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公开(公告)号:CN103033538B
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:CN201210558635.4
申请日:2012-12-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法,包括:选取一柔性衬底,并清洗该柔性衬底;在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶,对该光刻胶进行光刻显影,在该柔性衬底表面形成电极图形;在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au;剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au,形成Au电极;以及在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层SnO2-PDDAC敏感膜。利用本发明,通过在Cr、Au薄膜上淀积一层SnO2-PDDAC薄膜,以此在常温下检测低浓度的醇类及氨气这类气体。SnO2与PDDAC溶液的混合一方面增强了敏感材料与柔性衬底的粘合,同时还提高了SnO2在常温下对被测气体的响应。
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公开(公告)号:CN103878145A
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN201410155237.7
申请日:2014-04-17
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种对硅酸镓镧晶片进行清洗的方法,包括如下步骤:使用由磷酸、双氧水以及去离子水组成的清洗液对硅酸镓镧晶片进行兆声清洗;对清洗后的硅酸镓镧晶片进行漂净并甩干;使用由氨水、双氧水以及去离子水组成的清洗液对硅酸镓镧晶片进行兆声清洗;对清洗后的硅酸镓镧晶片漂净并甩干;将漂净甩干后的晶片放入烘箱中烘干。利用本发明,压缩酸性清洗流程的时间并延长碱性清洗流程的时间,同时利用更为有效的兆声清洗替代传统的超声清洗,解决了切割处理后硅酸镓镧晶片的清洗问题,提高了硅酸镓镧晶片表面的清洁度,取得了较好的清洗效果。
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公开(公告)号:CN102594342A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201210050502.6
申请日:2012-02-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03L7/099
Abstract: 本发明公开了一种压控振荡器。该压控振荡器不但可以有效抑制电源调制引起的杂散频率,还可以抑制锁相环引入的杂散频率,包括鉴相器泄漏杂散、分频杂散、参考源引入的杂散等。另外,该压控振荡器还具有高抗电源干扰能力,从而可改善压控振荡器的相位噪声。同时该压控振荡器的输出功率还可以通过单个器件根据需要进行调整,而不会明显影响到其它性能指标。
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公开(公告)号:CN102487367A
公开(公告)日:2012-06-06
申请号:CN201010571253.6
申请日:2010-12-02
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及一种自适应的功放数字基带预失真方法,具体包括如下步骤:步骤A、判断预失真系统的输入信号及输出信号是否相等,是,则与预失真训练模块断开;否则,执行步骤B;步骤B、采用卡尔曼滤波的记忆多项式系数的训练方法,设定预失真训练模块的待估计的记忆多项式系数为状态变量,建立状态空间模型,利用前一时刻的估计值和当前时刻的采样值更新状态变量,得到当前时刻的估计值。采用本发明的技术方案,相对于传统的预失真方案具有鲁棒性强,收敛速度快的优点,可以满足参数实时更新。
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公开(公告)号:CN118415582A
公开(公告)日:2024-08-02
申请号:CN202310106209.5
申请日:2023-01-31
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本申请公开了一种生理信号的信号处理方法、装置、设备及存储介质,根据原始生理信号的类型,从多个协处理器中确定输入处理器与输出处理器,所述原始生理信号是由主处理器发送的,所述多个协处理器是按照预设顺序连接的;根据所述输入处理器、输出处理器以及所述预设顺序,确定所述原始生理信号对应的处理流程;根据所述处理流程对所述原始生理信号进行处理,获得处理后的生理信号。本申请在信号处理的过程中,各个协处理器之间的信号传输不需要通过主处理器进行转发,降低了总线的占有率,有效提高了信号处理的效率。
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公开(公告)号:CN111669409B
公开(公告)日:2024-02-27
申请号:CN202010673776.5
申请日:2020-07-14
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本申请公开了一种体征数据监控系统,包括可穿戴传感设备及平台,其中可穿戴传感设备对采集的体征数据进行模拟信号处理以及模数转换,并且进一步采用压缩感知方式对体征数据进行了压缩采样,得到压缩采样数据相比于直接采集的体征数据的数据量大大降低,可穿戴传感设备仅需将少量的压缩采样数据发送给平台即可,降低了可穿戴设备的功耗,从而提升了运行时间,能够长时间稳定的对目标对象的体征进行监测。进一步,平台可以对压缩采样数据进行信号恢复,得到恢复后的体征数据,保证了体征数据的正常使用。
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公开(公告)号:CN115389042A
公开(公告)日:2022-11-25
申请号:CN202110499114.5
申请日:2021-05-08
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提供了一种多模式动态监测生物组织表面温度场的方法及装置,针对生物组织表面温度场,尤其是对生物组织表面被烧灼过程中的温度场,采用热电偶、红外成像和三维结构光三种模式融合技术,提供一种大面积的、快速响应的、高精度的以及三维立体的温度场动态监测方法,以解决现有方法中难以大面积测温、实时性差、可靠性不高、不能体现生物组织形变信息等技术问题。
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公开(公告)号:CN103645215B
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201310680558.4
申请日:2013-12-12
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性衬底的传感器模块,该传感器模块包括传感器部分及天线部分,二者均以柔性绝缘材料为衬底,并通过导线或夹具连接,其中,传感器部分用于感知外部敏感信号,天线部分用于无线信号的传输及接收,二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。本发明以PI、PET等柔性绝缘材料为衬底,利用各种微电子微加工方法,将传感器及无线发射部分制作于其上并综合在一起,形成了无源无线可折叠且便携性高的组装的新型传感器模块。
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公开(公告)号:CN103346798B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201310220522.8
申请日:2013-06-05
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M7/30
Abstract: 本发明公开了一种低于Nyquist频率的信号采集方法,首先针对输入信号选择合适的变换基矩阵,用该变换基矩阵对信号进行稀疏表示以确定信号的稀疏度k,然后由稀疏度计算出压缩采样的采样次数M,然后分M个信道分别对信号以fNYQ/M进行采样,接着对每个信道的采样值进行积分,即得到M个测量值,然后重构端通过求解优化问题重构出原始信号。本发明以压缩感知理论为基础,能够以远低于Nyquist频率的频率对稀疏信号或者可稀疏表示的信号进行压缩采样,突破了经典的Nyquist采样定理对采样频率的限制,同时该方法实施简单,降低了数据采集、存储、传输以及处理的压力。
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公开(公告)号:CN103072942B
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201310017106.8
申请日:2013-01-17
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种制备原位掺杂Pt的NiO有序纳米线阵列的方法,包括:在耐高温绝缘衬底上生长一Ni层;在该Ni层上涂敷光刻胶层,利用电子束光刻在该光刻胶层刻出有序纳米线阵列图形区域,在该有序纳米线阵列图形区域中生长Ni,采用丙酮剥离光刻胶后用离子束刻蚀工艺对Ni层表面进行刻蚀,将衬底表面生长的Ni层刻掉,只留下该有序纳米线阵列图形区域的Ni形成有序Ni纳米线阵列;将该有序Ni纳米线阵列浸入H2PtCl6溶液中,通过置换反应在Ni纳米线阵列上有Pt被置换出来;将附有Pt的Ni纳米线阵列在氧化炉里氧化,得到Pt掺杂的有序NiO纳米线阵列。本发明简单实用,掺杂后的传感器对CO和H2等气体的敏感度和稳定性都将有很大的改善。
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