公开(公告)号：CN102484024B

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201080041421.9

申请日：2010-09-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 渡边将也 ,  楠本淑郎

IPC: H01J37/063 ,  C23C14/30 ,  H01J29/48 ,  H01J37/065

CPC classification number: C23C14/30 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/3132

Abstract: 本发明的电子枪的特征在于，在比阳极电极（23）靠近发射口（13）侧具备被施加了相对于阳极电极（23）为正电压的推斥电极（24），所述推斥电极（24）将通过电子束与残留气体的碰撞而产生的沿着中心轴线（28）向阴极电极（21）方向行进的正离子向真空槽（18）侧推回。由于所述推斥电极（24）是圆筒形形状，所以不使电子束的轨道弯曲。此外，由于在所述推斥电极（24）形成有许多细孔，所以推斥电极（24）内的气体通过所述细孔而被真空排气。由此，能够提供防止正离子入射到阴极电极（21）的长寿命的电子枪。

公开(公告)号：CN102484024A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080041421.9

申请日：2010-09-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 渡边将也 ,  楠本淑郎

IPC: H01J37/063 ,  C23C14/30 ,  H01J29/48 ,  H01J37/065

CPC classification number: C23C14/30 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/3132

Abstract: 本发明的电子枪的特征在于，在比阳极电极（23）靠近发射口（13）侧具备被施加了相对于阳极电极（23）为正电压的推斥电极（24），所述推斥电极（24）将通过电子束与残留气体的碰撞而产生的沿着中心轴线（28）向阴极电极（21）方向行进的正离子向真空槽（18）侧推回。由于所述推斥电极（24）是圆筒形形状，所以不使电子束的轨道弯曲。此外，由于在所述推斥电极（24）形成有许多细孔，所以推斥电极（24）内的气体通过所述细孔而被真空排气。由此，能够提供防止正离子入射到阴极电极（21）的长寿命的电子枪。