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公开(公告)号：CN103645215B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201310680558.4
申请日：2013-12-12
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性衬底的传感器模块，该传感器模块包括传感器部分及天线部分，二者均以柔性绝缘材料为衬底，并通过导线或夹具连接，其中，传感器部分用于感知外部敏感信号，天线部分用于无线信号的传输及接收，二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。本发明以PI、PET等柔性绝缘材料为衬底，利用各种微电子微加工方法，将传感器及无线发射部分制作于其上并综合在一起，形成了无源无线可折叠且便携性高的组装的新型传感器模块。
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公开(公告)号：CN103346798B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201310220522.8
申请日：2013-06-05
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M7/30
Abstract: 本发明公开了一种低于Nyquist频率的信号采集方法，首先针对输入信号选择合适的变换基矩阵，用该变换基矩阵对信号进行稀疏表示以确定信号的稀疏度k，然后由稀疏度计算出压缩采样的采样次数M，然后分M个信道分别对信号以fNYQ/M进行采样，接着对每个信道的采样值进行积分，即得到M个测量值，然后重构端通过求解优化问题重构出原始信号。本发明以压缩感知理论为基础，能够以远低于Nyquist频率的频率对稀疏信号或者可稀疏表示的信号进行压缩采样，突破了经典的Nyquist采样定理对采样频率的限制，同时该方法实施简单，降低了数据采集、存储、传输以及处理的压力。
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公开(公告)号：CN103072942B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201310017106.8
申请日：2013-01-17
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种制备原位掺杂Pt的NiO有序纳米线阵列的方法，包括：在耐高温绝缘衬底上生长一Ni层；在该Ni层上涂敷光刻胶层，利用电子束光刻在该光刻胶层刻出有序纳米线阵列图形区域，在该有序纳米线阵列图形区域中生长Ni，采用丙酮剥离光刻胶后用离子束刻蚀工艺对Ni层表面进行刻蚀，将衬底表面生长的Ni层刻掉，只留下该有序纳米线阵列图形区域的Ni形成有序Ni纳米线阵列；将该有序Ni纳米线阵列浸入H2PtCl6溶液中，通过置换反应在Ni纳米线阵列上有Pt被置换出来；将附有Pt的Ni纳米线阵列在氧化炉里氧化，得到Pt掺杂的有序NiO纳米线阵列。本发明简单实用，掺杂后的传感器对CO和H2等气体的敏感度和稳定性都将有很大的改善。
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公开(公告)号：CN103532566A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310481362.2
申请日：2013-10-15
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M7/30
Abstract: 本发明公开了一种基于块对角阵观测矩阵构造的信号压缩传感方法，该方法首先由线性反馈移位寄存器得到周期为Q＝2q-1的伪随机序列，q为移位寄存器的级数，任选其中长度为Q的一个序列记为L；然后构造一个M×N的全0矩阵Φ，其中满足N＝C×M，C为大于等于1的整数，且N＝Q+1；接着将矩阵Φ看成C个M×M的方阵，每一个方阵的主对角线上元素依次为L的元素值，由此的矩阵Φ即为观测矩阵；然后利用获得的观测矩阵Φ，将原始高维信号x投影到低维空间y，再由y重构出原始信号x，实现信号的压缩传感。本发明具有重构效果好，硬件实施简单的优点。
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公开(公告)号：CN103033538B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201210558635.4
申请日：2012-12-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，包括：选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au；剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au，形成Au电极；以及在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层SnO2-PDDAC敏感膜。利用本发明，通过在Cr、Au薄膜上淀积一层SnO2-PDDAC薄膜，以此在常温下检测低浓度的醇类及氨气这类气体。SnO2与PDDAC溶液的混合一方面增强了敏感材料与柔性衬底的粘合，同时还提高了SnO2在常温下对被测气体的响应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104202050A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410411971.5
