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公开(公告)号：CN103336027A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310220511.X
申请日：2013-06-05
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法，包括：在柔性衬底表面制作金属电极；制作SWCNTs/SnO2敏感膜；以及将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合，形成用于室温检测的NO2气体传感器。利用本发明，解决了敏感材料与柔性衬底之间粘附性差，分布不均匀的问题，达到了使敏感材料与柔性衬底之间牢固结合，均匀分布的目的。
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公开(公告)号：CN103033538A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210558635.4
申请日：2012-12-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，包括：选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au；剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au，形成Au电极；以及在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层SnO2-PDDAC敏感膜。利用本发明，通过在Cr、Au薄膜上淀积一层SnO2-PDDAC薄膜，以此在常温下检测低浓度的醇类及氨气这类气体。SnO2与PDDAC溶液的混合一方面增强了敏感材料与柔性衬底的粘合，同时还提高了SnO2在常温下对被测气体的响应。
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公开(公告)号：CN102798648A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210266330.6
申请日：2012-07-30
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器敏感膜材料的制备方法，该方法包括：清洗柔性衬底，在柔性衬底上涂敷光刻胶，然后光刻显影，刻蚀掉部分光刻胶形成电极图形；在形成有电极图形的柔性衬底上依次形成Cr层和Au层，并剥离形成Cr/Au电极；然后采用浸涂或丝网印刷等方法在已形成Cr/Au电极的衬底上淀积一层掺杂碳纳米管的聚间氨基苯酚薄膜。本发明提供的这种基于柔性衬底的敏感膜材料，碳纳米管的掺杂完全取代了传统的在聚间氨基苯酚中掺入的浓强酸的作用，除此之外，碳纳米管的掺杂还提高了聚间氨基苯酚材料在常温下对醇类及氨气检测的灵敏度，同时还实现了在柔性衬底上的可操作性。
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公开(公告)号：CN102816995B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201210266804.7
申请日：2012-07-30
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种应用于气体传感器的原位还原法掺杂的敏感膜的制备方法，该方法包括：在衬底上生长一定厚度的Sn；将生长有Sn的衬底浸入含有AgNO3、HAuCl4、H2PtCl6和Pd(NO3)2的溶液中；以及对浸入含有AgNO3、HAuCl4、H2PtCl6和Pd(NO3)2的溶液后的生长有Sn的衬底进行热氧化。利用本发明，掺杂后的敏感膜对CO和H2等气体的敏感度和稳定性都有很大的改善，SnO2敏感膜的粘附性好，可控掺杂性好，而且一致性好，易于批量生产。并且，本发明具有制备方法简单，成本低，易于控制等优点。
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公开(公告)号：CN103308584A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201210060304.8
申请日：2012-03-08
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/414
Abstract: 本发明公开了一种新型场效应晶体管气体传感器，该传感器包括至少两个场效应晶体管，所述至少两个场效应晶体管并列排布，串接排布，或者环状排布，并且以共源、共漏或共源且共漏中一种或者它们的组合连接，其中至少一个场效应晶体管的栅电极作为参考栅电极而不具有敏感膜，其余场效应晶体管的栅电极作为测试栅电极而具有敏感膜。同时还提供了一种制作所述传感器的方法和使用所述传感器进行测试的方法。本发明提供的新型场效应晶体管气体传感器，可以通过改变场效应晶体管的连接方式、排布、参考栅电极和测试栅电极的排列方式以及敏感膜的材料组成，对不同的物质进行检测，且具有功耗低、便于设计加工、物理稳定性好、检测范围灵活多变的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103281087A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310231422.5
申请日：2013-06-09
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M7/30
Abstract: 本发明公开了一种基于多级压缩感知的信号采样系统及方法，该系统包括：多个模拟信号压缩采样器，用于对信号采集端采集的模拟信号x(t)采用压缩传感技术进行首次压缩，将模拟信号x(t)转换为数字信号y(m)，之后将该数字信号y(m)传输到数字信号压缩采样器；多个数字信号压缩采样器，用于对该数字信号y(m)进行第二次压缩，得到传输信号z(m)，并将该传输信号z(m)传输到信号重构恢复装置；信号重构恢复装置，用于对该传输信号z(m)进行两级解压缩，实现对该传输信号z(m)的逐级重构，得到信号采集端采集的模拟信号x(t)。利用本发明，减轻了信号传输压力，使得网络能够传输更多的有用信息。
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公开(公告)号：CN103074627A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310018371.8
申请日：2013-01-17
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: C23C26/00
Abstract: 本发明公开了一种基于置换反应-热氧化方法制备复合半导体敏感膜的方法，该方法包括：在耐高温衬底上生长一层Zn；将生长有Zn的衬底浸入Cu的可溶性盐离子溶液中，溶液中的Cu离子被置换出来进而在Zn表面析出Cu纳米颗粒；对表面附着有Cu纳米颗粒的Zn进行热氧化处理，将Cu纳米颗粒氧化为CuO纳米颗粒，得到掺杂CuO纳米颗粒的ZnO气体敏感膜。本发明的制备方法具有成膜质量好，制备过程简单，成本低，易于控制等优点。
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公开(公告)号：CN103033539A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210558876.9
申请日：2012-12-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，包括：选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au；剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au，形成Au电极；以及在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层掺杂Ag的SnO2敏感膜。本发明通过在Cr、Au薄膜上淀积一层掺杂Ag的SnO2敏感膜，以此在常温下检测低浓度的乙醇气体，通过采用在溶液中进行Ag掺杂，实现了Ag与SnO2的均匀混合，操作工艺简单。另外，Ag的掺杂还提高了SnO2材料在常温下对乙醇气体的响应，同时还实现了在柔性衬底上的可操作性。
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公开(公告)号：CN103033537A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210558369.5
申请日：2012-12-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性衬底的气体传感器敏感膜的制备方法，包括：选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au；剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au，形成Au电极；以及在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积掺杂碳纳米管的rr-P3HT薄膜。利用本发明，制备出能够检测食品变质产生的挥发性有机化合物的气体传感器敏感膜。
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公开(公告)号：CN102965622A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210553829.5
申请日：2012-12-19
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种表面掺杂Au或Pt纳米晶的敏感膜的制备方法，该方法先在耐高温衬底上生长一层SnO2或ZnO敏感膜，然后在该SnO2或ZnO敏感膜上生长一层Au或Pt，最后在退火炉里退火得到表面掺杂Au或Pt纳米晶的SnO2或ZnO敏感膜。利用本发明，可以在SnO2或ZnO敏感膜上掺杂Au/Pt纳米晶颗粒，较为显著提高气体传感器对CO和H2的敏感度、选择性及稳定性。
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