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公开(公告)号：CN100411214C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200410104967.0
申请日：2004-12-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0933 , B25J7/00 , B25J15/12 , G02B6/3512 , G02B6/352 , G02B6/3578 , G02B6/359 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , H01L41/094 , H01L41/0986
Abstract: 本发明实现一种压电体薄膜装置，包括：由第一电极、第二电极、以及夹在第一电极和第二电极之间且在膜厚方向具有极化矢量并且若通过第一电极和第二电极施加规定值以上的电压则极化矢量颠倒的压电体薄膜构成的压电体薄膜元件；供给使极化矢量颠倒的电压的电源电路；对由所述电源电路向所述压电体薄膜装置供给的电压进行控制，为了使所述极化矢量颠倒而增加所述电压到所述抗电压以上的控制电路，压电体薄膜根据极化矢量的方向具有不同的晶格常数，压电体薄膜元件即使在不外加电压的状态下，也保持与极化矢量的方向对应的不同的变位位置。
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公开(公告)号：CN100399597C
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200310118800.5
申请日：2003-12-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/22 , G11B5/596 , G11B21/10
CPC classification number: G11B5/5552 , G11B5/4873 , H01L41/0986 , H01L41/313 , H01L41/314 , H01L41/332
Abstract: 本发明公开了一种薄膜压电体元件和其制造方法以及使用其的驱动器。其中，将构成薄膜压电体元件的一对第1压电体元件单元以及第2压电体元件单元电结合的第1对向电极以及第2对向电极作为共同的漂移电极。进而将各个压电体元件单元的第1主电极膜以及第2主电极膜连接，在两压电体元件单元之间施加电压。从而，不需要配置接地电极配线而仅仅通过2端子的配线就可以驱动第1压电体元件单元和第2压电体元件单元，从而大幅地简化了配线工序。
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公开(公告)号：CN1298060C
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN03119824.4
申请日：2003-03-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/313 , H01L41/316 , Y10T29/42 , Y10T29/49126
Abstract: 本发明的薄膜压电元件的制造方法包括：把形成在基板上的多个薄膜压电元件通过粘接层粘接在暂时固定用基板上以使用该基板和暂时固定用基板夹持薄膜压电元件的工序、通过选择地除去该基板使薄膜压电元件露出的工序、使薄膜压电元件与区划范围部对应地固定具有分隔离各个薄膜电子元件的区划范围部的元件收纳夹具的工序、和在垂直方向上下配置元件收纳夹具通过药液溶解除去粘接层以便将薄膜元件收纳在元件收纳夹具的上述区划范围部中的工序，在从基板上分离薄膜压电元件时，可以彼此隔离地收纳。结果可以提高薄膜压电元件的生产效率和成品率。
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公开(公告)号：CN1251227C
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN02146999.7
申请日：2002-09-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内山博一
IPC: G11B21/21
CPC classification number: G11B5/5552 , H01L41/313 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T156/1059
Abstract: 通过在元件形成衬底(7)的一侧面上形成多个薄膜压电体元件(8)，在包含这些薄膜压电体元件(8)的元件形成衬底(7)的一侧面上覆盖由树脂构成的元件保持膜(20)后，通过去除形成薄膜压电体元件(8)的区域的元件形成衬底(7)，由元件保持膜(20)保持薄膜压电体元件(8)，并单个或以规定单位分离元件保持膜(25)保持的薄膜压电体元件(8)的方法，仅通过元件保持膜和设置在周围的框结构来将薄膜加工形成的薄膜压电体元件保持在衬底上，改善包含到安装工序的批量生产性。
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公开(公告)号：CN1630117A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN200410104967.0
申请日：2004-12-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0933 , B25J7/00 , B25J15/12 , G02B6/3512 , G02B6/352 , G02B6/3578 , G02B6/359 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , H01L41/094 , H01L41/0986
Abstract: 本发明实现一种压电体薄膜装置，包括：由第一电极、第二电极、以及夹在第一电极和第二电极之间且在膜厚方向具有极化矢量并且若通过第一电极和第二电极施加规定值以上的电压则极化矢量颠倒的压电体薄膜构成的压电体薄膜元件；供给使极化矢量颠倒的电压的电源电路；压电体薄膜根据极化矢量的方向具有不同的晶格常数，压电体薄膜元件即使在不外加电压的状态下，也保持与极化矢量的方向对应的不同的变位位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1445871A
