-
公开(公告)号：CN100411214C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200410104967.0
申请日：2004-12-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0933 , B25J7/00 , B25J15/12 , G02B6/3512 , G02B6/352 , G02B6/3578 , G02B6/359 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , H01L41/094 , H01L41/0986
Abstract: 本发明实现一种压电体薄膜装置，包括：由第一电极、第二电极、以及夹在第一电极和第二电极之间且在膜厚方向具有极化矢量并且若通过第一电极和第二电极施加规定值以上的电压则极化矢量颠倒的压电体薄膜构成的压电体薄膜元件；供给使极化矢量颠倒的电压的电源电路；对由所述电源电路向所述压电体薄膜装置供给的电压进行控制，为了使所述极化矢量颠倒而增加所述电压到所述抗电压以上的控制电路，压电体薄膜根据极化矢量的方向具有不同的晶格常数，压电体薄膜元件即使在不外加电压的状态下，也保持与极化矢量的方向对应的不同的变位位置。
-
公开(公告)号：CN1501575B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200310116521.5
申请日：2003-11-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/0986 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/042
Abstract: 一种压电体驱动器的驱动方法。压电体元件(1)具有正的电场侧的极化转变电场强度和负的电场侧的极化转变电场强度的值的绝对值为不同的非对称的极化-电场滞后，在压电体元件(1)的膜厚方向上、并且极化转变电场强度的绝对值小的方向上极化；作为用于使压电体元件(1)在垂直于压电体元件(1)的膜厚方向的方向上位移来进行位置控制的位置控制电压Q1，面对极化转变电场强度的绝对值大的方向，在压电体元件(1)的膜厚方向施加相当于极化转变电场强度的值为0.4以下电场的电压。而且，该方法将恢复压电体元件(1)的极化恶化的极化恢复电压Q2重叠在位置控制电压Q1上，与位置控制电压Q1进行切换施加，或在没有施加位置控制电压Q1时进行施加，由此恢复极化特性的恶化，可以使位移特性长期稳定。
-
公开(公告)号：CN1435878A
公开(公告)日：2003-08-13
申请号：CN03104332.1
申请日：2003-01-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 喜多弘行
CPC classification number: H01L28/56 , H01L41/0805 , H01L41/0986 , H01L41/316 , Y10T428/24917 , Y10T428/24975
Abstract: 本发明的压电调节器的制造方法，包括以下工序：在基板1上形成第1电极膜2，在该第1电极膜2上形成强感应体薄膜3，在该强感应体薄膜3上形成无机保护膜4。然后，在含氧氛围下对无机保护膜4与强感应体薄膜3进行热处理，通过热处理、强感应体薄膜3成分的扩散及无机保护膜4的氧化、在强感应体薄膜3表面形成的氧化扩散层6上形成第2电极膜8。按照这一方法，不会发生强感应体薄膜表面的变质层及裂纹，使强感应特性得到改善。
-
公开(公告)号：CN1240123C
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN03104332.1
申请日：2003-01-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 喜多弘行
CPC classification number: H01L28/56 , H01L41/0805 , H01L41/0986 , H01L41/316 , Y10T428/24917 , Y10T428/24975
Abstract: 本发明的压电调节器的制造方法，包括以下工序：在基板(1)上形成第1电极膜(2)，在该第1电极膜(2)上形成强感应体薄膜(3)，在该强感应体薄膜(3)上形成无机保护膜(4)。然后，在含氧氛围下对无机保护膜(4)与强感应体薄膜(3)进行热处理，通过热处理、强感应体薄膜(3)成分的扩散及无机保护膜(4)的氧化、在强感应体薄膜(3)表面形成的氧化扩散层(6)上形成第2电极膜(8)。按照这一方法，不会发生强感应体薄膜表面的变质层及裂纹，使强感应特性得到改善。
-
公开(公告)号：CN1630117A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN200410104967.0
申请日：2004-12-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0933 , B25J7/00 , B25J15/12 , G02B6/3512 , G02B6/352 , G02B6/3578 , G02B6/359 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , H01L41/094 , H01L41/0986
