半导体装置及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN110291620B

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201780086361.4

    申请日:2017-02-14

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置,具有:形成于衬底(1)的第一主面的第一导电型的第一漂移区域(4)、形成于衬底(1)的第一主面且形成至衬底(1)的比第一漂移区域(4)更深的位置的第一导电型的第二漂移区域(41)。还具备:与第二漂移区域相接的第二导电型的阱区域、从阱区域的表面向垂直方向延伸设置的第一导电型的源极区域、与阱区域分开且从第一漂移区域的表面向垂直方向延伸设置的第一导电型的漏极区域。通过沟道之后的电子的流路变宽,因此能够降低电阻。

    半导体装置
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109564876B

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201680088287.5

    申请日:2016-08-10

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置,其具备:栅电极槽,其以与漂移区域、阱区域及源极区域都接触的方式形成;栅电极,其经由绝缘膜而形成于栅电极槽的表面;源电极槽,其与栅电极槽接触;源电极,其与源极区域电连接;栅极配线,其与源电极电绝缘,且以与栅电极接触的方式形成在源电极槽内。

    半导体装置及其制造方法
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113330578B

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN201980089860.8

    申请日:2019-01-21

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置及其制造方法。半导体装置具有:半导体基体(20)、以及配置在半导体基体(20)的第一主电极(30)及第二主电极(40)。半导体基体(20)具有:主电流流动的第一导电型的漂移区域(21)、与主电流的电流通路平行且与漂移区域(21)邻接而配置的第二导电型的柱区(22)、与第二主电极(40)电连接的第一导电型的第二电极连接区域(24)、以及配置在第二电极连接区域(24)与柱区(22)之间且杂质浓度比漂移区域(21)低的第一导电型的低浓度电场缓和区域(25)。

    半导体装置及其制造方法
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116635984B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202080107575.7

    申请日:2020-12-01

    Abstract: 一种半导体装置,具备:漂移区域,其配置在衬底的主面上,杂质浓度比衬底高;第一阱区域,其与漂移区域连接;以及第二阱区域,其与第一阱区域邻接配置,并与漂移区域相对。第二阱区域的杂质浓度比第一阱区域高。在与衬底的主面平行的方向上,经由第一阱区域与漂移区域相对的源极区域与漂移区域之间的距离比第二阱区域与漂移区域之间的距离长。从第二阱区延伸的耗尽层到达漂移区。

    半导体电容器
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109564894B

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN201680088106.9

    申请日:2016-08-05

    Abstract: 本发明提供一种半导体电容器,其能够用由半导体基板构成的电路来应对多种请求。具备半导体基板(2A)、形成于半导体基板(2A)的电极组(4)、绝缘物(2B),形成有多个电容器(C1~C3)。多个电容器(C1~C3)具有在电极组(4)各自之间夹有绝缘物(2B)的构造。多个电容器(C1~C3)设定为电容器(C1~C3)承受规定电压的能力即耐性、和漏电流在电容器(C1~C3)中的流动容易度即电导中的至少一方不同。

    半导体装置及其制造方法
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112514037A

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN201880096084.X

    申请日:2018-07-27

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置及其制造方法。该半导体装置具有:基板(10)、配置在基板(10)的主面的半导体层(20)、以及经由半导体层(20)而在基板(10)之上分离而配置且在导通状态下作为流动的主电流的电流通路的各端部的第一主电极(30)及第二主电极(40),半导体层(20)具有:在主电流流动的第一导电型漂移区(21)、在漂移区(21)的内部配置并与电流通路平行延伸的第二导电型柱区(22)、以及在漂移区(21)与柱区(22)之间的至少一部分配置且杂质浓度比相同导电型的邻接区域低的低浓度区或非掺杂区的任一区即电场缓和区(23)。

    半导体电容器
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109564894A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201680088106.9

    申请日:2016-08-05

    Abstract: 本发明提供一种半导体电容器,其能够用由半导体基板构成的电路来应对多种请求。具备半导体基板(2A)、形成于半导体基板(2A)的电极组(4)、绝缘物(2B),形成有多个电容器(C1~C3)。多个电容器(C1~C3)具有在电极组(4)各自之间夹有绝缘物(2B)的构造。多个电容器(C1~C3)设定为电容器(C1~C3)承受规定电压的能力即耐性、和漏电流在电容器(C1~C3)中的流动容易度即电导中的至少一方不同。

    半导体装置
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109564876A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201680088287.5

    申请日:2016-08-10

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置,其具备:栅电极槽,其以与漂移区域、阱区域及源极区域都接触的方式形成;栅电极,其经由绝缘膜而形成于栅电极槽的表面;源电极槽,其与栅电极槽接触;源电极,其与源极区域电连接;栅极配线,其与源电极电绝缘,且以与栅电极接触的方式形成在源电极槽内。

Patent Agency Ranking