板状构件的移送装置及吸附垫

    公开(公告)号:CN102870204A

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN201180022261.8

    申请日:2011-06-06

    CPC classification number: H01L21/6838 B65G49/061 B65G49/067 B65G2249/045

    Abstract: 本发明提供一种板状构件的移送装置及吸附垫。所述板状构件的移送装置在利用经由吸附垫而作用的负压对作为板状构件的玻璃板(P)进行吸附保持的状态下,对板状构件进行移送,其中,吸附垫(30)在内表面具有突起(39),在对与玻璃板(P)的表面重合的保护片(B)进行吸附时,突起(39)贯通保护片(B),且在保护片的由突起形成的贯通部分的周围形成通气部(b1),经由该通气部将玻璃板(P)与保护片(B)一起进行吸附保持。

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