薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN104465890A

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201410842463.2

    申请日:2014-12-25

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L31/0236

    Abstract: 一种薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法,包括如下步骤:(1)清洗玻璃基片,后用高压N2吹干;(2)采用反应离子束技术对所述玻璃基片表面进行刻蚀,使所述玻璃基片表面具有绒面结构;并且(3)采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面的绒面结构上沉积450~750纳米的AZO薄膜,从而得到绒面结构的AZO薄膜。本发明开发了一种新的用于薄膜太阳能电池前电极的绒面AZO薄膜的制备方法,先采用离子束技术,对玻璃基片表面进行刻蚀处理,获得绒面结构的玻璃基片,然后在玻璃基片上以磁控溅射技术沉积具有绒面结构的AZO薄膜,避免了现有刻蚀技术中对膜层厚度的浪费,同时也避免了湿法刻蚀工艺中产生的废酸腐蚀液对环境造成的污染。

    一种微波节能玻璃熔窑
    109.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212476512U

    公开(公告)日:2021-02-05

    申请号:CN202021172804.7

    申请日:2020-06-23

    Abstract: 本实用新型公开一种微波节能玻璃熔窑,包括熔窑本体,所述熔窑本体的外周设有一组微波加热器,熔窑本体的窑壁嵌设有一组陶瓷加热体;微波加热器与陶瓷加热体均呈矩形阵列分布;位于同侧的微波加热器与陶瓷加热体交错间隔设置,使微波加热器与对侧的陶瓷加热体能够相对;没有被玻璃溶体吸收的微波会穿过玻璃溶体达到对侧的陶瓷加热体,陶瓷加热体吸收微波后使整个玻璃熔窑温度上升,实现对玻璃溶体的加热,从而能够充分地利用微波能,节能优势明显,该熔窑能够提高微波加热效率,提升加热效果,使微波能被充分利用。

    一种薄膜太阳能电池用多层膜结构的光伏背板玻璃

    公开(公告)号:CN207116444U

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:CN201721136484.8

    申请日:2017-09-06

    Abstract: 本实用新型公开一种薄膜太阳能电池用多层膜结构的光伏背板玻璃,包括玻璃基底,玻璃基底的应变点≥570℃、软化点≥800℃;所述玻璃基底顶面由下至上依次设有SiN膜层、CuZn膜层、ZnAl膜层、降阻膜层、防腐蚀膜层与Mo膜层;降阻膜层为Ti膜层或Cu膜层;防腐蚀膜层为MoN、MoO、TiN或TiON膜层;SiN膜层的厚度为80~120 nm,CuZn膜层的厚度为50~90 nm,ZnAl膜层的厚度为30~60 nm,降阻膜层的厚度为15~35 nm,防腐蚀膜层的厚度为20~50 nm,Mo膜层的厚度为35~65 nm;该背板玻璃具有高应变点、后期高温硒化不变形、抗腐蚀、低电阻率、薄膜应力小等优点,且多层膜结构与玻璃基底附着强度高,能够阻挡玻璃基底中Na+向吸收层的扩散且与CIGS有良好的欧姆接触。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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