公开(公告)号：CN106233433B

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201580019805.3

申请日：2015-04-15

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 富永龙 ,  佐藤启史 ,  似内佑辅 ,  深泽宁司 ,  城山厚 ,  中谷嘉孝 ,  若林沙枝

IPC: H01L21/3065

Abstract: 蚀刻装置(100)包括：蚀刻槽(110)，具有基板搬入口(111)及基板搬出口(112)；搬运装置(120)，从基板搬入口(111)朝向基板搬出口(112)搬运基板(500)；喷嘴(130)，设置在蚀刻槽(110)的内部，向由搬运装置(120)搬运的基板500的背面(510)喷吹反应气体；及气流控制装置(140)，设置在蚀刻槽(110)的内部，抑制从基板搬入口(111)及基板搬出口(112)流入到蚀刻槽(110)的内部的外部气体向基板(500)的背面(510)与喷嘴(130)之间的间隙(131)的流入。

公开(公告)号：CN106946453B

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN201610868277.5

申请日：2016-09-29

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 布施裕儿 ,  若林沙枝

IPC: C03B40/00 ,  B65D65/38 ,  B65D85/48 ,  D21H27/10 ,  G01N21/892 ,  G01N21/94

Abstract: 提供一种能够抑制以从玻璃夹纸转印的异物为起因的污染及配线等的不良的产生的玻璃夹纸、玻璃板层叠体及玻璃板包装体。

公开(公告)号：CN113562971A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202110738897.8

申请日：2016-09-29

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 布施裕儿 ,  若林沙枝

IPC: C03B40/00 ,  B65D65/38 ,  B65D85/48 ,  D21H27/10 ,  G01N21/892 ,  G01N21/94

Abstract: 本申请提供一种玻璃夹纸、玻璃板层叠体及玻璃板包装体，所述玻璃夹纸、玻璃板层叠体及玻璃板包装体能够抑制以从玻璃夹纸转印的异物为起因的污染及配线等的不良的产生。