公开(公告)号：CN107857479B

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN201710859740.4

申请日：2017-09-21

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 佐藤启史 ,  似内佑辅 ,  中谷嘉孝 ,  山田兼士 ,  富永龍 ,  米道友广

IPC: C03C15/00

Abstract: 本发明提供一种玻璃板。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且提高玻璃板的朝向判断性。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。利用作为反应气体的氟化氢气体对第2主表面(20)进行蚀刻并且利用滞留气体(G)对第1端面(30)也进行蚀刻。其结果，第1主表面(10)的第1表面粗糙度小于第2主表面(20)的第2表面粗糙度，第1端面(30)的第1碎玻璃剥离率大于第2端面(40)的第2碎玻璃剥离率，由此，防止吸附于载物台的第2主表面(20)的剥离带电，容易利用第1端面(30)的表面粗糙化判断玻璃板(1)的方向性。

公开(公告)号：CN108137391B

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN201680059475.5

申请日：2016-10-11

Applicant: AGC 株式会社

Inventor： 佐藤启史 ,  若林纱枝 ,  中谷嘉孝 ,  小林大介 ,  似内佑辅

IPC: C03C15/00 ,  C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/091 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明的目的在于提供一种从吸附台剥离时不容易产生剥离带电的显示器用玻璃基板及其制造方法。本发明的显示器用玻璃基板具有第一面和与该第一面相反侧的第二面，其中，上述第一面具有多个开口的孔，上述孔的平均开口面积为1.70×104nm2以下，并且上述孔的合计开口面积为6.00×106nm2/25μm2以上。

公开(公告)号：CN106233433B

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201580019805.3

申请日：2015-04-15

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 富永龙 ,  佐藤启史 ,  似内佑辅 ,  深泽宁司 ,  城山厚 ,  中谷嘉孝 ,  若林沙枝

IPC: H01L21/3065

Abstract: 蚀刻装置(100)包括：蚀刻槽(110)，具有基板搬入口(111)及基板搬出口(112)；搬运装置(120)，从基板搬入口(111)朝向基板搬出口(112)搬运基板(500)；喷嘴(130)，设置在蚀刻槽(110)的内部，向由搬运装置(120)搬运的基板500的背面(510)喷吹反应气体；及气流控制装置(140)，设置在蚀刻槽(110)的内部，抑制从基板搬入口(111)及基板搬出口(112)流入到蚀刻槽(110)的内部的外部气体向基板(500)的背面(510)与喷嘴(130)之间的间隙(131)的流入。