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公开(公告)号：CN101846877A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010203212.1
申请日：2005-09-16
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/14
CPC classification number: G03F1/60 , G03F1/50 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明提供一种掩模板制造方法、一种掩模制造方法、一种掩模板透明基片制造方法。通过在掩模板透明基片上形成待成为掩模图形的薄膜制造掩模板。当向掩模制造部分提供掩模板时，掩模板制造部分向掩模制造部分提供掩模板透明基片的光学特性信息(透射率差异)和掩模板的光学特性信息(透射率差异和/或相差差异)。掩模板透明基片的光学特性信息从制造掩模板透明基片的材料处理部分提供给掩模板制造部分。
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公开(公告)号：CN1749853A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200510099938.4
申请日：2005-09-13
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G03F1/38 , G03F1/32 , G03F1/60 , Y10T428/31616
Abstract: 在需要具有预定光学特性的用于掩模板的透明基片中，通过切割预定的角部分成为倾斜部分形成基片标记。该标记的形状根据该基片的光学特性加以确定。
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公开(公告)号：CN101846877B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201010203212.1
申请日：2005-09-16
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/60
CPC classification number: G03F1/60 , G03F1/50 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明提供一种掩模板制造方法、一种掩模制造方法、一种掩模板透明基片制造方法。通过在掩模板透明基片上形成待成为掩模图形的薄膜制造掩模板。当向掩模制造部分提供掩模板时，掩模板制造部分向掩模制造部分提供掩模板透明基片的光学特性信息(透射率差异)和掩模板的光学特性信息(透射率差异和/或相差差异)。掩模板透明基片的光学特性信息从制造掩模板透明基片的材料处理部分提供给掩模板制造部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102625782B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201080040555.9
申请日：2010-09-14
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , C03B11/088
Abstract: 本发明提供玻璃坯料及其制造方法、以及使用该玻璃坯料的信息记录介质用基板制造方法和信息记录介质制造方法；在由玻璃坯料制造信息记录介质用基板时，平面度出色，并且，即使因为玻璃坯料的薄型化而加工量减少，也能够抑制凹迹的产生；该玻璃坯料具有：圆板状的薄板部(10)和被设置成沿着该薄板部(10)的外侧周边部相对于薄板部的两面形成凸部(12U、12D)的厚板部(12)，并且，在薄板部(10)的直径方向上，相对于薄板部(10)的直径方向处于一个面侧的凸部(12D)的径向宽度(W1)，大于处于另一个面侧的凸部(12U)的径向宽度(W2)。
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公开(公告)号：CN1749853B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200510099938.4
申请日：2005-09-13
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G03F1/38 , G03F1/32 , G03F1/60 , Y10T428/31616
Abstract: 在需要具有预定光学特性的用于掩模板的透明基片中，通过切割预定的角部分成为倾斜部分形成基片标记。该标记的形状根据该基片的光学特性加以确定。
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公开(公告)号：CN1749851B
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200510103988.5
申请日：2005-09-16
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F1/08 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/60 , G03F1/50 , Y10T428/31616
Abstract: 一种掩模板制造部分通过在掩模板透明基片上形成待成为掩模图形的薄膜制造掩模板。当向掩模制造部分提供掩模板时，掩模板制造部分向掩模制造部分提供掩模板透明基片的光学特性信息(透射率差异)和掩模板的光学特性信息(透射率差异和/或相差差异)。掩模板透明基片的光学特性信息从制造掩模板透明基片的材料处理部分提供给掩模板制造部分。
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公开(公告)号：CN1749851A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200510103988.5
申请日：2005-09-16
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F1/08 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/60 , G03F1/50 , Y10T428/31616
Abstract: 一种掩模板制造部分通过在掩模板透明基片上形成待成为掩模图形的薄膜制造掩模板。当向掩模制造部分提供掩模板时，掩模板制造部分向掩模制造部分提供掩模板透明基片的光学特性信息(透射率差异)和掩模板的光学特性信息(透射率差异和/或相差差异)。掩模板透明基片的光学特性信息从制造掩模板透明基片的材料处理部分提供给掩模板制造部分。
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公开(公告)号：CN102625782A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201080040555.9
申请日：2010-09-14
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , C03B11/088
Abstract: 本发明提供玻璃坯料及其制造方法、以及使用该玻璃坯料的信息记录介质用基板制造方法和信息记录介质制造方法；在由玻璃坯料制造信息记录介质用基板时，平面度出色，并且，即使因为玻璃坯料的薄型化而加工量减少，也能够抑制凹迹的产生；该玻璃坯料具有：圆板状的薄板部(10)和被设置成沿着该薄板部(10)的周边部相对于薄板部的两面形成凸部(12U、12D)的厚板部(12)，并且，在薄板部(10)的直径方向上，相对于薄板部(10)的直径方向处于一个面侧的凸部(12D)的径向宽度(W1)，大于处于另一个面侧的凸部(12U)的径向宽度(W2)。
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