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公开(公告)号：CN102278372B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201110140988.8
申请日：2011-05-27
Applicant: 大连交通大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明专利公开了一种直线超声波悬浮挤压膜静压轴承，包括直线导轨、悬浮轴套、压电叠堆执行器和紧固螺钉，悬浮轴套端面为矩形，悬浮轴套安装在直线导轨上，其特征在于所述直线超声波悬浮挤压膜静压轴承还包括柔性铰链，所述悬浮轴套由四个面通过柔性铰链连接成矩形轴套，悬浮轴套矩形四个面中的一个面上开有贯通宽度的气隙开口，气隙开口的两边设有紧固压电叠堆执行器的竖壁，压电叠堆执行器通过紧固螺钉紧固在竖壁上，由紧固螺钉调整初始预紧力。该轴承系统具有非接触、低磨损、精度高、结构简单、不需要任何附属气源设备等优点，可广泛应用于精密机械，仪器仪表以及气动悬浮定位等设备中。
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公开(公告)号：CN106975984B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN201710312802.X
申请日：2017-05-05
Applicant: 大连交通大学
IPC: B23Q17/09
Abstract: 本发明公开了一种基于薄膜热电偶的智能瞬态铣削测温刀具，通过采用先进的薄膜热电偶瞬态测温方法，结合自行设计的温度采集模块，实现温度数据的自动采集、自动处理、自动存储以及无线传输，其具体包括：安装于温度采集终端固定组件内的温度采集终端；数控刀柄；以及与所述数控刀柄配合连接的面铣刀盘，所述面铣刀盘上固定有薄膜热电偶测温刀片。本发明能够适用于高速切削、薄壁件以及精密和超精密加工，具有响应速度快、测量精度高、能够在生产现场对切削区域瞬态温度进行准确和实时测量等优点。
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公开(公告)号：CN114414077A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210022335.8
申请日：2022-01-10
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明提供一种适用于薄膜热电偶的网络化温度数据采集装置、方法及存储介质，该装置包括：硬件装置、计算机网络、微型计算机，硬件装置通过计算机网络与微型计算机相连；硬件装置采集薄膜热电偶冷端电压和冷端附近温度；计算机网络将采集的薄膜热电偶冷端电压和冷端附近温度传送至微型计算机；微型计算机接收计算机网络传送的数据，并对数据进行处理和显示记录程序。本发明采用分离式上、下位机的结构方案，上、下位机之间通过以太网连接，将硬件装置作为下位机，将微型计算机作为上位机，解决了现有薄膜热电偶温度数据采集装置的采集速度与薄膜热电偶瞬态响应的特性不匹配、硬件通用性不强、冷端补偿方式不灵活以及硬件部署过程繁琐的问题。
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公开(公告)号：CN114242884A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111484467.4
申请日：2021-12-07
Applicant: 大连交通大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/316 , H01L41/337
Abstract: 本发明提供一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器及其制备方法。本发明压电薄膜传感器，包括：螺栓基底，沉积在螺栓基底的头部上的绝缘层薄膜，沉积在绝缘层薄膜上的第一电极薄膜，沉积在第一电极薄膜上的压电薄膜，沉积在压电薄膜上的第二电极薄膜，沉积在第二电极薄膜上的保护层薄膜。本发明将压电薄膜材料通过磁控溅射技术集成到监测基底上，为了防止压电材料产生的电荷泄露，在基底上沉积绝缘薄膜，并且在传感器制备完成后，再在外表面沉积保护薄膜，延长传感器的使用寿命。本发明压电薄膜传感器具有耐高温、耐腐蚀、灵敏度高、动态响应快等优点，采用直流脉冲磁控溅射技术加工效率高，可应用于多种场合，解决实时螺栓应力监测的问题。
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公开(公告)号：CN113324669A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110548219.5
申请日：2021-05-19
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明提供一种可跟随磨损薄膜热电偶温度传感器及其制作方法，本发明传感器，包括基底、固定在基底内的第一补偿导线和第二补偿导线、依次沉积在基底上的第一热电极薄膜和第二热电极薄膜。且第一热电极薄膜和第二热电极薄膜相互搭接构成可跟随磨损的热接点区域，还包括沉积在两个热电极薄膜上的保护薄膜。本发明将引线和基底材料烧结形成一体化楔形结构作为基底，在楔形基底斜面上制备有可跟随传感器测温端磨损的薄膜热电偶热接点区域，最后沉积保护薄膜，具有体积小、可跟随磨损、热接点自更新、寿命长、动态响应速度快、灵敏度高等优点。本发明的技术方案解决了现有技术中存在的摩擦磨损表面瞬态温度监测的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111473875A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010297217.9
