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公开(公告)号:CN205835001U
公开(公告)日:2016-12-28
申请号:CN201620765752.1
申请日:2016-07-20
Applicant: 华侨大学 , 福建晶安光电有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床,包括机台、立式旋转臂、主轴系统、电机、载物盘和负压机构;该机台顶面设有周向间隔布置的装卸位、粗抛位、腐蚀位和精抛位;该立式旋转臂上部固设有悬臂,该主轴系统能相对悬臂上下活动,该电机和载物盘都装接在主轴系统上且电机传动连接载物盘以能带动载物盘转动;该载物盘上设有吸孔,该负压机构接通吸孔;该立式旋转臂设于该周向的轴线处且能绕该轴线转动,通过立式旋转臂转动能将载物盘分别移至装卸位、粗抛位、腐蚀位和精抛位进行相应的加工。它具有如下优点:可对蓝宝石晶片进行上料、腐蚀、抛光和下料复合加工,能够快速获得超光滑无损伤的晶片表面,大大提高了蓝宝石晶片加工效率。
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公开(公告)号:CN207223775U
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:CN201721089685.7
申请日:2017-08-29
Applicant: 华侨大学
IPC: B24D18/00
Abstract: 本实用新型公开了一种凝胶研磨工具制备装置。包括溶胶分散单元和凝胶单元;其中溶胶分散单元包括溶胶池,溶胶池内设搅拌器;凝胶单元包括料缸,料缸内设有活塞,料缸进料口通过进料口单向阀连接溶胶池出料口;料缸出料口内设出料口单向阀;料缸出料口连接一出料嘴,料缸出料口下方设反应池,反应池内有反应液。本实用新型结构简单,易于控制且能够满足连续作业的需要,实现了凝胶研磨工具的自动化批量生产,大大提高了生产率和研磨工具制备稳定性,降低制备成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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