-
公开(公告)号：CN1416129A
公开(公告)日：2003-05-07
申请号：CN02148116.4
申请日：2002-10-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B21/21
CPC classification number: G11B5/5552 , H01L41/0986 , H01L41/313
Abstract: 本发明提供了一种即使进行接合线接合也难在电极金属膜间发生短路的压电体驱动元件，该压电体驱动元件在衬底的一方的面上接合了压电体薄板，在该一方的面上再设置了用于外加使所述压电体薄板伸缩的信号的端子电极；端子电极介于从压电体薄板分离而成的压电体台座在衬底的一方的面上形成。
-
公开(公告)号：CN1405905A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02131881.6
申请日：2002-09-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/332 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/0805 , H01L41/0986
Abstract: 包含至少一个由具有彼此相对的第一面和第二面的薄膜压电体、该第一面上的第一的第一电极金属膜、第二面上的第二电极金属膜构成的单位层叠体，在第一电极金属膜和第二电极金属膜之间设置了由与第一面平行的薄膜压电体表面构成的电极分离面。提供电极金属膜的漏电流少的薄膜压电体元件及其制造方法。
-
公开(公告)号：CN1282189C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN02150611.6
申请日：2002-11-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B21/21
CPC classification number: H01L41/332 , H01L41/314 , Y10S29/001 , Y10S29/016 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155 , Y10T29/4981
Abstract: 这是在第1基板及第2基板上分别形成具有规定形状的主电极膜、压电体薄膜及对向电极膜，然后在使对向电极膜间对向接合的同时，在外周部形成绝缘性树脂膜，接着，进行第2基板的除去、绝缘性树脂膜的腐蚀加工及形成连接电极片等，然后，除去第1基板，从而得到完全分离的薄膜压电体元件的制造方法。依此，提供可改善形状再现性及防止夹持压电体薄膜的电极间的短路不良、无压电特性偏差、高成品率的薄膜压电体元件及其制造方法。
-
公开(公告)号：CN1245768C
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN02131881.6
申请日：2002-09-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/332 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/0805 , H01L41/0986
Abstract: 包含至少一个由具有彼此相对的第一面和第二面的薄膜压电体、该第一面上的第一的第一电极金属膜、第二面上的第二电极金属膜构成的单位层叠体，在第一电极金属膜和第二电极金属膜之间设置了由与第一面平行的薄膜压电体表面构成的电极分离面。提供电极金属膜的漏电流少的薄膜压电体元件及其制造方法。
-
公开(公告)号：CN1505177A
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：CN200310118800.5
申请日：2003-12-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/22 , G11B5/596 , G11B21/10
CPC classification number: G11B5/5552 , G11B5/4873 , H01L41/0986 , H01L41/313 , H01L41/314 , H01L41/332
Abstract: 本发明公开了一种薄膜压电体元件和其制造方法以及使用其的驱动器。其中，将构成薄膜压电体元件的一对第1压电体元件单元以及第2压电体元件单元电结合的第1对向电极以及第2对向电极作为共同的漂移电极。进而将各个压电体元件单元的第1主电极膜以及第2主电极膜接续，在两压电体元件单元之间施加电压。从而，不需要配置接地电极配线而仅仅通过2端子的配线就可以驱动第1压电体元件单元和第2压电体元件单元，从而大幅地简化了配线工序。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1420497A
公开(公告)日：2003-05-28
申请号：CN02146999.7
申请日：2002-09-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内山博一
IPC: G11B21/21
CPC classification number: G11B5/5552 , H01L41/313 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T156/1059
Abstract: 通过在元件形成衬底7的一侧面上形成多个薄膜压电体元件8，在包含这些薄膜压电体元件8的元件形成衬底7的一侧面上覆盖由树脂构成的元件保持膜20后，通过去除形成薄膜压电体元件8的区域的元件形成衬底7，由元件保持膜20保持薄膜压电体元件8，并单个或以规定单位分离元件保持膜25保持的薄膜压电体元件8的方法，仅通过元件保持膜和设置在周围的框结构来将薄膜加工形成的薄膜压电体元件保持在衬底上，改善包含到安装工序的批量生产性。
-
公开(公告)号：CN1417797A
公开(公告)日：2003-05-14
申请号：CN02150611.6
申请日：2002-11-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B21/21
CPC classification number: H01L41/332 , H01L41/314 , Y10S29/001 , Y10S29/016 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155 , Y10T29/4981
Abstract: 这是在第1基板及第2基板上分别形成具有规定形状的主电极膜、压电体薄膜及对向电极膜，然后在使对向电极膜间对向接合的同时，在外周部形成绝缘性树脂膜，接着，进行第2基板的除去、绝缘性树脂膜的腐蚀加工及形成连接电极片等，然后，除去第1基板，从而得到完全分离的薄膜压电体元件的制造方法。依此，提供可改善形状再现性及防止夹持压电体薄膜的电极间的短路不良、无压电特性偏差、高成品率的薄膜压电体元件及其制造方法。
-
公开(公告)号：CN100353579C
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200410008037.5
申请日：2004-03-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/0986 , H01L41/1876 , H01L41/316 , H01L41/332 , H01L2224/18 , H01L2924/3512
Abstract: 一种薄膜压电元件及其制造方法以及执行元件，所述薄膜压电元件层积两层主电极膜和对向电极膜夹持的压电薄膜，并将其形成一对，在电极取出区域设置主电极膜的一部分比压电薄膜突出的区域，设置第一开口部和第二开口部中的至少某一开口部，所述第一开口部形成于所述区域上的绝缘层上，所述第二开口部如下形成，设置在对向电极膜的一部分仅形成有绝缘层的区域，在该区域上的绝缘层上形成所述第二开口部，并具有借由所述开口部和对向电极膜或主电极膜连接并引出至表面层的连接配线。
-
公开(公告)号：CN100351938C
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN02148116.4
申请日：2002-10-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B21/21
CPC classification number: G11B5/5552 , H01L41/0986 , H01L41/313
Abstract: 本发明提供了一种即使进行接合线接合也难在电极金属膜间发生短路的压电体驱动元件，该压电体驱动元件在衬底的一方的面上接合了压电体薄板，在该一方的面上再设置了用于外加使所述压电体薄板伸缩的信号的端子电极；端子电极介于从压电体薄板分离而成的压电体台座在衬底的一方的面上形成。
-
公开(公告)号：CN1472728A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN03147526.4
申请日：2003-07-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B5/5552
Abstract: 本发明为组装性优良，能够避免组装时的破损，并且能高效地使磁头微小变位的压电驱动器和其制造方法，以及使用该压电驱动器的磁头支持装置。该压电驱动器设置第一压电体元件单元、与第一压电体元件单元大致平行的第二压电体元件单元、连接第一压电体元件单元和第二压电体元件单元的第一连接部和第二连接部。在制造工序中，不使第一压电体元件单元和第二压电体元件单元破损，并且不妨碍各压电体元件单元变位。结果，可以得到有高定位精度的磁头定位机构的压电驱动器。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
21
records
(took 0.032 seconds)