Abstract: 本发明实现一种压电体薄膜装置，包括：由第一电极、第二电极、以及夹在第一电极和第二电极之间且在膜厚方向具有极化矢量并且若通过第一电极和第二电极施加规定值以上的电压则极化矢量颠倒的压电体薄膜构成的压电体薄膜元件；供给使极化矢量颠倒的电压的电源电路；压电体薄膜根据极化矢量的方向具有不同的晶格常数，压电体薄膜元件即使在不外加电压的状态下，也保持与极化矢量的方向对应的不同的变位位置。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1551380A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410045859.0
申请日：2004-05-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 喜多弘行
CPC classification number: H01L41/0805 , H01L41/0986 , H01L41/1876 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及由第1电极膜、第2电极膜、第1电极膜及第2电极膜所夹的压电体薄膜构成的压电体元件，特征是上述压电体薄膜为氧化物压电体薄膜，其相对化学计量组成上具有0％以上至10％或10％以下的氧缺损量。与处于化学计量组成的氧化状态的氧化物压电体薄膜相比，具有上述氧缺损量的压电体薄膜制成的压电体元件有较大的压电性，而且，在该条件下制作，可以增大成膜速度，从而能改善批量生产性。
-
公开(公告)号：CN1501575A
公开(公告)日：2004-06-02
申请号：CN200310116521.5
申请日：2003-11-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/0986 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/042
Abstract: 一种压电体驱动器的驱动方法。压电体元件(1)具有正的电场侧的极化转变电场强度和负的电场侧的极化转变电场强度的值的绝对值为不同的非对称的极化－电场滞后，在压电体元件(1)的膜厚方向上、并且极化转变电场强度的绝对值小的方向上极化；作为用于使压电体元件(1)在垂直于压电体元件(1)的膜厚方向的方向上位移来进行位置控制的位置控制电压Q1，面对极化转变电场强度的绝对值大的方向，在压电体元件(1)的膜厚方向施加相当于极化转变电场强度的值为0.4以下电场的电压。而且，该方法将恢复压电体元件(1)的极化恶化的极化恢复电压Q2重叠在位置控制电压Q1上，与位置控制电压Q1进行切换施加，或在没有施加位置控制电压Q1时进行施加，由此恢复极化特性的恶化，可以使位移特性长期稳定。
-
公开(公告)号：CN1405905A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02131881.6
申请日：2002-09-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/332 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/0805 , H01L41/0986
Abstract: 包含至少一个由具有彼此相对的第一面和第二面的薄膜压电体、该第一面上的第一的第一电极金属膜、第二面上的第二电极金属膜构成的单位层叠体，在第一电极金属膜和第二电极金属膜之间设置了由与第一面平行的薄膜压电体表面构成的电极分离面。提供电极金属膜的漏电流少的薄膜压电体元件及其制造方法。
-
公开(公告)号：CN100433394C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200410045859.0
申请日：2004-05-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 喜多弘行
CPC classification number: H01L41/0805 , H01L41/0986 , H01L41/1876 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及由第1电极膜、第2电极膜、第1电极膜及第2电极膜所夹的压电体薄膜构成的压电体元件，特征是上述压电体薄膜为氧化物压电体薄膜，其相对化学计量组成上具有0%以上至10%或10%以下的氧缺损量。与处于化学计量组成的氧化状态的氧化物压电体薄膜相比，具有上述氧缺损量的压电体薄膜制成的压电体元件有较大的压电性，而且，在该条件下制作，可以增大成膜速度，从而能改善批量生产性。
-
公开(公告)号：CN1282189C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN02150611.6
申请日：2002-11-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B21/21
CPC classification number: H01L41/332 , H01L41/314 , Y10S29/001 , Y10S29/016 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155 , Y10T29/4981
Abstract: 这是在第1基板及第2基板上分别形成具有规定形状的主电极膜、压电体薄膜及对向电极膜，然后在使对向电极膜间对向接合的同时，在外周部形成绝缘性树脂膜，接着，进行第2基板的除去、绝缘性树脂膜的腐蚀加工及形成连接电极片等，然后，除去第1基板，从而得到完全分离的薄膜压电体元件的制造方法。依此，提供可改善形状再现性及防止夹持压电体薄膜的电极间的短路不良、无压电特性偏差、高成品率的薄膜压电体元件及其制造方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
12
records
(took 0.021 seconds)
