玻璃板
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107857479B

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN201710859740.4

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明提供一种玻璃板。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且提高玻璃板的朝向判断性。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。利用作为反应气体的氟化氢气体对第2主表面(20)进行蚀刻并且利用滞留气体(G)对第1端面(30)也进行蚀刻。其结果,第1主表面(10)的第1表面粗糙度小于第2主表面(20)的第2表面粗糙度,第1端面(30)的第1碎玻璃剥离率大于第2端面(40)的第2碎玻璃剥离率,由此,防止吸附于载物台的第2主表面(20)的剥离带电,容易利用第1端面(30)的表面粗糙化判断玻璃板(1)的方向性。

    蚀刻装置、蚀刻方法、基板的制造方法及基板

    公开(公告)号:CN106233433B

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201580019805.3

    申请日:2015-04-15

    Abstract: 蚀刻装置(100)包括:蚀刻槽(110),具有基板搬入口(111)及基板搬出口(112);搬运装置(120),从基板搬入口(111)朝向基板搬出口(112)搬运基板(500);喷嘴(130),设置在蚀刻槽(110)的内部,向由搬运装置(120)搬运的基板500的背面(510)喷吹反应气体;及气流控制装置(140),设置在蚀刻槽(110)的内部,抑制从基板搬入口(111)及基板搬出口(112)流入到蚀刻槽(110)的内部的外部气体向基板(500)的背面(510)与喷嘴(130)之间的间隙(131)的流入。

    玻璃板和玻璃板的制造装置以及玻璃板的制造方法

    公开(公告)号:CN104708528B

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201410758261.X

    申请日:2014-12-10

    Inventor: 佐藤启史

    Abstract: 本发明提供使对吸附台的剥离性提高的玻璃板和玻璃板的制造装置以及玻璃板的制造方法。使用具备向玻璃板(G)的下表面(G1)供给浆料(14)的下段喷嘴(16)和按压到玻璃板(G)的下表面(G1)上并且以与玻璃板(G)的下表面(G1)正交的旋转轴(12A)为中心进行旋转的研磨工具(12)的玻璃板的制造装置,在由下段喷嘴(16)向玻璃板(G)的下表面(G1)供给浆料(14)的同时,利用研磨工具(12)对下表面(G1)进行磨削,由此对下表面(G1)进行加工,使得下表面(G1)的最大谷深Rv(JIS B0601‑2013)为3.0nm

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