液体喷射元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100406259C

    公开(公告)日:2008-07-30

    申请号:CN200510084878.9

    申请日:2005-07-18

    Inventor: 小室博和

    Abstract: 一种用于制造通过喷射出口喷射液体的液体喷射元件的液体喷射元件基板的制造方法,所述液体喷射元件基板包括用于生成喷射液体的能量的能量生成元件和为能量生成元件提供电能的电极,所述方法包括:在所述基板的前表面上形成能量生成元件和与所述能量生成元件电连接的布线的步骤;在所述基板的所述表面上在形成所述布线的位置处形成采用沟槽形式的凹槽的步骤;通过在所述凹槽中充填电极材料形成与所述布线电连接的嵌埋电极的步骤;以及在形成所述嵌埋电极后在后表面使得所述基板变薄以使得所述嵌埋电极暴露在所述基板的后表面,从而提供在所述基板的后表面暴露的电极。

    制造液体排出头基材的方法

    公开(公告)号:CN102009527B

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201010269391.9

    申请日:2010-08-31

    CPC classification number: B41J2/14072 B41J2/1603 B41J2/1634 B41J2202/18

    Abstract: 本发明涉及一种制造液体排出头基材的方法,包括:制备基材,所述基材具有第一表面,所述第一表面设置有产生用于排出液体的能量的元件以及与所述元件连接的电极层;在基材的第二表面上形成凹部,所述第二表面是所述第一表面的相反侧的表面,其中,电极层的一部分充当所述凹部的底面;用绝缘膜覆盖所述基材的表面和形成所述凹部的内部面的底面;通过利用激光除去覆盖所述底面的绝缘膜的一部分,部分地露出所述电极层。

    制造液体排出头基材的方法

    公开(公告)号:CN102009527A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN201010269391.9

    申请日:2010-08-31

    CPC classification number: B41J2/14072 B41J2/1603 B41J2/1634 B41J2202/18

    Abstract: 本发明涉及一种制造液体排出头基材的方法,包括:制备基材,所述基材具有第一表面,所述第一表面设置有产生用于排出液体的能量的元件以及与所述元件连接的电极层;在基材的第二表面上形成凹部,所述第二表面是所述第一表面的相反侧的表面,其中,电极层的一部分充当所述凹部的底面;用绝缘膜覆盖所述基材的表面和形成所述凹部的内部面的底面;通过利用激光除去覆盖所述底面的绝缘膜的一部分,部分地露出所述电极层。

    液体喷头的制造方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1572505A

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN200410059838.4

    申请日:2004-06-22

    Abstract: 本发明提供了一种液体喷头的制造方法,该液体喷头具备基板(11),该基板(11)具有用于从喷出口(16)喷出口液体的电热变换体(13),使该电热变换体(13)与其驱动元件(21~23)导通的电极布线部分(26)和贯通状态的液体供给口(12),该制造方法包括:在形成电极布线部分(26)时使用与电极布线部分(26相同的材料在液体供给口(12)的形成位置形成替换层的工序;形成覆盖替换层的耐腐蚀层的工序;从与形成电热变换体(13)的面相反一侧的面腐蚀基板(11)去除替换层,使成为液体供给口(12)的部分的耐腐蚀层露出的工序;去除该露出的耐腐蚀层在基板(11)上形成液体供给口(12)的工序,能够谋求缩短液体喷头的制造作业工序。

    制造喷液元件的方法
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101143514B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200710169801.0

    申请日:2005-07-18

    Inventor: 小室博和

    Abstract: 一种用于制造喷液元件的制造方法,该喷液元件包括:液体流动通路,该液体流动通路开口于用于喷射液体的喷射出口处;以及能量产生部件,用于产生能量,该能量可用于使得来自液体流动通路的液体通过喷射出口来喷射,该制造方法包括:在基质的正面形成能量产生部件的步骤;在具有通过能量产生部件形成步骤而形成的能量产生部件的侧部上形成顶板部件的步骤,其中,该顶板部件是在其中形成所述液体流动通路和所述喷射出口的部件;以及从基质的背面削薄所述基质的步骤,该基质有通过顶板部件形成步骤而在它上面形成的顶板部件。

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