光通信设备和方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1174568C

    公开(公告)日:2004-11-03

    申请号:CN98115674.6

    申请日:1998-07-03

    CPC classification number: H04B10/43 G02B6/4214 G02B6/4246

    Abstract: 提供这样一种光通信设备和方法,以实现结构的简化和尺寸减小,提高光发射装置与光传输介质之间的光耦合效率,以及获得令人满意状况下的光通信。光纤与光发射器和光接收器之间在没有光学系统的条件下完成二者之间光耦合,为的是实现结构的简化和尺寸减小。在光发射器中心C偏离中心轴O放置时,光纤一个端面上的发光图形短轴就与端面的径向一致。从而提高光发射器与光纤之间的光耦合效率。

    电子器件芯片及其集合、衍射光栅光调制器及其集合

    公开(公告)号:CN1743892A

    公开(公告)日:2006-03-08

    申请号:CN200510097900.3

    申请日:2005-09-02

    CPC classification number: G02B26/0808

    Abstract: 本发明公开了一种衍射光栅光调制器,其包括在衬底上形成的多个衍射光栅光调制元件,每一衍射光栅光调制元件包括:下部电极、支撑于下部电极之上的类似带状的固定电极和可移动电极、以及电连接于可移动电极的暴露的连接端子(用于与外部电路电连接),在向下部电极施加电压的同时,所述固定电极和可移动电极构成了一个衍射光栅,所述衍射光栅光调制器具有围绕所述连接端子的保护电极,使得所述衍射光栅光调制元件确定能够避免受到静电的损坏。

    电子器件芯片及其集合、衍射光栅光调制器及其集合

    公开(公告)号:CN100390598C

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200510097900.3

    申请日:2005-09-02

    CPC classification number: G02B26/0808

    Abstract: 本发明公开了一种衍射光栅光调制器,其包括在衬底上形成的多个衍射光栅光调制元件,每一衍射光栅光调制元件包括:下部电极、支撑于下部电极之上的类似带状的固定电极和可移动电极、以及电连接于可移动电极的暴露的连接端子(用于与外部电路电连接),在向下部电极施加电压的同时,所述固定电极和可移动电极构成了一个衍射光栅,所述衍射光栅光调制器具有围绕所述连接端子的保护电极,使得所述衍射光栅光调制元件确定能够避免受到静电的损坏。

    图案检查设备,和使用其的曝光设备控制系统

    公开(公告)号:CN1349252A

    公开(公告)日:2002-05-15

    申请号:CN01138570.7

    申请日:2001-08-23

    CPC classification number: G03F7/70483 G01N21/9501 G01N21/956

    Abstract: 一个图案检查设备7被用于光刻的半导体生产线1中。图案检查设备7测量通过曝光设备4中的曝光过程形成在半导体晶片100上的绝缘图案和L/S图案二者的线宽,并且基于测量的结果产生要用来校正曝光设备4中的光量的光量校正信息,要用来校正曝光聚焦位置的聚焦校正信息等等。于是,相应于通过图案检查设备7产生的这些校正信息,曝光设备4中的曝光被校正。于是,通过曝光设备4形成的抗蚀图案能够被快速地检查从而允许基于检查结果实时地校正曝光设备4的参数,并且高准确地控制曝光设备4的参数。

    光通信设备和方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1211116A

    公开(公告)日:1999-03-17

    申请号:CN98115674.6

    申请日:1998-07-03

    CPC classification number: H04B10/43 G02B6/4214 G02B6/4246

    Abstract: 提供这样一种光通信设备和方法,以实现结构的简化和尺寸减小,提高光发射装置与光传输介质之间的光耦合效率,以及获得令人满意状况下的光通信。光纤与光发射器和光接收器之间在没有光学系统的条件下完成二者之间光耦合,为的是实现结构的简化和尺寸减小。在光发射器中心C偏离中心轴O放置时,光纤一个端面上的发光图形短轴就与端面的径向一致。从而提高光发射器与光纤之间的光耦合效率。

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