公开(公告)号：CN1754409A

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN03801713.X

申请日：2003-08-28

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 真弓聪 ,  日野守 ,  屋代进 ,  清水治和

IPC: H05H1/24 ,  H01L21/3065 ,  C08J7/00

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/32752 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/3478

Abstract: 等离子处理装置M1装有用于支撑一对长条电极(30)的处理部分(20)。处理部分(20)设有多个拉动螺栓(52)(用于阻止靠近变形的装置)，在电极(30)纵向上相互隔开地排列螺栓(52)。拉动螺栓(52)的头部通过螺栓支架(53)钩住刚性板(33)，而螺栓(52)的腿部拧入电极(30)。由此，可以防止这种电极由于库仑力而变形。

公开(公告)号：CN1754409B

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN03801713.X

申请日：2003-08-28

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 真弓聪 ,  日野守 ,  屋代进 ,  清水治和

IPC: H05H1/24 ,  H01L21/3065 ,  C08J7/00

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/32752 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/3478

Abstract: 一种等离子处理装置，用于对电场中的处理气进行等离子化(也包括激活、离子化和激化)，然后喷出处理气。等离子处理装置包括：喷嘴头，包括一对平行设置的电极和支撑电极的支架，每个电极具有第一和第二侧边，电场被施加在电极对之间，第一侧边之间的开口用作处理气接收孔，第二侧边之间的开口用作处理气吹气孔；所述电极为沿第一侧边和第二侧边伸长的长条电极，喷嘴头进一步包括防变形设备，防变形设备防止成对的电极在所述电极平行布置的方向上变形；而且防变形设备包括靠近变形阻止器，靠近变形阻止器防止电极中的一个电极变形而靠近另一电极。可以防止电极之间的间距变得不均匀，等离子流可以沿着电极纵向均匀吹出，最后可以执行均匀表面处理。