方向性电磁钢板及方向性电磁钢板的制造方法

    公开(公告)号:CN110024058B

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN201780073544.2

    申请日:2017-12-06

    Abstract: 本发明提供去应变退火后的被膜密合性及磁特性优异的方向性电磁钢板及其制造方法。上述方向性电磁钢板具有:钢板;配置于上述钢板上的、含有金属元素的金属被膜;被膜层A,其为配置于上述金属被膜上的、氧化物含量小于30质量%的陶瓷被膜;和被膜层B,其为配置于上述被膜层A上的、含有氧化物的绝缘张力被膜,上述金属被膜的厚度为1.0~10.0nm,当将铁的原子半径设为RFe、将上述金属元素的原子半径设为RA时,上述金属元素为下式(1)所示的原子半径比为10%以上的元素。(|RFe‑RA|/RFe)×100…(1)。

    取向性电磁钢板的制造设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111971760A

    公开(公告)日:2020-11-20

    申请号:CN201980020709.9

    申请日:2019-03-15

    Abstract: 在通过成膜室内的精退火后的取向性电磁钢板的表面上在减压条件下进行成膜。在上述成膜室的入侧配置的多级的入侧减压室随着接近上述成膜室而内压接近上述成膜室的内压。在上述成膜室的出侧配置的多级的出侧减压室随着远离上述成膜室而内压接近大气压。上述入侧减压室及上述出侧减压室具备:分隔板,界定各减压室,并形成有供取向性电磁钢板通板自如的形状的通板孔;及密封垫,配置在上述分隔板的上述通板孔的上下侧。由此,抑制精退火后的取向性电磁钢板的破损。

    方向性电磁钢板及方向性电磁钢板的制造方法

    公开(公告)号:CN109804105A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201780062699.6

    申请日:2017-10-17

    Abstract: 提供被膜密合性及磁特性优异的方向性电磁钢板、及其制造方法。上述方向性电磁钢板是具备钢板、配置于上述钢板上的陶瓷被膜、和配置于上述陶瓷被膜上的绝缘张力氧化物被膜的方向性电磁钢板,上述陶瓷被膜含有氮化物及氧化物,上述氮化物含有选自由Cr、Ti、Zr、Mo、Nb、Si、Al、Ta、Hf、W及Y组成的组中的至少1种元素,上述氧化物具有刚玉型的晶体结构,上述陶瓷被膜的利用纳米压痕法测得的杨氏模量为230GPa以上,上述陶瓷被膜的平均膜厚为0.01μm以上且0.30μm以下,上述绝缘张力氧化物被膜的张力为10MPa以上。

    表面处理设备
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111936663A

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN201980021776.2

    申请日:2019-03-20

    Abstract: 本发明提供能够抑制被成膜材料的抖动的表面处理设备,该表面处理设备通过PVD法在沿纵向输送的被成膜材料的两表面上连续地进行成膜。上述表面处理设备具有腔室,通过PVD法在沿纵向在上述腔室内输送的被成膜材料的两表面上连续地进行成膜,其中,该表面处理设备还具备输送上述被成膜材料的输送机构以及在上述腔室内的上述被成膜材料的两表面侧沿纵向吹送成膜气体的送风机构,将上述成膜气体的风速以米/分钟的单位设为X、将上述被成膜材料的输送速度以米/分钟的单位设为Y时,以X/Y表示的比在0.4~3.0的范围内。

    靶更换装置及表面处理设备

    公开(公告)号:CN111868294A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201980020468.8

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 本发明提供能够容易地对PVD法中使用的靶进行更换的靶更换装置及使用其的表面处理设备。上述靶更换装置为对靶进行更换的靶更换装置,上述靶用于利用PVD法针对腔室内部的减压空间中的被表面处理材料实施表面处理,上述靶更换装置具备:靶保持部,其保持上述靶;装拆机构,其将上述靶保持部在上述靶与上述减压空间中的上述被表面处理材料相对的位置处以装拆自由的方式安装于上述腔室;和隔离机构,其以开闭自由的方式将安装于上述腔室的上述靶保持部相对于上述减压空间隔离。

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