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公开(公告)号：CN101074474A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200710110147.6
申请日：2005-01-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/025
Abstract: 一种硬质叠层被膜的方法，其特征是采用在同一真空容器内分别装有1台以上都具有磁场外加功能的电弧蒸发源和溅射蒸发源的成膜装置，并通过在含有反应气体的成膜保护气氛中，使电弧蒸发源和溅射蒸发源同时工作，分别使所述层A的成分从电弧蒸发源蒸发、且使所述层B的成分从溅射蒸发源蒸发，同时使基板相对于所述各蒸发源相对移动，进而在基板上交替叠层所述层A和所述层B。
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公开(公告)号：CN101254673A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810081818.5
申请日：2005-01-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/025
Abstract: 一种硬质叠层被膜，以层A和层B的组成不相同的方式，交替叠层由特定组成构成的层A和层B。每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，而且，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下。由此，本发明提供一种能够用于以超硬合金、金属陶瓷或高速工具钢等为基材的切削工具，或者汽车用滑动部件等的耐磨损性被膜。
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公开(公告)号：CN101148750A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200710137320.1
申请日：2007-07-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C30/005
Abstract: 提供一种使硬度、耐氧化性、还有韧性提高，耐磨耗性优异的硬质皮膜，以及采用该硬质皮膜形成的硬质皮膜被覆工具。其是被覆在工具的表面的硬质皮膜，其中，硬质皮膜的组成由Al1－a－b－cSiaMgbMc(BxCyNz)构成，M是从Nb、V、Zr、Cr、Ti、Cu及Y选择出的至少1种以上的元素，所述a、b、c、x、y、z是原子比时，满足0≤a≤0.35，0≤b≤0.2，0.03≤a+b≤0.5，0≤c≤0.1，且以原子比计，0.9≤Al+Si+Mg，0≤x≤0.2，0≤y≤0.4，0.5≤z≤1，x+y+z＝1。另外，一种采用硬质皮膜形成的硬质皮膜工具，其中，该硬质皮膜是前述记载的硬质皮膜。
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公开(公告)号：CN102304692B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201110252244.5
申请日：2006-10-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C14/06
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/06 , C23C14/0664 , Y10T428/30
Abstract: 一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其组成为具有下面所规定原子比的(Cr1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0＜a≤0.4，0.05≤b≤0.35，0.25≤1-a-b≤0.9，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，或其组成为具有下面所规定原子比的(M1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0.05≤a≤0.5，0.1＜b≤0.35，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，式中M表示Ti和Cr。用于切削工具的该硬质保护膜具有比常规硬质保护膜更好的耐磨性。
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公开(公告)号：CN101074474B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200710110147.6
申请日：2005-01-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/025
Abstract: 一种硬质叠层被膜的方法，其特征是采用在同一真空容器内分别装有1台以上都具有磁场外加功能的电弧蒸发源和溅射蒸发源的成膜装置，并通过在含有反应气体的成膜保护气氛中，使电弧蒸发源和溅射蒸发源同时工作，分别使所述层A的成分从电弧蒸发源蒸发、且使所述层B的成分从溅射蒸发源蒸发，同时使基板相对于所述各蒸发源相对移动，进而在基板上交替叠层所述层A和所述层B。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100584993C
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200710137320.1
申请日：2007-07-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C30/005
Abstract: 提供一种使硬度、耐氧化性、还有韧性提高，耐磨耗性优异的硬质皮膜，以及采用该硬质皮膜形成的硬质皮膜被覆工具。其是被覆在工具的表面的硬质皮膜，其中，硬质皮膜的组成由Al1-a-b-cSiaMgbMc(BxCyNz)构成，M是从Nb、V、Zr、Cr、Ti、Cu及Y选择出的至少1种以上的元素，所述a、b、c、x、y、z是原子比时，满足0≤a≤0.35，0≤b≤0.2，0.03≤a+b≤0.5，0≤c≤0.1，且以原子比计，0.9≤Al+Si+Mg，0≤x≤0.2，0≤y≤0.4，0.5≤z≤1，x+y+z＝1。另外，一种采用硬质皮膜形成的硬质皮膜工具，其中，该硬质皮膜是前述记载的硬质皮膜。
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公开(公告)号：CN100419117C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200510005755.1
申请日：2005-01-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/0063 , C23C14/0036 , C23C14/06 , C23C14/0641 , C23C14/0647 , C23C14/0652 , C23C14/0664 , C23C14/0676 , C23C14/16 , C23C14/22 , C23C14/325 , C23C14/35 , C23C14/568 , C23C28/044 , C23C28/322 , C23C28/34 , C23C28/341 , C23C28/347 , C23C28/42 , C23C28/44 , C23C30/00 , Y10T428/24942 , Y10T428/24975 , Y10T428/26
Abstract: 一种硬质叠层被膜，以层A和层B的组成不相同的方式，交替叠层由特定组成构成的层A和层B。每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，而且，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下。由此，本发明提供一种能够用于以超硬合金、金属陶瓷或高速工具钢等为基材的切削工具，或者汽车用滑动部件等的耐磨损性被膜。
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公开(公告)号：CN101254674A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810081819.X
申请日：2005-01-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/025
Abstract: 一种硬质叠层被膜，以层A和层B的组成不相同的方式，交替叠层由特定组成构成的层A和层B。每层的层A的厚度是每层的层B的厚度的2倍以上，而且，每层的层B的厚度在0.5nm以上，每层的层A的厚度在200nm以下。由此，本发明提供一种能够用于以超硬合金、金属陶瓷或高速工具钢等为基材的切削工具，或者汽车用滑动部件等的耐磨损性被膜。
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公开(公告)号：CN101012545A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200610135654.0
申请日：2006-10-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/06 , C23C14/0664 , Y10T428/30
Abstract: 一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其组成为具有下面所规定原子比的(Cr1－a－bAlaSib)(BxCyN1－x－y)，0＜a≤0.4，0.05≤b≤0.35，0.25≤1－a－b≤0.9，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，或其组成为具有下面所规定原子比的(M1－a－bAlaSib)(BxCyN1－x－y)，0.05≤a≤0.5，0.1＜b≤0.35，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，式中M表示Ti和Cr。用于切削工具的该硬质保护膜具有比常规硬质保护膜更好的耐磨性。
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公开(公告)号：CN117987784A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311473629.3
申请日：2023-11-07
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明提供一种电弧蒸发源，其包括：包含靶材放电面的靶材；电弧电源；被配置在靶材的前方的位置的电磁线圈；以及被配置在靶材的后方的位置的中央磁铁。电磁线圈形成包含与靶材放电面交叉且以沿前后方向通过该电磁线圈的径向内侧的方式延伸的第一磁力线的第一磁场。中央磁铁形成包含在该中央磁铁与靶材放电面之间的区域沿前后方向延伸的第二磁力线的第二磁场。基于第一磁场和第二磁场的排斥作用，在靶材放电面上稳定地形成水平磁场和垂直磁场。据此，通过促进靶材放电面上的电弧斑点的移动，能够抑制飞向工件的宏粒子的发生。
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