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公开(公告)号:CN1783421A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510128611.5
申请日:2005-11-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor: 广濑贤一
IPC: H01J65/00
Abstract: 本发明提供一种准分子灯装置,去掉划分灯罩与被照射区域的光输出窗而简化装置结构,可实现低成本化,而且避免配置于灯端部近旁的供电部件暴露在活性氧气中来防止氧化,并可减少该部件的劣化和破损的发生。一种准分子灯装置,具备通过电介质的放电来放射紫外光的准分子灯,及收容该准分子灯的灯罩;在灯罩上形成有取出来自上述灯的放射光的开口,通过该开口,灯罩内部空间与处理被处理物的处理室内部空间相连通;其特征在于,在上述准分子灯的至少一方的端部连接有供电部件而形成供电结合部;在灯罩内部,设有分隔形成有供电结合部的灯端部区域和灯罩内部空间的分隔部件。
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公开(公告)号:CN1166256C
公开(公告)日:2004-09-08
申请号:CN99800030.2
申请日:1999-01-11
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H05B41/24
CPC classification number: H05B41/24 , H01J65/046 , H05B41/2806 , Y02B20/22
Abstract: 供电装置(7),通过升压变压器(8)对电介质阻挡层放电灯(1)施加大致周期性波形的高电压。利用与施加电压波形的点火点对应的点(K),满足Vy/Vx=1.0,其中,Vx是Vk-Vf的绝对值,Vy是Vh-Vb的绝对值,Vk是与上述灯施加电压波形的放电开始时对应的点(K)上的电压,Vf是与所述灯施加电压波形的放电开始时对应的点(K)所属放电的前一次放电的放电结束时对灯施加的电压,Vh是在从通过与上述灯施加电压波形的放电开始时对应的点(k)的时刻,到灯施加电压的极性变化为止的期内,表示灯施加电压的绝对值极大的点(U5)的灯施加电压,而Vb是在从与上述灯施加电压波形的放电开始时对应的点(k)到表示上述灯施加电压的绝对值极大的点(U5)的闭区间中绝对值为最小的灯施加电压波形上的点(U4)的灯施加电压。
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公开(公告)号:CN1308835A
公开(公告)日:2001-08-15
申请号:CN99801325.0
申请日:1999-08-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H05B41/3922 , H01J65/046 , H05B41/2806 , Y02B20/22
Abstract: 一种介质阻挡层放电灯光源装置,具有介质阻挡层放电灯B和供电装置,所说的介质阻挡层放电灯B有填充了用以通过介质阻挡层放电生成受激准分子的放电用气体的放电等离子体空间G,并具有将电介质D夹装在用以在上述放电用气体中感应起放电现象的两电极E中的至少一个与上述放电用气体之间的结构,所说的供电装置向上述介质阻挡层放电灯的上述电极E施加高电压,上述供电装置在结构上分割成供电装置前段部M与供电装置后段部S,与上述各介质阻挡层放电灯对应地,各设有一个供电装置后段部S,上述各供电装置前段部M,将共用的DC电源电压1供给上述各供电装置后段部S,上述各供电装置后段部S,借助开关元件与升压变压器T将上述DC电源电压1变换成大致周期波形的交流高电压H,将上述交流高电压H施加到上述介质阻挡层放电灯B的电极E,上述各供电装置后段部S可独立地调整上述交流高电压H的频率,上述供电装置前段部M可调整上述共用的DC电源电压1。
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公开(公告)号:CN1256066A
公开(公告)日:2000-06-07
申请号:CN99800030.2
申请日:1999-01-11
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H05B41/24
CPC classification number: H05B41/24 , H01J65/046 , H05B41/2806 , Y02B20/22
Abstract: 供电装置(7),通过升压变压器(8)对电介质阻挡层放电灯(1)施加大致周期性波形的高电压。利用与施加电压波形的点火点对应的点(K),满足Vy/Vx=1.0,其中,Vx是Vk-Vf的绝对值,Vy是Vh-Vb的绝对值,Vk是与上述灯施加电压波形的放电开始时对应的点(K)上的电压,Vf是与所述灯施加电压波形的放电开始时对应的点(K)所属放电的前一次放电的放电结束时对灯施加的电压,Vh是在从通过与上述灯施加电压波形的放电开始时对应的点(k)的时刻,到灯施加电压的极性变化为止的期内,表示灯施加电压的绝对值极大的点(U5)的灯施加电压,而Vb是在从与上述灯施加电压波形的放电开始时对应的点(k)到表示上述灯施加电压的绝对值极大的点(U5)的闭区间中绝对值为最小的灯施加电压波形上的点(U4)的灯施加电压。
