-
公开(公告)号：CN107176794B
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN201710134890.9
申请日：2017-03-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 通过提供合成石英玻璃块材，用在双折射测定波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该玻璃块材的两个相对表面，通过引导光从其经过而测定该玻璃块材的双折射，基于双折射测定和该基板的尺寸来确定切割厚度，和以确定的切割厚度将该玻璃块材切割，从而制备合成石英玻璃基板。
-
公开(公告)号：CN110561277A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910483955.X
申请日：2019-06-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24C1/04
Abstract: 本发明提供一种合成石英玻璃基板的制造方法，该方法包括将间隔件配置成与合成石英玻璃基板的外周侧面接触，在板材从基板表面凸出的状态下，将所述板材配置成与所述间隔件的外周侧面接触，并且对所述基板表面进行喷砂。
-
公开(公告)号：CN107775523A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710728808.5
申请日：2017-08-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24B37/30 , B24B37/04 , H01L21/304
CPC classification number: B24B29/00 , B24B1/00 , B24B7/07 , B24B23/02 , B24B37/16 , B24B37/30 , B24B37/04 , B24B37/042 , H01L21/304
Abstract: 提供了加工工具，其包括旋转轴(6)，安装在该轴上的抛光板(3)，连接到该抛光板(3)的可伸缩的弹性体片材(4)，连接到该弹性体片材(4)的磨研布(5)，和按压装置，其在多个位置以各自预定的不同压力按压该弹性体片材(4)从而该磨研布的下表面(5)依照在多个位置施加到该弹性体片材(4)的不同的按压力变形到期望的形状。基板通过使该磨研布的变形表面(5)与基板原料接触，和旋转并移动该加工工具以在选定面积抛光该基板来制造。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101856805B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201010190487.6
申请日：2010-04-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C19/00
Abstract: 本发明涉及用于生产大尺寸合成石英玻璃基板的方法。该方法通过测量合成石英玻璃基板原料的前表面和后表面的平面度和平行度，所述合成石英玻璃基板原料的对角线长度至少为1000mm，并基于测量的平面度和平行度的数据部分地去除基板原料的凸起部分和厚的部分，生产大尺寸合成石英玻璃基板。去除步骤包括使用第一加工工具的研磨加工和使用第二加工工具的研磨加工，第一加工工具的直径对应于基板对角线长度的15～50％，第二加工工具具有较小的直径。
-
公开(公告)号：CN101856805A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010190487.6
申请日：2010-04-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C19/00
Abstract: 本发明涉及用于生产大尺寸合成石英玻璃基板的方法。该方法通过测量合成石英玻璃基板原料的前表面和后表面的平面度和平行度，所述合成石英玻璃基板原料的对角线长度至少为1000mm，并基于测量的平面度和平行度的数据部分地去除基板原料的凸起部分和厚的部分，生产大尺寸合成石英玻璃基板。去除步骤包括使用第一加工工具的研磨加工和使用第二加工工具的研磨加工，第一加工工具的直径对应于基板对角线长度的15～50％，第二加工工具具有较小的直径。
-
公开(公告)号：CN101006021A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200680000217.6
申请日：2006-06-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03C19/00 , H01L21/027 , G03F1/14
CPC classification number: G03F7/70791 , C03C19/00 , G02F2001/133302 , G03F1/60
Abstract: 通过将大型玻璃基板材料加工(1)基于基板材料在垂直姿态下的高度数据的整平去除量加上变形修正去除量，来制备用于形成光掩模基板的大型玻璃基板。变形修正去除量是从以下量计算的：(2)基板材料在水平姿态下由于其自身重量而产生的弯曲；(3)由于夹紧在曝光设备中引起的光掩模基板的变形；以及(4)用于支撑母玻璃的台板的精度失真。
-
公开(公告)号：CN302988929S
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201430005990.9
申请日：2014-01-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：用于维护存储箱形状的间隔物。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品具体地用于防止存储箱盖子的变形。3．本外观设计产品的设计要点：各视图所显示的产品形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。5．A-A剖视图为参考图1中沿A-A线的剖视图。使用状态参考图中，标记1指示本设计，标记2指示盖子。参考图2中，标记2指示盖子，标记3指示玻璃基层，标记4指示存储箱，标记5指示存储箱本体。
-
公开(公告)号：CN302988930S
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201430005992.8
申请日：2014-01-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：用于维护存储箱形状的间隔物。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品具体地用于防止存储箱盖子的变形。3．本外观设计产品的设计要点：各视图所显示的产品形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。5．剖视图为参考图1中沿A-A线的剖视图。使用状态参考图中，标记1指示本设计，标记2指示盖子。参考图2中，标记2指示盖子，标记3指示玻璃基层，标记4指示存储箱，标记5指示存储箱本体。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
18
records
(took 0.038 seconds)
