激光加工装置
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104379296A

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201380031615.4

    申请日:2013-05-31

    Abstract: 为了得到能够使用光路结构不特别复杂的反射型扩束机构,而充分抑制光束发散角,并且将无像差且具有期望光束直径的激光照射到被加工材料上的激光加工装置,在本发明的激光加工装置中,具有:激光振荡器(1);加工工作台(2);传输光学系统,其将从激光振荡器(1)射出的激光(L)传输至加工工作台(2);加工头(4),其将经由传输光学系统传输的激光(L)聚光照射至被加工材料;移动单元(5),其使照射至被加工材料的激光(L)和被加工材料的相对位置发生变化;以及球面曲率可变反射镜(67)。传输光学系统具有对来自激光振荡器(1)的激光进行平行化且扩大的反射型扩束机构(6),反射型扩束机构(6)设为包含球面反射镜(63)、以及正交的2个轴的曲率不同的凹反射镜(62)的结构。

    激光振荡器以及激光放大器

    公开(公告)号:CN102549855B

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201080043109.3

    申请日:2010-09-17

    CPC classification number: H01S3/0385 H01S3/08036 H01S3/08054 H01S3/081

    Abstract: 激光振荡器具备:光谐振器,具有正交型反射镜以及部分反射反射镜;激光气体,被供给到放电电极之间,作为激光介质发挥功能;以及90度折弯反射镜,作为偏振光选择元件发挥功能。正交型反射镜的2个反射面正交。以振荡光的偏振方向相对于在与光谐振器的光轴正交的面内设定的基准轴为平行的方式,配置90度折弯反射镜,以振荡光的偏振方向相对正交型反射镜的谷线为平行的方式,配置正交型反射镜。通过这样的结构,能够补偿激光介质中的光学特性的各向异性,稳定地产生各向同性优良的直线偏振的激光。

    激光加工方法以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN100571960C

    公开(公告)日:2009-12-23

    申请号:CN200580001590.9

    申请日:2005-06-03

    Abstract: 本发明涉及的激光加工装置中,具有:激光振荡器(3),其输出激光束(1);掩模(5),其配置在激光束的光路中,使从激光振荡器(3)输出的激光束成形为希望的直径或者形状;波阵面曲率调整单元(8),其配置在紧邻在前述掩模(5)前的激光束光路中,使前述掩模(5)上的激光束的波阵面曲率发散;复制透镜(7),其配置在前述掩模(5)和被加工物(2)之间的激光束光路中,在将透过前述掩模(5)的激光束照射在被加工物(2)表面时,将前述掩模(5)的像复制到被加工物(2)表面上,由此,因为可以使被加工物(2)表面上的激光束(1)的波阵面曲率(23)发散,所以即使是厚度厚的被加工物(2),也可以优化加工孔的锥度。

    气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置

    公开(公告)号:CN114667651B

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN201980102111.4

    申请日:2019-11-11

    Abstract: 气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有:入射窗口(12),其从外部被射入第1激光;以及出射窗口(13),其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时,通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡,在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时,使第2激光的振荡停止。

    激光放大装置及极紫外光发生装置

    公开(公告)号:CN115244801A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202080098218.9

    申请日:2020-03-16

    Abstract: 具有:激光振荡器(20),其具有第1激光活性介质,该第1激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,该激光振荡器(20)使半值全宽为15ns至200ns之间的脉冲激光振荡;以及激光放大器(30),其具有第2激光活性介质,该第2激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,从激光振荡器(20)振荡的脉冲激光经过第2激光活性介质,由此缩短成半值全宽为5ns至30ns之间的脉冲激光而输出。

    激光振荡器以及激光放大器

    公开(公告)号:CN102549855A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201080043109.3

    申请日:2010-09-17

    CPC classification number: H01S3/0385 H01S3/08036 H01S3/08054 H01S3/081

    Abstract: 激光振荡器具备:光谐振器,具有正交型反射镜以及部分反射反射镜;激光气体,被供给到放电电极之间,作为激光介质发挥功能;以及90度折弯反射镜,作为偏振光选择元件发挥功能。正交型反射镜的2个反射面正交。以振荡光的偏振方向相对于在与光谐振器的光轴正交的面内设定的基准轴为平行的方式,配置90度折弯反射镜,以振荡光的偏振方向相对正交型反射镜的谷线为平行的方式,配置正交型反射镜。通过这样的结构,能够补偿激光介质中的光学特性的各向异性,稳定地产生各向同性优良的直线偏振的激光。

    电动机的定子、电动机及电动机的定子的制造方法

    公开(公告)号:CN117882271A

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202180101980.2

    申请日:2021-09-09

    Abstract: 电动机(100)的定子(110)具有:定子铁心(1),其是分别具有芯座部(1b)及齿部(1c)的多个定子铁心构件(1a)接合而成的;多个绝缘子(2),它们分别将多个齿部(1c)覆盖;线圈(3),其经由绝缘子(2)卷绕于齿部(1c);以及多个磁体(4),它们以跨过相邻的定子铁心构件(1a)的芯座部(1b)的方式,设置于芯座部(1b)的内周侧的端部和绝缘子(2)之间。

    控制装置及控制方法
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115398585B

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202080099386.X

    申请日:2020-07-27

    Abstract: 控制装置(10)具有:2个端子(101、102);继电器(12),其具有对2个端子(101、102)之间的电流通路的开闭进行切换的触点(121);切换部(13),其将在第1端子(101)与继电器(12)之间连接的第1电阻切换为电阻值不同的多个电阻(R3、R4)的任一者,并且将与第1电阻并联连接的第2电阻切换为电阻值不同的多个电阻(R1、R2)中的与被切换后的第1电阻对应的电阻;电流检测部(14),其对流过第2电阻的电流进行检测;以及控制部(11),其根据触点(121)处于闭合状态时的由电流检测部(14)得到的检测结果对流过触点(121)的交流的过零点进行检测,基于过零点的检测对继电器(12)进行控制,在检测之后的过零点使触点(121)成为开路状态。

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