方向性电磁钢板及方向性电磁钢板的制造方法

    公开(公告)号:CN109804105B

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN201780062699.6

    申请日:2017-10-17

    Abstract: 提供被膜密合性及磁特性优异的方向性电磁钢板、及其制造方法。上述方向性电磁钢板是具备钢板、配置于上述钢板上的陶瓷被膜、和配置于上述陶瓷被膜上的绝缘张力氧化物被膜的方向性电磁钢板,上述陶瓷被膜含有氮化物及氧化物,上述氮化物含有选自由Cr、Ti、Zr、Mo、Nb、Si、Al、Ta、Hf、W及Y组成的组中的至少1种元素,上述氧化物具有刚玉型的晶体结构,上述陶瓷被膜的利用纳米压痕法测得的杨氏模量为230GPa以上,上述陶瓷被膜的平均膜厚为0.01μm以上且0.30μm以下,上述绝缘张力氧化物被膜的张力为10MPa以上。

    靶更换装置及表面处理设备

    公开(公告)号:CN111868294B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN201980020468.8

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 本发明提供能够容易地对PVD法中使用的靶进行更换的靶更换装置及使用其的表面处理设备。上述靶更换装置为对靶进行更换的靶更换装置,上述靶用于利用PVD法针对腔室内部的减压空间中的被表面处理材料实施表面处理,上述靶更换装置具备:靶保持部,其保持上述靶;装拆机构,其将上述靶保持部在上述靶与上述减压空间中的上述被表面处理材料相对的位置处以装拆自由的方式安装于上述腔室;和隔离机构,其以开闭自由的方式将安装于上述腔室的上述靶保持部相对于上述减压空间隔离。

    方向性电磁钢板及方向性电磁钢板的制造方法

    公开(公告)号:CN110024058A

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201780073544.2

    申请日:2017-12-06

    Abstract: 本发明提供去应变退火后的被膜密合性及磁特性优异的方向性电磁钢板及其制造方法。上述方向性电磁钢板具有:钢板;配置于上述钢板上的、含有金属元素的金属被膜;被膜层A,其为配置于上述金属被膜上的、氧化物含量小于30质量%的陶瓷被膜;和被膜层B,其为配置于上述被膜层A上的、含有氧化物的绝缘张力被膜,上述金属被膜的厚度为1.0~10.0nm,当将铁的原子半径设为RFe、将上述金属元素的原子半径设为RA时,上述金属元素为下式(1)所示的原子半径比为10%以上的元素。(|RFe-RA|/RFe)×100…(1)。

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