公开(公告)号：CN1211274C

公开(公告)日：2005-07-20

申请号：CN02124681.5

申请日：2002-05-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 姜锡镇 ,  赵镇佑

IPC: B81B3/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H1/20

Abstract: 本发明提供了一种带单电枢的微电子机械系统(MEMS)开关。此MEMS开关包括：一个衬底；安装于衬底上彼此远离的地线；位于地线间以预定间隙相隔的信号传输线；置于信号传输线间的电枢；一个围绕在电枢周围的驱动电极，且该电极不与电枢、信号传输线、地线接触；以及驱动电极上的移动片，它与信号传输线的一部分重叠，并与电枢弹性连接。

公开(公告)号：CN1338793A

公开(公告)日：2002-03-06

申请号：CN01124577.8

申请日：2001-08-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 宋寅相 ,  金桢雨 ,  姜锡镇 ,  宋薰 ,  宋基武 ,  权泳佑 ,  千昌律 ,  徐用教

IPC: H01P7/10 ,  H03H9/00

CPC classification number: H01P7/065

Abstract: 一种谐振器,包括有槽的下部基片;充满该槽的电介质;材料膜形成于该槽内壁上,用于防止下部基片和电解质之间的介电常数突然变化;上部基片与下部基片组合以形成空腔;导电薄膜形成于上部基片下表面上以对着电介质,还有与材料膜接触的狭槽,并使电介质露出;以及用于波导管的带状传输线,其形成于上部基片上表面上并与导电薄膜相连。通过使空腔充满电介质(或磁性材料),对应于给定谐振频率的空腔尺寸能减小。