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公开(公告)号：CN102213867B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201110073302.8
申请日：2011-03-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 本发明提供一种能够进行被处理对象物的光照射面内紫外线照度的面内均匀性高，而且被处理对象物的温度上升少、被处理对象物的光照射面内温度的面内均匀性高的紫外线照射处理的紫外线照射装置。该紫外线照射装置在包含光反应性物质的液晶面板的制造工序中使用，具备由多个光源元件与作为被处理对象物的液晶面板材料相对地并列排列构成的光源单元、以及向上述光源元件的每一个中的外套管的内部供给冷却风的冷却机构，所述多个光源元件的每一个由放射在300nm～400nm的波长上具有发光峰值的光的长条状的灯、以及在内部穿插有该灯的状态下设置的具有光透射性的长条状的外套管构成。
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公开(公告)号：CN102419496B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201110258089.8
申请日：2011-09-02
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 一种提供可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均匀性高的光照射处理的光照射装置。此光照射装置，系具备光源元件而构成，该光源元件，系通过长边方向的两端部通过框体保持，垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，与在该灯插通于内部的状态下，长边方向的两端部通过前述框体保持所设置，并于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的长条的筒状外套管所构成；于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置中对于该外套管加以直接支持的支撑部；该支撑部，系具备与前述灯的4个棱角的角部相接，挟持该灯并加以保持，由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接前述外套管的内面，具备弹性构件的外套管抵接部。
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公开(公告)号：CN101640163B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200910164913.6
申请日：2009-07-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯，抑制将电力供应给准分子灯的供电线与电极进行接合的连接部等的氧化等引起的劣化，提升可靠性，而且寿命长。本发明的准分子灯的一个电极配置于放电容器外部，在该放电容器内部封入有放电用气体，在与该一个电极成对的另一个电极之间配置有介质，在该一个电极及该另一个电极上连接有将电力供应给电极间的导线，将电力经由该导线、该电极、该介质供应给该放电用气体，其中，设有与该放电容器的一个端部连接的以至少5个面区划的空间，该空间通过隔壁与该放电容器隔离，在该空间的外面形成有与上述电极电连接的连接部，该导线经由焊锡连接在该连接部上。
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公开(公告)号：CN102213867A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201110073302.8
申请日：2011-03-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337 , F21V29/02
Abstract: 本发明提供一种能够进行被处理对象物的光照射面内紫外线照度的面内均匀性高，而且被处理对象物的温度上升少、被处理对象物的光照射面内温度的面内均匀性高的紫外线照射处理的紫外线照射装置。该紫外线照射装置在包含光反应性物质的液晶面板的制造工序中使用，具备由多个光源元件与作为被处理对象物的液晶面板材料相对地并列排列构成的光源单元、以及向上述光源元件的每一个中的外套管的内部供给冷却风的冷却机构，所述多个光源元件的每一个由放射在300nm～400nm的波长上具有发光峰值的光的长条状的灯、以及在内部穿插有该灯的状态下设置的具有光透射性的长条状的外套管构成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101136307B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710148159.8
申请日：2007-08-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯的结构，即使液晶面板基板、半导体晶片、磁盘基板、以及光盘基板等逐渐大型化，也适于应对照射紫外光而进行清洁、刻蚀等的基板处理，并且可以实现灯的长寿命化。上述准分子灯在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。
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公开(公告)号：CN102032476B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201010284920.2
申请日：2010-09-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 竹添法隆
Abstract: 本发明涉及具有基座的放电灯以及紫外线照射装置，是针对具有在内部填充放电用气体的电介质构成的发光管，在该发光管的外面将一对电极相对置且在该发光管的一端部设置所述电极的供电机构的具有基座的放电灯，为了提供一种使长型的放电灯能顺利且容易地插入紫外线照射装置的冷却管内的构造。在所述发光管的与供电机构侧端部相反侧的非供电侧端部安装基座，在该基座设置沿发光管进行滑动、导引的导引机构。
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公开(公告)号：CN102709150B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201210164380.3
申请日：2009-04-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供具备准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，该准分子灯被靠近配置于被照射物的导线保持体。一种准分子灯包括：具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在内部封入发光气体的放电容器；设于上述上下两表面的外部电极；及设于放电容器的端部侧的引线保持体，其特征为：引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部与金属薄板所形成的平坦支撑部，通过由引线保持部与平坦支撑部夹持放电容器，引线保持部是将与一个外部电极电连接的一个引线保持在与放电容器的一个面之间，平坦支撑部是与另一个外部电极电连接，而且抵接于放电容器的另一个平坦面。
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公开(公告)号：CN102419496A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110258089.8
申请日：2011-09-02
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 一种提供可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均匀性高的光照射处理的光照射装置。此光照射装置，系具备光源元件而构成，该光源元件，系通过长边方向的两端部通过框体保持，垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，与在该灯插通于内部的状态下，长边方向的两端部通过前述框体保持所设置，并于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的长条的筒状外套管所构成；于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置中对于该外套管加以直接支持的支撑部；该支撑部，系具备与前述灯的4个棱角的角部相接，挟持该灯并加以保持，由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接前述外套管的内面，具备弹性构件的外套管抵接部。
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