申请日：2020-04-15
Applicant: 大连交通大学
IPC: G01K1/12
Abstract: 本发明提供一种用于瞬态高温测量的微小型温度传感器及其制作方法，本发明传感器包括：测温元件和铠装保护套筒，测温元件与铠装保护套筒之间采用耐高温无机胶密封；测温元件包括双孔陶瓷柱、相互平行嵌入所述双孔陶瓷柱的第一金属丝式热电极和第二金属丝式热电极、沉积于所述双孔陶瓷柱端面上并与第一金属丝式热电极和第二金属丝式热电极连接形成热接点薄膜的功能薄膜以及沉积于功能薄膜表面的绝缘保护薄膜。本发明提供的微小型温度传感器，具有结构简单、体积小巧、动态响应迅速等优点，其测温范围为300℃～1500℃，适用于天地往返飞行器等多种航天器及其组件表面瞬态高温的测试。
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公开(公告)号：CN108489627B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201810205202.8
申请日：2018-03-13
Applicant: 大连交通大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明公开了一种嵌入多层PCB板的薄膜热电偶温度传感器、瞬态温度监测系统和方法，所述瞬态温度监测系统包括：位于任意两个需要监测瞬态温度的PCB板之间的薄膜热电偶传感器，且所述薄膜热电偶传感器经由PCB板压合工艺和参数与各所述半固化片和多个PCB板压合成整体；多个半固化片和中间不同层数的PCB板；与所述薄膜热电偶传感器连接的冷端补偿器；与所述冷端补偿器连接的信号放大模块；与所述信号放大模块连接的数据采集模块；以及计算机和上位机软件。本发明实现了对PCB板层间温度的实时准确测量；其具有响应迅速、定位准确方便、测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN110836737A
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：CN201911269312.1
申请日：2019-12-11
Applicant: 大连交通大学
IPC: G01K17/00
Abstract: 本发明提供一种基于高温瞬态热流测量的薄膜热流计及制作方法，本发明结构包括：氧化铝陶瓷基底及设置在氧化铝陶瓷基底上的热电堆薄膜、氧化铝热阻层薄膜以及氧化锆保护层薄膜；热电堆薄膜包括铂铑6和铂铑30热电堆薄膜，由成对的铂铑6和铂铑30贵金属薄膜热电偶串联而成，热电堆薄膜和氧化铝热阻层薄膜共同组成薄膜热流计的热电堆功能薄膜；氧化铝陶瓷基底上开设有两个通孔，通孔内放置引线。本发明用铂铑6贵金属与氧化铝陶瓷基底一体化设计取代了导电银胶，避免了使用导电银胶所带来的引线端硬、脆，易脱落的弊端，同时对引线的固定化，避免了在高温热流震荡情况下的引线脱落的情况，具有结构尺寸小、响应时间快，测量精度高，便于装配等优点。
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公开(公告)号：CN109778131A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910119728.9
申请日：2019-02-18
Applicant: 大连交通大学
IPC: C23C14/35 , C23C14/18 , C25D15/00 , C25D3/12 , C25D5/54 , C25D5/52 , C25D5/18 , C25D5/20 , C23C14/10 , C23C14/04 , C23C28/00 , G01K7/04
Abstract: 本发明公开了一种在C/SiC复合材料表面制备薄膜热电偶的方法，具有如下步骤：S1、C/SiC复合材料表面处理；S2、在C/SiC复合材料上制备导电层；S3、电镀沉积Ni-ZrO2复合层；S4、机械打磨电镀层；S5、抛光Ni-Cr-ZrO2复合过渡层；S6、制备有复合过渡层的C/SiC复合材料表面处理；S7、制备SiO2绝缘膜、薄膜热电偶功能薄膜和SiO2保护膜。本发明制备的Ni-Cr-ZrO2复合过渡层与C/SiC复合材料有良好的结合力，同时可以为薄膜热电偶提供连续平整的附着面，制备出的薄膜热电偶能够满足C/SiC复合材料制造的航空发动机热端部件瞬时表面温度测试需求。
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公开(公告)号：CN108168737A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201810235377.3
申请日：2018-03-21
Applicant: 大连交通大学
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明公开了一种薄膜热电偶标定专用隔离夹持装置，包括：炉管封盖，其固定于温度计量炉炉管上端；支架，其一端固定于所述炉管封盖表面，另一端与导筒固定连接；导筒，其中心固定对齐于所述炉管封盖表面的中心位置；滑动杆，其自所述炉管封盖伸出且上端被置于所述导筒内，并能够通过改变该滑动杆插入到温度计量炉炉管内的长度来调整待测薄膜热电偶在所述温度计量炉炉管内的位置；以及夹持结构，其被固定于所述滑动杆下端且能够调整夹持待测薄膜热电偶的力度。以及夹持结构，其被固定于所述滑动杆下端且能够调整滑动夹片位置以夹持不同尺寸待测薄膜热电偶。本发明具有可实现薄膜热电偶冷端和热端分离，减少外界环境对温度计量炉内温度场稳定的不利影响，避免补偿导线脱落的特点。
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