申请日：2014-08-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M1/54
Abstract: 本发明公开了一种多路多斜率的非均匀采样电路，该电路包括一个减法器和多个单斜率非均匀采样器，该多个单斜率非均匀采样器包括多个上采样器和多个下采样器，其中：该多个上采样器并联连接于该减法器的第一输入端Vx，分别以一固定斜率从额定最高点向下对传感器信号进行采样；该多个下采样器并联连接于该减法器的输出端Vout，分别以一固定斜率从额定最低点向上对经该减法器变换后的传感器信号进行采样。利用本发明，使得原来采样电路对于有突起的信号无法采到的点经过负斜率的采样器之后也可以采到，增加了部分采样数据，该电路拓宽了传感器信号的适用频率范围，且降低了传感器信号的带宽，极大的提高了传感器信号的恢复可能性。
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公开(公告)号：CN103878145A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410155237.7
申请日：2014-04-17
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种对硅酸镓镧晶片进行清洗的方法，包括如下步骤：使用由磷酸、双氧水以及去离子水组成的清洗液对硅酸镓镧晶片进行兆声清洗；对清洗后的硅酸镓镧晶片进行漂净并甩干；使用由氨水、双氧水以及去离子水组成的清洗液对硅酸镓镧晶片进行兆声清洗；对清洗后的硅酸镓镧晶片漂净并甩干；将漂净甩干后的晶片放入烘箱中烘干。利用本发明，压缩酸性清洗流程的时间并延长碱性清洗流程的时间，同时利用更为有效的兆声清洗替代传统的超声清洗，解决了切割处理后硅酸镓镧晶片的清洗问题，提高了硅酸镓镧晶片表面的清洁度，取得了较好的清洗效果。
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公开(公告)号：CN103795422B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201410083488.9
申请日：2014-03-07
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M7/30
Abstract: 本发明公开了一种基于压缩感知的一维信号随机采样方法，该方法包括：锯齿波电压信号发生器生成n个编号分别为1，2，3...n的锯齿波电压信号，n为自然数；比较器将该n个锯齿波电压信号与输入信号进行对比，确定锯齿波电压信号与输入信号交点处的时间点k和电压值y，并利用时间点k构造观测矩阵Φ，利用电压值y构造原始信号的测量值Y，进而构造压缩采样方程Y＝ΦX，其中X为原始信号，Y为原始信号的测量值；采用压缩感知理论中的恢复算法对构造的压缩采样方程Y＝ΦX进行重构，由测量值Y和观测矩阵Φ得到原始信号X。本发明能在较低的平均采样率下高概率的重构信号，突破了奈奎斯特频率的限制，降低了硬件要求，降低了硬件实现的成本和难度。
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公开(公告)号：CN103532552B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310469996.6
申请日：2013-10-10
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M1/12
Abstract: 本发明公开了一种随机采样斜率模数转换器，包括依次连接的斜率信号发生器、比较器和计数器，斜率信号发生器产生的参考信号和来自外部的输入信号分别输入比较器的一端在比较器中进行比较，同时计数器开始计数，该随机采样斜率模数转换器还包括：一限幅器，来自外部的该输入信号是通过该限幅器输入比较器的一端，并且该限幅器依据该输入信号的幅值来控制该斜率信号发生器生成不同斜率的参考信号。利用本发明，解决了现有随机采样斜率模数转换器在输入信号幅值较小时采样频率较高以及输入信号幅度值较大时对计数器要求较高的问题。
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公开(公告)号：CN103645215A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201310680558.4
申请日：2013-12-12
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性衬底的传感器模块，该传感器模块包括传感器部分及天线部分，二者均以柔性绝缘材料为衬底，并通过导线或夹具连接，其中，传感器部分用于感知外部敏感信号，天线部分用于无线信号的传输及接收，二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。本发明以PI、PET等柔性绝缘材料为衬底，利用各种微电子微加工方法，将传感器及无线发射部分制作于其上并综合在一起，形成了无源无线可折叠且便携性高的组装的新型传感器模块。
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