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公开(公告)号:CN111295591A
公开(公告)日:2020-06-16
申请号:CN201880069788.8
申请日:2018-08-07
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使尺寸较大也能够在第一基板与第二基板的接合部实现良好的接合状态的微芯片。一种微芯片,通过由树脂构成的第一基板以及由树脂构成的第二基板接合而成,通过至少形成于第一基板的流路形成用台阶而形成有被所述第一基板与所述第二基板的接合部包围的流路,其特征在于,形成有包围所述接合部的非接触部,所述流路用形成用台阶的侧壁面和与其连续的接合面所成的角度(θ1)满足θ1>90°。
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公开(公告)号:CN1750230B
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200510099983.X
申请日:2005-09-13
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
Abstract: 提供一种即使对超过1000mm的长尺寸灯,也可简单且安全地进行更换,而可避免灯室内或输送室内被污染,可靠度较高的受激准分子灯装置。一种在灯室内收容受激准分子灯,而将来自灯的紫外线照射往外部的受激准分子灯装置,其特征在于,具备在灯室(10)内部平行排列的多个板状框架(110)、成形为大致矩形箱型且底部形成有灯收容部(125)的单元(120)、和被收容于灯收容部的受激准分子灯(121),所述单元(120)被插入相对配置的框架(110、110)之间,同时可取出地被该框架(110、110)支撑。
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公开(公告)号:CN100561662C
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200510128611.5
申请日:2005-11-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor: 广濑贤一
IPC: H01J65/00
Abstract: 本发明提供一种准分子灯装置,去掉划分灯罩与被照射区域的光输出窗而简化装置结构,可实现低成本化,而且避免配置于灯端部近旁的供电部件暴露在活性氧气中来防止氧化,并可减少该部件的劣化和破损的发生。一种准分子灯装置,具备通过电介质的放电来放射紫外光的准分子灯,及收容该准分子灯的灯罩;在灯罩上形成有取出来自上述灯的放射光的开口,通过该开口,灯罩内部空间与处理被处理物的处理室内部空间相连通;其特征在于,在上述准分子灯的至少一方的端部连接有供电部件而形成供电结合部;在灯罩内部,设有分隔形成有供电结合部的灯端部区域和灯罩内部空间的分隔部件。
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公开(公告)号:CN100472705C
公开(公告)日:2009-03-25
申请号:CN200410068636.6
申请日:2004-09-03
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
Abstract: 提供一种构造简单且在放电容器处无因热膨胀所产生的破损,具有放电稳定生成的新颖的构造的准分子灯泡。由使紫外线透过的材料所构成且在内部封入放电用气体的放电容器、使此放电容器的内部朝长度方向延伸的同时对于放电容器的端部气密地封止的内侧电极、配置于放电容器的外面的外侧电极构成的准分子灯泡,其特征为:上述内侧电极,其至少在与外侧电极之间进行放电的部位的外表面,被至少一端是由在放电空间内开放的电介质材料构成的内侧管所覆盖。
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公开(公告)号:CN1822312A
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN200610008559.4
申请日:2006-02-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor: 广濑贤一
Abstract: 本发明提供一种具备吸气剂的准分子灯,其可谋求提高吸气剂的功能并防止照度维持率降低,可谋求灯的长寿化。上述准分子放电灯具有:放电容器,其至少一部分由使紫外线透过的电介质材质构成,且其内部封入放电气体:内侧电极,其在该放电容器内部的长度方向上延伸,并且气密地被封止在放电容器端部的封止部中;以及外侧电极,其被配置在放电容器的外面,该准分子灯的特征在于:在上述放电容器内配置由电介质形成的内侧管;将上述内侧电极插入上述内侧管内,并且在该内侧管的内部配置吸气剂。
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