微机电系统装置及其梳状电极的形成方法

    公开(公告)号:CN101088911A

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN200710001784.X

    申请日:2007-01-16

    CPC classification number: G02B26/0841 B81B3/0086 B81B2203/0136 B81C1/00698

    Abstract: 本发明提供了一种微机电系统(MEMS)装置及形成该MEMS装置的梳状电极的方法。该方法包括:在第一硅衬底的一侧以规则的间隔形成多个平行的沟槽,从而在第一硅衬底的一侧上交替界定高度不同的第一区域和第二区域;氧化第一硅衬底以在高度不同的第一区域和第二区域中形成氧化层;在氧化层上形成多晶硅层以至少填满沟槽从而使具有不同高度的氧化层平化;将第二衬底结合到多晶硅层的顶表面上;使用第一掩模选择性地蚀刻第二硅衬底和多晶硅层,从而形成与第一区域垂直对齐的上梳状电极;使用第二掩模选择性地蚀刻第一硅衬底以形成与第二区域垂直对齐的下梳状电极;以及去除在上梳状电极和下梳状电极之间夹置的氧化层。

    旋转回转仪
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100340841C

    公开(公告)日:2007-10-03

    申请号:CN200410032666.1

    申请日:2004-03-08

    CPC classification number: G01C19/5642 G01C19/02

    Abstract: 一种旋转回转仪,包括基板、中间构件和盖子。中间构件包括:受驱元件,与基板间隔开地被支承并悬置于基板上方,所述受驱元件由从该受驱元件沿径向延伸的驱动支承体支承,并执行关于垂直于其中心平面的第一轴线的振荡运动;驱动电极,驱动受驱元件以执行关于第一轴线的振荡运动;和感测元件,置于该受驱元件中并且通过感测连接器与受驱元件相连接以和受驱元件一起振荡,当从第二轴线输入角速度时,由于地球自转偏向力的存在,该感测元件同时执行相对于第三轴线的感测运动,该第三轴线垂直于第一轴线和任一平行于中心平面的第二轴线。所述盖子罩住中间构件,并且具有设置在相应于感测电极的位置、与之间隔开以探测感测元件的感测运动的感测电极。

    双轴扫描仪
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1982939A

    公开(公告)日:2007-06-20

    申请号:CN200610159398.9

    申请日:2006-09-28

    Inventor: 姜锡镇

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 本发明提供一种双轴扫描仪,其包括:基底、置于基底上的平台、以及置于基底与平台之间并沿两个轴移动平台的平台致动器。平台致动器包括:第一静止部件;围绕第一静止部件的水平可移动框架,第一水平可形变扭转弹簧置于第一静止部件和水平可移动框架之间;致动水平可移动框架的水平驱动器;围绕水平可移动框架的辅助框架,第一垂直可形变扭转弹簧置于水平可移动框架和辅助框架之间;围绕辅助框架的垂直可移动框架,第二水平可形变扭转弹簧置于辅助框架与垂直可移动框架之间;位于垂直可移动框架沿两侧的第二静止部件,第二垂直可形变扭转弹簧置于垂直可移动框架和第二静止部件之间;以及垂直致动垂直可移动框架的垂直驱动器。平台置于辅助框架上。

    谐振器
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1211882C

    公开(公告)日:2005-07-20

    申请号:CN01124577.8

    申请日:2001-08-10

    CPC classification number: H01P7/065

    Abstract: 一种谐振器,包括有槽的下部基片;充满该槽的电介质;材料膜形成于该槽内壁上,用于防止下部基片和电解质之间的介电常数突然变化;上部基片与下部基片组合以形成空腔;导电薄膜形成于上部基片下表面上以对着电介质,还有与材料膜接触的狭槽,并使电介质露出;以及用于波导管的带状传输线,其形成于上部基片上表面上并与导电薄膜相连。通过使空腔充满电介质(或磁性材料),对应于给定谐振频率的空腔尺寸能减小。

    带单电枢的微电子机械系统

    公开(公告)号:CN1211274C

    公开(公告)日:2005-07-20

    申请号:CN02124681.5

    申请日:2002-05-10

    Inventor: 姜锡镇 赵镇佑

    CPC classification number: H01H59/0009 H01H1/20

    Abstract: 本发明提供了一种带单电枢的微电子机械系统(MEMS)开关。此MEMS开关包括:一个衬底;安装于衬底上彼此远离的地线;位于地线间以预定间隙相隔的信号传输线;置于信号传输线间的电枢;一个围绕在电枢周围的驱动电极,且该电极不与电枢、信号传输线、地线接触;以及驱动电极上的移动片,它与信号传输线的一部分重叠,并与电枢弹性连接。

    旋转回转仪
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1530632A

    公开(公告)日:2004-09-22

    申请号:CN200410032666.1

    申请日:2004-03-08

    CPC classification number: G01C19/5642 G01C19/02

    Abstract: 一种旋转回转仪,包括基板、中间构件和盖子。中间构件包括:受驱元件,与基板间隔开地被支承并悬置于基板上方,所述受驱元件由从该受驱元件沿径向延伸的驱动支承体支承,并执行关于垂直于其中心平面的第一轴线的振荡运动;驱动电极,驱动受驱元件以执行关于第一轴线的振荡运动;和感测元件,置于该受驱元件中并且通过感测连接器与受驱元件相连接以和受驱元件一起振荡,当从第二轴线输入角速度时,由于地球自转偏向力的存在,该感测元件同时执行相对于第三轴线的感测运动,该第三轴线垂直于第一轴线和任一平行于中心平面的第二轴线。所述盖子罩住中间构件,并且具有设置在相应于感测电极的位置、与之间隔开以探测感测元件的感测运动的感测电极。

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