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公开(公告)号：CN102070735A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201010237809.8
申请日：2010-07-23
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C08F120/28 , C08F220/28 , C09D133/16 , H01L23/29 , H01L21/311
CPC classification number: C08F220/22 , C08F20/22 , C08F120/28 , C08F220/24 , C08F220/28 , C08F220/38 , C09D133/14 , C09J133/02 , C09J133/06 , G03F7/0752 , G03F7/11 , G03F7/2041 , C08F220/06 , C08F230/08
Abstract: 本发明披露了一种聚合物、用于保护层的组合物、以及使用其的图案化方法，尤其是一种通过聚合由化学式1表示的单体所获得的聚合物、包括该聚合物的保护层组合物、以及图案化方法。[化学式1]在化学式1中，每个符号与在具体实施方式中限定的相同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101462957A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200810184087.7
申请日：2008-12-17
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07C69/54 , C08F220/18 , C08F222/14 , C08F220/30 , G03F7/028
CPC classification number: C07C69/54 , C07C2603/24 , G03F7/0397
Abstract: 本发明涉及一种芳族(甲基)丙烯酸酯化合物和一种光敏聚合物、以及一种抗蚀剂组合物。芳族(甲基)丙烯酸酯化合物是由右边化学式1表示的具有α－羟基的芳族(甲基)丙烯酸酯。在右边化学式1中，每种取代基与在说明书中的限定相同。本发明的芳族(甲基)丙烯酸酯化合物光敏聚合物在光刻工艺中具有对于底层极好的粘合特性和极好的抗干蚀刻性，并且因此可以用来制备具有极好光刻特性的抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN102070746A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201010299478.0
申请日：2010-09-30
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C08F220/28 , C08F220/18 , C08F220/38 , C08F220/22 , G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/20 , G03F7/00
CPC classification number: C08F220/28 , C08F220/18 , C08F220/22 , C08F220/38 , G03F7/0752 , G03F7/11 , G03F7/2041
Abstract: 本发明披露了一种用于抗蚀剂保护层的聚合物、包括该聚合物的抗蚀剂保护层组合物、以及形成图案的方法。该聚合物包括由以下化学式1表示的第一重复单元以及第二重复单元，该第二重复单元包括由以下化学式2至6表示的至少一种重复单元。[化学式1]、[化学式2]、[化学式3][化学式4]、[化学式5]、[化学式6]在化学式1至6中，每种取代基与在具体实施方式中限定的相同。
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公开(公告)号：CN101462956A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200810184083.9
申请日：2008-12-17
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07C69/54 , C08F222/14 , C08F220/18 , G03F7/028
CPC classification number: C07C69/54 , C07C2603/24 , C07C2603/26 , C07C2603/50 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明涉及具有对酸不稳定芳族基团的(甲基)丙烯酸酯、光敏聚合物、以及包括其的光刻胶组合物。所述(甲基)丙烯酸酯由右列式1表示，在式1中，每个取代基具有与说明书中相同的定义。具有对酸不稳定芳族基团的(甲基)丙烯酸酯在酸催化剂存在下易于分解，并且能够提供对于下层具有优异的粘合性能和在光刻印刷过程中的干法蚀刻抗性的光敏聚合物。
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公开(公告)号：CN104147801B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201410182072.2
申请日：2014-04-30
Applicant: 第一毛织株式会社
Abstract: 本文中公开了用于纯化有机化合物的装置和用于纯化有机化合物的方法。该装置包括在其中接收纯化靶材料的内管、加热在内管中接收的纯化靶材料的加热器、将内管抽成真空的抽空器以及驱动内管的驱动设备。
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公开(公告)号：CN104147801A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410182072.2
申请日：2014-04-30
Applicant: 第一毛织株式会社
Abstract: 本文中公开了用于纯化有机化合物的装置和用于纯化有机化合物的方法。该装置包括在其中接收纯化靶材料的内管、加热在内管中接收的纯化靶材料的加热器、将内管抽成真空的抽空器以及驱动内管的驱动设备。
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