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：CN03120000.1
申请日：2003-03-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内山博一
CPC classification number: H01L41/332 , G11B5/484 , G11B5/4853 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/0986 , H01L41/1876
Abstract: 一种薄膜压电元件及其制造方法和使用该薄膜压电元件的执行元件。在本发明的执行元件中，压电体膜由主电极膜和对向电极膜夹着的第一及第二结构体分别形成在两个基板上。第一主电极膜2和第一对向电极膜5分别具有突出部211、511，第二对向电极膜15具有突出部151。具有对粘接上述两个结构体的结构体和突出部211及第二主电极膜12之间、以及突出部511与突出部151之间进行连接的连接配线9。这样，可提供可进行高精度位置控制的执行元件。
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公开(公告)号：CN1442911A
公开(公告)日：2003-09-17
申请号：CN03119824.4
申请日：2003-03-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/313 , H01L41/316 , Y10T29/42 , Y10T29/49126
Abstract: 本发明的薄膜压电元件的制造方法包括：把形成在基板上的多个薄膜压电元件通过粘接层粘接在暂时固定用基板上以使用该基板和暂时固定用基板夹持薄膜压电元件的工序、通过选择地除去该基板使薄膜压电元件露出的工序、使薄膜压电元件与区划范围部对应地固定具有分隔离各个薄膜电子元件的区划范围部的元件收纳夹具的工序、和在垂直方向上下配置元件收纳夹具通过药液溶解除去粘接层以便将薄膜元件收纳在元件收纳夹具的上述区划范围部中的工序，在从基板上分离薄膜压电元件时，可以彼此隔离地收纳。结果可以提高薄膜压电元件的生产效率和成品率。
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公开(公告)号：CN100350644C
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN03120000.1
申请日：2003-03-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内山博一
CPC classification number: H01L41/332 , G11B5/484 , G11B5/4853 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/0986 , H01L41/1876
Abstract: 一种薄膜压电元件及其制造方法和使用该薄膜压电元件的执行元件。在本发明的执行元件中，压电体膜由主电极膜和对向电极膜夹着的第一及第二结构体分别形成在两个基板上。第一主电极膜(2)和第一对向电极膜(5)分别具有突出部(211、511)，第二对向电极膜(15)具有突出部(151)。具有对粘接上述两个结构体的结构体和突出部(211)及第二主电极膜(12)之间、以及突出部(511)与突出部(151)之间进行连接的连接配线(9)。这样，可提供可进行高精度位置控制的执行元件。
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公开(公告)号：CN1251228C
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN02148216.0
申请日：2002-09-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B21/21
CPC classification number: H02N2/10 , G11B5/5552 , H01L41/0986 , H01L41/316 , Y10T29/42 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128
Abstract: 本发明主要涉及进行微小位置决定的致动器装置中使用的薄膜压电体元件及其制造方法。用粘合剂层叠用电极膜夹住的2个压电体薄膜，仅选择地去除第二基板，将第一基板上剩余的各种薄膜加工成具有规定形状的分离的多个结构体。之后，覆盖住上述结构体的露出面来形成绝缘膜和外部连接电极部，从而形成多个薄膜压电元件。然后，覆盖住薄膜压电体元件来涂布树脂，与临时固定用基板粘合后，仅选择地去除第一基板，随后，分离临时固定用基板，把该树脂从压电体元件表面去除，分离多个薄膜压电体元件。通过该方法，可批量生产性高且廉价地提供薄膜压电体元件。
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公开(公告)号：CN1527415A
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN200410008037.5
申请日：2004-03-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/0986 , H01L41/1876 , H01L41/316 , H01L41/332 , H01L2224/18 , H01L2924/3512
Abstract: 一种薄膜压电元件及其制造方法以及执行元件，所述薄膜压电元件层积两层主电极膜和对向电极膜夹持的压电薄膜，并将其形成一对，在电极取出区域设置主电极膜的一部分比压电薄膜突出的区域，设置第一开口部和第二开口部中的至少某一开口部，所述第一开口部形成于所述区域上的绝缘层上，所述第二开口部如下形成，设置在对向电极膜的一部分仅形成有绝缘层的区域，在该区域上的绝缘层上形成所述第二开口部，并具有介由所述开口部和对向电极膜或主电极膜连接并引出至表面层的连接配线。
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