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公开(公告)号：CN1951008A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200580013759.2
申请日：2005-04-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内藤康幸
Abstract: 一种机电滤波器，其能够实现尺寸减小与更高的集成以执行高灵敏度信号感测。机电滤波器使用量子器件作为感测单元以实施微小的高灵敏度的感测。该机电滤波器包括与输入信号谐振的微振子(101)以及布置成与该微振子距离预定间距的感测电极(103)，从而通过感测该微振子与该感测电极之间的静电电容的变化，可以实现在现有技术中难以实现的高灵敏度感测机制。
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公开(公告)号：CN1929067A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610126134.3
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的静电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN1875446A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480031843.2
申请日：2004-12-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种容易制造且表现出适当导通/截止(ON/OFF)电容变化率的精细MEMS开关。该MEMS开关包括：基板(46)；导电梁(42)，形成在基板的表面上；三层结构梁(B1、B2)，形成在基板的表面上并且设置来与导电梁相对。该MEMS开关的特征在于，三层结构梁包括第一导电层(38、40)、第二导电层(30、32)和夹置在第一导电层和第二导电层之间的介电层(34、36)，第一导电层与导电梁(42)相对，导电梁(42)和三层结构梁中至少一个由于静电力在平行于基板的平面上移位，使得导电梁(42)和第一导电层(38、40)彼此接触，以及其中，当导电梁(42)和第一导电层(38、40)彼此接触时，导电路径形成在导电梁(42)和第二导电层(30、32)之间。
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公开(公告)号：CN1277282C
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN03152236.X
申请日：2003-07-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明揭示一种开关。将其活动电极上、下方向的驱动分开，以确保信号传递效率和绝缘性，而且进行信号通断的高速动作。该开关由活动电极、位于活动电极下部的固定电极和位于活动电极长边方向两侧面的活动电极驱动用的固定电极组成。活动电极的侧面形成凹部和凸部，并且在两端隔着空间配置具有对应的凹部和凸部的固定电极。
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公开(公告)号：CN1248273C
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN03152235.1
申请日：2003-07-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , Y10T29/435
Abstract: 本发明的可变电容元件由具有柔性的梁、以及为了在与梁之间形成电容而与梁接近设置的电极构成，在梁与电极之间加上电压，利用静电力使梁挠曲，使两者之间的电容量变化。使挠曲的梁与电极隔着至少在一方的表面上形成的绝缘层接触，通过使接触面积变化，而使电容量变化。另外，将电极分成多个电极，在1个电极形成凹下部分，使其比其它电极表面的高度要低，在梁与凹部对应的电极之间加上电压，将梁吸入凹下部分内，通过这样能够消除摩擦。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1484266A
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：CN03152236.X
申请日：2003-07-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明揭示一种开关。将其活动电极上、下方向的驱动分开，以确保信号传递效率和绝缘性，而且进行信号通断的高速动作。该开关由活动电极、位于活动电极下部的固定电极和位于活动电极长边方向两侧面的活动电极驱动用的固定电极组成。活动电极的侧面形成凹部和凸部，并且在两端隔着空间配置具有对应的凹部和凸部的固定电极。
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公开(公告)号：CN1476033A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN03133185.8
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/40 , H01H2001/0078 , H01H2059/0027
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN100490044C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200610126133.9
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极(4～9)，靠静电力使各梁(1～3)的位置变化、使梁(1～3)间的电容量变化。通过使第1根梁(1)及第2根梁(2)间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁(1、2)能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁(2)对面的第3根梁(3)产生静电力，预先靠近第1根梁(1)及第2根梁(2)，一旦第1根梁(1)及第2根梁间的静电力解除，第2根梁(2)向第3根梁(3)一侧移动，第1根梁(1)及第2根梁(2)的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN101107711A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680002694.6
申请日：2006-06-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内藤康幸
Abstract: 可以实现一种与传统半导体工艺具有高亲和力，具有机械地完全地中断电路的开关功能，并且能够进行非易失性信息记录的存储元件。提供了一种在基底上形成的机电存储器，所述存储器具有通过电极夹置的存储单元和作为介助于支柱部在空气中桥接的梁的可移动电极。通过所述配置，可以以简单结构实现非易失性存储器。即并且可以实现功耗低且和成本低的高性能的机电存储器，和使用其的电气装置。
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公开(公告)号：CN1930777A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580008192.X
申请日：2005-06-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内藤康幸
Abstract: 本发明提供一种机电信号选择装置和使用该机电信号选择装置的电设备，其可以被微型化和高度集成，且可以选择性地仅输出预定频率的信号而不提供任何灵敏振荡感测机构。提供了用作谐振器的微振子。微振子可以被外力激励来激励微振子的振荡。其物理性质依据结构变化而改变的材料被用作微振子。于是，获得了灵敏的机电信号选择装置。
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