半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1602569A

    公开(公告)日:2005-03-30

    申请号:CN03801328.2

    申请日:2003-02-07

    Abstract: 本发明的半导体发光元件包括:n型InP基板(1);以及条纹结构(10),条纹结构(10)包含在该n型InP基板(1)上条纹状形成的n型InP下部覆盖层(3)、相对于所述n型InP基板(1)而具有平行方向的谐振器的有源层(4)、和p型InP上部覆盖层(5)。这种条纹结构(10)有凹部(9)排列为矩形点阵状的光子晶体结构(2),光子晶体结构(2)的凹部(9)的排列方向和谐振器方向相同。此外,在谐振器方向上延长的条纹状的上部电极(6)形成在条纹结构(10)上。这样构成的本发明的半导体发光元件相对n型InP基板(1)在垂直的方向上发光。

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