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公开(公告)号：CN100454184C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200510114015.1
申请日：2005-10-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: H01L21/67248 , G05D23/1935 , H01L21/67103
Abstract: 一种控制方法、温度控制方法、温度调节器，容易地进行用于以抑制温度偏差的均匀的温度对半导体晶圆(1)进行热处理的调整作业。利用温度传感器(6a)～(6c)计测改变各沟道的设定温度时的半导体晶圆(1)的温度变化，将半导体晶圆(1)的各沟道间的干涉程度作为干涉矩阵而预先求出，使用该干涉矩阵的逆矩阵算出校正值，以使半导体晶圆(1)达到所希望的温度，利用该运算值校正设定温度。
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公开(公告)号：CN111052595B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN201880055748.8
申请日：2018-10-10
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种技术，能够不取决于共振频率的变化方向而在发生机械共振之前向用户通知机械系统的状态发生了变化。伺服驱动器具备：伺服控制单元，其根据按时序输入的指令而控制伺服电动机；计算单元，其在伺服控制单元进行按照以伺服电动机的驱动本身为目的的指令的、如该指令所述的控制的期间，按时序收集用于伺服控制单元的频率响应的计算的输入数据以及输出数据，并基于所收集的数据，计算伺服控制单元的、包含共振峰值的频率范围的频率响应；确定单元，其根据计算出的频率响应来确定共振峰值的增益；以及信息输出单元，将确定出的所述增益与低于0dB的阈值进行比较，并在增益为阈值以上的情况下，输出用于向用户通知伺服电动机等的机械系统的状态发生了变化的信息。
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公开(公告)号：CN1760774A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200510114015.1
申请日：2005-10-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: H01L21/67248 , G05D23/1935 , H01L21/67103
Abstract: 一种控制方法、温度控制方法、温度调节器，容易地进行用于以抑制温度偏差的均匀的温度对半导体晶圆(1)进行热处理的调整作业。利用温度传感器(6a)～(6c)计测改变各沟道的设定温度时的半导体晶圆(1)的温度变化，将半导体晶圆(1)的各沟道间的干涉程度作为干涉矩阵而预先求出，使用该干涉矩阵的逆矩阵算出校正值，以使半导体晶圆(1)达到所希望的温度，利用该运算值校正设定温度。
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公开(公告)号：CN1892524B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610101124.4
申请日：2006-07-04
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05D23/19
CPC classification number: G05D23/1917
Abstract: 一种控制方法，抑制过渡时或稳定期间的温度等的物理状态的偏差。在将工件装载在热板上开始进行热处理时，根据预先给予的调整值数据来形成目标温度的相加波形，将该相加波形加到目标温度(SP)上来进行温度控制，使用表示目标温度(SP)与工件温度的关系的干涉矩阵，将所述调整值的数据作为抑制工件的温度偏差的数据。
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公开(公告)号：CN100498622C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200610001462.0
申请日：2006-01-17
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明中，可以容易地进行为在连续炉(3)中按所期望的温度曲线对玻璃基板(2)进行热处理，而对各炉(31～33)的设定温度的调整作业。使用模型以矩阵推定在改变各炉(31～33)的设定温度时，连续炉(3)的各观测点处的玻璃基板(2)的温度变化，使用该矩阵的逆矩阵算出补偿值，并根据该算出值补偿设定温度以使玻璃基板(2)的温度在上述各观测点处变为所期望的温度曲线的温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1892524A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610101124.4
申请日：2006-07-04
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05D23/19
CPC classification number: G05D23/1917
Abstract: 一种控制方法，抑制过渡时或稳定期间的温度等的物理状态的偏差。在将工件装载在热板上开始进行热处理时，根据预先给予的调整值数据来形成目标温度的相加波形，将该相加波形加到目标温度(SP)上来进行温度控制，使用表示目标温度(SP)与工件温度的关系的干涉矩阵，将所述调整值的数据作为抑制工件的温度偏差的数据。
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公开(公告)号：CN110677094B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN201910188159.3
申请日：2019-03-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H02P23/14
Abstract: 本发明提供一种具有推断电感及电阻不详的马达的电感及电阻的功能的马达控制装置。马达控制装置包括：电力转换器，将与所输入的电压指令相应的电压施加至马达；电流控制器，利用马达的驱动电流的电流值的检测结果算出输入至电力转换器的电压指令；电流指令生成部，基于马达的电时间常数确定马达常数计算用频率，生成马达常数计算用频率的正弦波并作为电流指令输入至电流控制器；以及马达常数计算部，求出频率响应，根据所求出的频率响应算出马达的电阻及电感，所述频率响应是将在电流指令生成部将正弦波作为电流指令而输入至电流控制器的期间内的电压指令、马达的驱动电流的电流值分别作为输入、输出。
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公开(公告)号：CN110676814B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201910183723.2
申请日：2019-03-12
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H02H7/085
Abstract: 本发明提供一种处理装置、决定方法及计算机可读存储介质。本发明是关于马达的电子过热保护，可正确地进行卷线的温度推断。处理装置是决定算出模型的处理装置。算出模型包括卷线温度特性模型及定子温度特性模型。处理装置包括：温度推移取得部，在正进行用于使卷线的温度上升至第一温度的第一电压施加的状态下，取得卷线的温度的上升推移，进而，在卷线的温度收敛成第一温度后，在正进行用于使卷线的温度下降至比第一温度低的第二温度的第二电压施加的状态下，取得卷线的温度的下降推移；以及决定部，根据下降推移算出定子关联参数来决定定子温度特性模型，进而根据上升推移与定子温度特性模型算出卷线关联参数来决定卷线温度特性模型。
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公开(公告)号：CN1661642A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：CN200510051791.1
申请日：2005-02-24
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 一种目标值加工装置(1)，具备：输入表示控制过程的目标值的目标值信号的输入部(1a)；将输入到输入部(1a)的目标值信号整形为适于执行控制过程的调节器(3)的控制处理的信号形状的目标值整形器(6)；将由目标值整形器(6)整形的整形目标值信号输出到调节器(3)的输出部(1b)，从而对调节器(3)丝毫不加改良就能实现复杂的控制过程。
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公开(公告)号：CN1421756A
公开(公告)日：2003-06-04
申请号：CN02154857.9
申请日：2002-12-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05D23/32
CPC classification number: G05B17/02 , G05B13/042
Abstract: 一种控制装置，其在使用模型进行的控制中，即使在目标值响应或外界干扰响应时，也抑制上冲及波动等。其手段是，在目标值响应时，将空耗时间补偿器(4)的输出供给PID运算手段(3)的输入侧，同时用强的PID增益进行空耗时间补偿控制，另一方面，目标值响应时之外，不将空耗时间补偿器(4)的输出提供给PID运算手段(3)的输入侧，用弱的PID增益进行通常的PID控制。
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