70258 , G03F7/70566 , G03F7/706
Abstract: 提供一种光学特性测量装置及方法、曝光装置及方法、及组件制造方法。由于光学特性测量装置(90)中设有光学系统单元(93)，因此可一并测量照明光学系统之照明形状及大小、投影光学系统之波面像差、照明光之偏振状态。因此，例如在以变形照明之一种的偏振照明进行曝光时，只要根据该测量结果调整各种光学系统，即可实现高精度的曝光。其中，该光学系统单元(93)将用以使照明光通过的开口部(97)、用以测量波面像差之微透镜阵列(98)、用以测量照明光之偏振光检测系统(99)选择性地配置于照明光之光路上。
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公开(公告)号：CN104823079B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201380062685.6
申请日：2013-12-02
Applicant: 埃西勒国际通用光学公司 , 株式会社尼康
CPC classification number: G02C7/022 , G02B3/08 , G02C7/02 , G02C2202/20
Abstract: 一种用于包括像平面的光学系统的折射型菲涅尔透镜，包括：同心布置的多个环带透镜表面；以及多个侧壁表面，每个侧壁表面形成于相邻的环带透镜表面之间，其特征在于，所述侧壁表面被调制，使得因在所述侧壁表面反射和/或折射而产生的噪声光在所述像平面上空间地散布。
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公开(公告)号：CN101002300A
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN200580026943.0
申请日：2005-08-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G01M11/02 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/7085 , G03F7/70133 , G03F7/70141 , G03F7/70258 , G03F7/70566 , G03F7/706
Abstract: 提供一种光学特性测量装置及方法、曝光装置及方法、及组件制造方法。由于光学特性测量装置(90)中设有光学系统单元(93)，因此可一并测量照明光学系统之照明形状及大小、投影光学系统之波面像差、照明光之偏振状态。因此，例如在以变形照明之一种的偏振照明进行曝光时，只要根据该测量结果调整各种光学系统，即可实现高精度的曝光。其中，该光学系统单元(93)将用以使照明光通过的开口部(97)、用以测量波面像差之微透镜阵列(98)、用以测量照明光之偏振光检测系统(99)选择性地配置于照明光之光路上。
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