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公开(公告)号：CN1977452B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200580021492.1
申请日：2005-07-22
Applicant: 松下电器产业株式会社 , 川胜英树
CPC classification number: H03H3/0076 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H2009/02519
Abstract: 一种扭转谐振器，其防止产生不必要的偏转振动，具有良好的谐振特性。一种振动器，其具有横梁结构或者向其上添加了桨状突起的横梁结构，将所述振动器设计为，由电极和振动器之间的电势差产生的静电力围绕所述振动器的横梁的轴施加力矩，但是不向所述横梁施加用于产生偏转振动的力。一种设计方法提供了这样一种配置，即向电极对上施加相同的AC信号和极性不同的DC偏置电压，所述电极对由在所述振动器的偏振振动的作用下加大了与所述振动器之间的距离的电极和在其作用下降低了其距离的电极构成，由此只激发了扭转振动。
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公开(公告)号：CN100511994C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200480001767.0
申请日：2004-03-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 中村邦彦
Abstract: 通过具有进行机械共振振动的振动体(1)和位于靠近振动体(1)的电极(2)，并且电极(2)的表面形状成为振动体(1)以共振模式变形时的形状地构成机械共振器，使每单位振动位移量的静电电容变化变大，由此可以实现高效地进行电→机械转换或机械→电转换的机械共振器。另外，使用该机械共振器，在高密度集成化的电路中可以实现小型且高性能的滤波电路或开关电路。
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公开(公告)号：CN101467348A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200780022287.6
申请日：2007-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/2463 , H03H3/0072 , H03H9/02244 , H03H9/1057 , H03H9/2405 , H03H9/2457 , H03H2009/02314 , H03H2009/02519
Abstract: 提供了一种振动器和共振器，该振动器在振动时具有小的振动能量散逸和高Q值。具有梁结构的振动器的支持部厚于振动器，且支持部沿梁的长度方向是不对称的。因此，由于支持部的脆弱性得到改善，振动能量从支持部的损耗可以减小，且由于表面粗糙导致的振动能量的损耗减小，具有高Q值的共振器被提供。
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公开(公告)号：CN1275275C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN03801500.5
申请日：2003-06-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2001/0068 , H01H2059/0081
Abstract: 一种能够利用较低的DC电压以较高的速度做出反应并且能够提供高绝缘度的的开关。在该开关中，使用具有微结构(102a、102b和102c)的微结构组(103)，通过微动微结构(102a、102b和102c)而使微结构组作为整体得到较大的移动量。此外，通过这种结构，可以减小施加给微结构(102a、102b和102c)的控制电极(106a、106b、107a、107b、108a、108b、109a和109b)的DC电压。结果，可以实现能够利用较低DC电压以较高速度做出反应的高决绝度开关(100)。
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公开(公告)号：CN1929067B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200610126134.3
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的静电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100568720C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200680000095.0
申请日：2006-01-13
Applicant: 松下电器产业株式会社 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: H03H9/02259 , H03H3/0078 , H03H9/02244 , H03H2009/02519
Abstract: 一种没有桨叶的，并且能够有效振荡的高频扭转振荡器。所述扭转振荡器具有没有桨叶的横截面恒等的梁结构，并且具有经由缝隙贴近所述梁结构的侧表面设置的电极。二者之间的静电电容使得每单位扭转振荡量下的静电电容变化率最大，并且通过调整使得每单位AC电压下的静电电容变化率最大。在采用半导体工艺时，通过控制电极的厚度使这一调整变为可能。此外，所述振荡器采用单晶硅，并采用各向异性蚀刻制作梁形状，由此制造出具有良好的表面属性和高Q值的精密振荡器。
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公开(公告)号：CN1311586C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN03800411.9
申请日：2003-01-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02338 , H01P1/127 , H01P1/20 , H01P1/2013 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/2405 , H03H9/462 , H03H2009/02511 , Y10S977/733
Abstract: 提供一种适应于高频波段的小型、高性能的机械振动式滤波器。通过选取使机械振子微小化的微圆柱梁(5)，使机械共振频率高频化，并将多个微圆柱梁(5)排列成阵列状，在各微圆柱梁(5)的周围以预定的间隙配置共用检测电极(6)来抑制输出信号下降。另外，通过限制一部分机械振子的振动，能够观测并消除从输入信号到输出信号的伴随直接电磁耦合的噪声成分。
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公开(公告)号：CN100490044C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200610126133.9
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极(4～9)，靠静电力使各梁(1～3)的位置变化、使梁(1～3)间的电容量变化。通过使第1根梁(1)及第2根梁(2)间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁(1、2)能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁(2)对面的第3根梁(3)产生静电力，预先靠近第1根梁(1)及第2根梁(2)，一旦第1根梁(1)及第2根梁间的静电力解除，第2根梁(2)向第3根梁(3)一侧移动，第1根梁(1)及第2根梁(2)的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN1977454A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021242.8
申请日：2005-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/2405 , H03H3/0072 , H03H9/02433 , H03H9/462 , H03H2009/02519 , Y10S977/724 , Y10S977/932
Abstract: 本发明涉及一种电动机械滤波器，其能够指定振动模式从而振动器可以只被该振动模式所激发，即能够抑制除指定振动模式以外的振动模式。滤波器包括向其中输入信号的第一元件、与第一元件分开指定距离而设置从而围绕第一元件并被从第一元件输入的信号所引起的静电力所激发的第二元件、与第二元件分开指定距离设置从而围绕第二元件来探测第二元件的振动的第三元件。形成该滤波器使得第二元件通过从第一元件和第二元件受到吸引力而被吸引，且其振动方向是指定的。
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公开(公告)号：CN1592942A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN03801500.5
申请日：2003-06-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2001/0068 , H01H2059/0081
Abstract: 一种能够利用较低的DC电压以较高的速度做出反应并且能够提供高绝缘度的开关。在该开关中，使用具有微结构102a、102b和102c的微结构组103，通过微动微结构102a、102b和102c而使微结构组作为整体得到较大的移动量。此外，通过这种结构，可以减小施加给微结构102a、102b和102c的控制电极106a、106b、107a、107b、108a、108b、109a和109b的DC电压。结果，可以实现能够利用较低DC电压以较高速度做出反应的高绝缘度开关100。
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