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公开(公告)号:CN101509123B
公开(公告)日:2010-09-08
申请号:CN200910024491.2
申请日:2009-02-24
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明涉及一种低温下制备小尺寸氧化铟锡纳米线材料的方法,属于光电子器件材料技术领域。其主要步骤为在电子束蒸发仪腔体中装入靶材和衬底,关闭电子束蒸发仪的腔体,将腔体内抽真空并烘烤腔体,调节电子束斑,使之打在ITO靶材表面,调节电子束束流,使靶材蒸发后在衬底上的沉积速率为0.2-0.5nm/s,待衬底上达到所需沉积厚度时,停止蒸发,冷却后完成制备。本发明利用常规电子束蒸发装置在较低温度下制备出小尺寸的ITO纳米线材料。所获得的纳米材料不仅具有优异的场发射性能和良好的减反射特性,而且均匀可控,成本低廉,可以实现大面积制备,不需要添加任何催化剂,因此可以在发光、显示和光伏产业中应用。
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公开(公告)号:CN100362375C
公开(公告)日:2008-01-16
申请号:CN200510038851.6
申请日:2005-04-13
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种介电滤波薄膜材料及其制备方法,该材料是在K9玻璃或硅片衬底上用磁控溅射技术,在高纯氩气氛中逐次生长出具有七层结构的薄膜材料,其中第一、三、五、七层为SiO2膜或Si膜,第二、四、六层为Si膜或SiO2膜,用该技术制备时膜厚控制精确,而且材料中间不存在空气间隙层,该材料结构稳定,而且容易控制,并具有在1210纳米至2230纳米的光波波长范围内得到光子禁带,在光通讯波长1.3微米和1.55微米处同时得到光的共振模式的功能,得到的共振峰的峰位精确地控制在光通讯波长1.29微米和1.55微米,与光通讯波长1.30微米和1.55微米的偏差分别为0.77%和0.00%。
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