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公开(公告)号：CN107635941A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680033716.9
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2a)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2b)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，其中，通过在搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的开口的上缘(2aa(2ba))侧和下缘(2ab(2bb))侧分别使开口宽度调节构件(8、9)移动，从而基于腔室(2)内外的气压差来调节搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的沿着上下方向的开口宽度。
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公开(公告)号：CN109963820B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201780070959.4
申请日：2017-10-20
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 本发明的玻璃基板(P)的制造装置(10)具备将玻璃基板(P)沿规定的方向(X1)输送的输送装置(11)和表面处理装置(12)。表面处理装置(12)具备：箱体(14)；在箱体(14)中的一个主表面(P1)侧开口的开口部(17)；以相对于开口部(17)能够拆卸的方式安装，且具有用于向一个主表面(P1)供给处理气体(Ga)的供气口(31)的一个或多个供气单元(18)。这里，供气单元(18)安装在开口部(17)中的沿着玻璃基板(P)的输送方向(X1)的多个位置处。
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公开(公告)号：CN109890772B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201780067500.9
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 在将玻璃基板(2)以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)之间形成的处理空间(13)的同时，使用从供气口(14)向处理空间(13)供给且通过排气口(15)从处理空间(13)排出的处理气体(4)，来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，所述供气口(14)设置于主体部(5a)，所述排气口(15)分别设置于主体部(5a)的输送方向的上游侧端部及下游侧端部，此时，在上游侧端部的排气口(15)与下游侧端部的排气口(15)之间，沿着输送方向配置多个供气口(14)，从各供气口(14)供给处理气体(4)。
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公开(公告)号：CN107709259B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201680033810.4
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2aa)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2ab)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，在玻璃基板(3)的搬运路径上的搬入口(2aa)与处理区域(4)之间以及处理区域(4)与搬出口(2ab)之间，分别设置了形成有用于使搬运中的玻璃基板(3)通过的开口(12a)的防风构件(12)。
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公开(公告)号：CN111315700A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201880071795.1
申请日：2018-12-13
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种玻璃板的制造方法，其包括使表面附着有第一液体的玻璃板(G1、G2)与辊(5a、5b)接触的工序。玻璃板(G1、G2)包括第一玻璃板(G1)和与辊(5a、5b)接触的接触长度比第一玻璃板(G1)长的第二玻璃板(G2)。与玻璃板(G1、G2)接触的工序包括液体供给工序，在该液体供给工序中，在使第一玻璃板(G1)与辊(5a、5b)接触的情况下，向该辊(5a、5b)上的与第一玻璃板(G1)不接触的部位施加第二液体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107635941B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201680033716.9
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2a)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2b)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，其中，通过在搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的开口的上缘(2aa(2ba))侧和下缘(2ab(2bb))侧分别使开口宽度调节构件(8、9)移动，从而基于腔室(2)内外的气压差来调节搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的沿着上下方向的开口宽度。
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公开(公告)号：CN110088055A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201780079164.X
申请日：2017-11-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本发明的玻璃基板的制造装置(10)具备用于向成为玻璃基板的板状玻璃的一方的主表面供给处理气体(Ga)而实施规定的表面处理的表面处理装置(11)。表面处理装置(11)具备：处理气体生成装置(16)；将处理气体(Ga)向板状玻璃的一方的主表面供给的供气通道(17)；对处理气体(Ga)实施除害处理的除害装置(18)；将供给到一方的主表面的处理气体(Ga)向除害装置(18)导入的排气通道(19)；以及向供气通道(17)导入无害气体(Gb)的无害气体导入通道(20)。能够向供气通道(17)的比无害气体导入通道(20)与供气通道(17)的汇合位置(P1)靠下游侧的位置导入无害气体(Gb)和处理气体(Ga)中的任一方。
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公开(公告)号：CN107709259A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680033810.4
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2aa)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2ab)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，在玻璃基板(3)的搬运路径上的搬入口(2aa)与处理区域(4)之间以及处理区域(4)与搬出口(2ab)之间，分别设置了形成有用于使搬运中的玻璃基板(3)通过的开口(12a)的防风构件(12)。
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公开(公告)号：CN118843609A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202380028366.7
申请日：2023-04-27
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 玻璃板的清洗装置（1）具备：上旋转轴（13）；以及上清洗构件（15），其设置于上旋转轴（13）的下端部。上旋转轴（13）在内部具备向上清洗构件（15）供给清洗液（CL）的上清洗液供给路（21）。上清洗液供给路（21）具备：流入口（21a），其设置于上旋转轴（13）的上端面，并使从清洗液供给部（6）供给的清洗液（CL）流入；以及流出口（21b），其设置于上旋转轴（13）的下端面，并使从流入口（21a）流入的清洗液（CL）流出。
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公开(公告)号：CN109843822B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN201780064645.3
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(8aa)搬入到腔室(8)内的玻璃基板(2)以平放姿势沿着搬运路径搬运的同时，利用配置在搬运路径上的处理器(5)所供给的处理气体(4)对该玻璃基板的下表面(2a)实施蚀刻处理，之后将处理后的玻璃基板(2)从搬出口(8ab)向腔室(8)外搬出，其中，从配置在腔室(8)内的比搬运路径靠上方侧的吸引口(12a)向腔室(8)外进行排气。
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