-
公开(公告)号：CN107709261A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680038292.5
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(20)以及排气口(24)的下部结构体(10)的上表面与上部结构体(9)的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间(12)内，利用从供气口(20)喷出并被排气口(24)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，此时，在处理空间(12)内，供气口(20)所位于的区域的高度高于排气口(24)所位于的区域的高度。
-
公开(公告)号：CN107709260A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680038286.X
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。
-
公开(公告)号：CN107635941A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680033716.9
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2a)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2b)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，其中，通过在搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的开口的上缘(2aa(2ba))侧和下缘(2ab(2bb))侧分别使开口宽度调节构件(8、9)移动，从而基于腔室(2)内外的气压差来调节搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的沿着上下方向的开口宽度。
-
公开(公告)号：CN113508009B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202080015150.3
申请日：2020-04-06
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 一种玻璃板的制造装置(1)，其具备检测玻璃板(G)的位置的位置检测装置(2)。位置检测装置(2)具备：接触件(21)，其能够以与玻璃板(G)的前端边(Ga)的端面(Ga1)以及侧边(Gb)的端面(Gb1)接触的方式移动；以及伺服马达(24)，其对接触件(21)向端面(Ga1)侧以及端面(Gb1)侧施力，并且检测接触件(21)的位置。
-
公开(公告)号：CN109963820B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201780070959.4
申请日：2017-10-20
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 本发明的玻璃基板(P)的制造装置(10)具备将玻璃基板(P)沿规定的方向(X1)输送的输送装置(11)和表面处理装置(12)。表面处理装置(12)具备：箱体(14)；在箱体(14)中的一个主表面(P1)侧开口的开口部(17)；以相对于开口部(17)能够拆卸的方式安装，且具有用于向一个主表面(P1)供给处理气体(Ga)的供气口(31)的一个或多个供气单元(18)。这里，供气单元(18)安装在开口部(17)中的沿着玻璃基板(P)的输送方向(X1)的多个位置处。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109890772B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201780067500.9
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 在将玻璃基板(2)以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)之间形成的处理空间(13)的同时，使用从供气口(14)向处理空间(13)供给且通过排气口(15)从处理空间(13)排出的处理气体(4)，来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，所述供气口(14)设置于主体部(5a)，所述排气口(15)分别设置于主体部(5a)的输送方向的上游侧端部及下游侧端部，此时，在上游侧端部的排气口(15)与下游侧端部的排气口(15)之间，沿着输送方向配置多个供气口(14)，从各供气口(14)供给处理气体(4)。
-
公开(公告)号：CN107709259B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201680033810.4
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2aa)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2ab)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，在玻璃基板(3)的搬运路径上的搬入口(2aa)与处理区域(4)之间以及处理区域(4)与搬出口(2ab)之间，分别设置了形成有用于使搬运中的玻璃基板(3)通过的开口(12a)的防风构件(12)。
-
公开(公告)号：CN107635941B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201680033716.9
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2a)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2b)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，其中，通过在搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的开口的上缘(2aa(2ba))侧和下缘(2ab(2bb))侧分别使开口宽度调节构件(8、9)移动，从而基于腔室(2)内外的气压差来调节搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的沿着上下方向的开口宽度。
-
公开(公告)号：CN110088055A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201780079164.X
申请日：2017-11-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本发明的玻璃基板的制造装置(10)具备用于向成为玻璃基板的板状玻璃的一方的主表面供给处理气体(Ga)而实施规定的表面处理的表面处理装置(11)。表面处理装置(11)具备：处理气体生成装置(16)；将处理气体(Ga)向板状玻璃的一方的主表面供给的供气通道(17)；对处理气体(Ga)实施除害处理的除害装置(18)；将供给到一方的主表面的处理气体(Ga)向除害装置(18)导入的排气通道(19)；以及向供气通道(17)导入无害气体(Gb)的无害气体导入通道(20)。能够向供气通道(17)的比无害气体导入通道(20)与供气通道(17)的汇合位置(P1)靠下游侧的位置导入无害气体(Gb)和处理气体(Ga)中的任一方。
-
公开(公告)号：CN107709259A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680033810.4
申请日：2016-09-09
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(2aa)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时，在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后，从搬出口(2ab)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3)，在玻璃基板(3)的搬运路径上的搬入口(2aa)与处理区域(4)之间以及处理区域(4)与搬出口(2ab)之间，分别设置了形成有用于使搬运中的玻璃基板(3)通过的开口(12a)的防风构件(12)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
32
records
(took 0.036 seconds)
