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公开(公告)号：CN1731083A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510010288.1
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光栅位移传感器计数方式的位置检测装置及其检测方法，它具体涉及基于光栅位移传感器的大行程、高精度、高速度的位置检测装置及其方法，它是为了解决单个精密光栅尺无法同时达到大行程、高速度和高精度的位置检测要求的问题。本发明装置中微米级光栅位移传感器1和纳米级光栅位移传感器2的输出端分别连接计数及切换电路3的两个输入端。本发明采用双光栅位移传感器计数方式，即在高速运动阶段由微米级光栅位移传感器1检测高速位移；当进入低速运动时刻，由纳米级光栅位移传感器2检测系统运动位移。本发明解决了现有的位置检测单元测量高速度与高精度相矛盾的问题，达到了cm级的测量行程、m/s级的测量速度和nm级的测量精度。
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公开(公告)号：CN1593857A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410043692.4
申请日：2004-07-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J3/00
Abstract: 钢带解耦纯平动平面并联机器人，它涉及一种精密定位机构。本发明一号连杆(2)的一端与弯板(10)的一侧铰接，四号连杆(6)的一端与二号电机(5)的转子铰接，一号连杆(2)的另一端与三号连杆(4)的一端及四号连杆(6)的另一端铰接，同步带(9)由销(14)固连在两个带轮(8)上。本发明由一号电机(1)、一号连杆(2)、二号连杆(3)和三号连杆(4)构成了平面闭链的并联机构；由于带轮(8)上连固有同步带(9)，使末端输出模块(7)的转动与一号连杆(2)和弯板(10)之间的铰接轴同步，从而限制了末端输出模块(7)的耦合转动，因而本发明具有结构简单，定位准确且精度高，使机构更加轻巧的优点。
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公开(公告)号：CN119002477A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411034444.7
申请日：2024-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于可变形轮的爬楼机器人的智能爬楼方法，它涉及一种基于可变形轮的移动机器人的智能爬楼方法。本发明现有移动机器人在面对楼梯或台阶类障碍物时所面临的一些挑战，为所设计的基于变形轮的两轮移动机器人搭建了一款智能爬楼梯算法系统。该系统主要包含环境感知子系统、车轮的变形控制和基于变形轮的两轮移动机器人平衡控制子系统以及车轮质心轨迹优化子系统。包含上述子系统的智能爬楼梯算法改善了该机器人爬楼梯的稳定性和轨迹平滑性问题。本发明属于智能设备技术领域。
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公开(公告)号：CN102723298A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210145436.0
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提出一种电磁预紧XY精密运动平台，包括底板组件(1)，底板组件(1)包括底板(5)，在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动平台连接体组件(4)，运动平台连接体组件(4)的上端通过导向连接体(45)与X轴直线电机动子连接杆(25)、Y轴直线电机动子连接杆(28)相连接；运动平台连接体组件(4)的下端通过磁力调节滚动支撑机构的连接体固定台座(36)安装在底板(5)的相应安装平面上，磁力调节滚动支撑机构包括12组电磁铁线圈组件(43)。本发明具有更大的系统刚度、更好的运动精度、更简单适用的X/Y运动解耦方式，适用在生产流水线上进行超大规模集成电路半导体芯片的高速封装作业。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102623375A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210068623.3
申请日：2012-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , F16H37/02 , F16H25/22
CPC classification number: F16H25/20 , F16H25/2204 , F16H2025/2053 , F16H2025/2096
Abstract: 一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置，Z轴驱动装置组件与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内，上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。
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公开(公告)号：CN101865215B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201010225878.7
申请日：2010-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种同轴联接机构，包括次级传动轮(1)、主传动轮轴(2)、联接板(3)，联接螺钉(4)；所述次级传动轮(1)底面具有止口，所述止口上均布第一组螺孔，所述主传动轮轴(2)上均布第二组螺孔，所述联接板(3)上设置有与所述次级传动轮(1)和主传动轮轴(2)上的螺孔相对应的沉头螺孔，所述次级传动轮(1)与所述主传动轮轴(2)间隙配合，所述联接板(3)设置在所述次级传动轮(1)的止口内，对正其沉头螺孔与主传动轮轴(2)配合端面的螺孔，以一组联接螺钉(4)放入联接板(3)的沉头螺孔内并拧紧，使联接板(3)底面与主传动轮轴(2)的端面紧固。螺纹变形自锁不易脱扣。
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公开(公告)号：CN102176424A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110062759.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。方法通过FORK圆心基准试验台提供确定的双臂FORK圆心基准，通过FORK调整夹头来对FORK组合中的圆心进行调整。经过调整，当T轴处于零位时，可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
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公开(公告)号：CN102161199A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110062736.8
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程，适用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。本发明的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴同轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴同轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。
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公开(公告)号：CN102152297A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110062767.3
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/02 , B25J9/08 , H01L21/677
Abstract: 本发明在于提供一种用于硅片传输机器人的串联型R轴扩展机械臂，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径要求过大，而结构本身的限制又使R轴的大臂、小臂及取片臂无法做的更大时，采用串联型R轴扩展机械臂是一种有效的解决途径。串联型R轴扩展机械臂的动力由独立的直线驱动模块输出，由计算机统一控制其工作程序；当需要R轴的回转半径加大时，串联型R轴扩展机械臂的直线驱动模块驱动执行机构开始向前运动，带动FORK组合的工作位置前伸，从而额外获得以R轴旋转中心为圆心、以前伸的FORK组合中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
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