一种用于铜/镍微结构平坦化的抛光液及其应用

    公开(公告)号:CN116023907A

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN202310123308.4

    申请日:2023-02-16

    Abstract: 本发明公开了一种用于铜/镍微结构平坦化的抛光液及其应用,抛光液包括以下组分:0.01~40wt%的磨粒、0~10wt%的氧化剂、0~10wt%的络合剂、0~10wt%的复配缓蚀剂、水及少量pH值调节剂,其中,氧化剂选自过硫酸钠、过硫酸钾、过硫酸铵中的至少一种,复配缓蚀剂由唑类杂环化合物和阴离子表面活性剂组成。本发明通过调控氧化剂浓度,实现铜、镍等速去除;通过调控电化学腐蚀,实现铜、镍高表面质量。进一步,将化学机械抛光与机械研磨有机结合,应用于基于电化学沉积的微尺度3D打印中的平坦化步骤,可以有效克服现有磨削、研磨技术表面精度有待提升的问题,实现铜/镍微结构高质高效平坦化,获得良好的平坦度和表面质量,提升微机电系统的制造精度。

    一种基于室内空调的防霾装置

    公开(公告)号:CN207042141U

    公开(公告)日:2018-02-27

    申请号:CN201720655987.X

    申请日:2017-06-07

    Abstract: 本实用新型提供了一种基于室内空调的防霾装置,包括:雾霾监测模块,滤网系统,负离子发生模块和控制模块,滤网系统包括照明装置和顺序叠合的灰尘滤网、活性炭滤网、光触媒滤网和HEPA滤网,灰尘滤网还设有灰尘收集装置。空调工作时,雾霾监测模块监测到室内雾霾达一定程度时,可通过控制模块开启照明装置和负离子发生模块,室外的空气经过滤网系统,然后空气中雾霾成分经去除后被送入室内,同时负离子发生器产生的负离子与雾霾中微小粒子结合沉降进一步除霾;本实用新型还设有智能提醒模块,提醒用户定期更换滤网,以保证装置的净化能力。本实用新型在传统挂壁式空调的基础上集成了空气净化和雾霾监测的功能,省去了用户额外购买空气净化器的费用,更具有市场需求。

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