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公开(公告)号：CN100547794C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200680002694.6
申请日：2006-06-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内藤康幸
Abstract: 可以实现一种与传统半导体工艺具有高亲和力，具有机械地完全地中断电路的开关功能，并且能够进行非易失性信息记录的存储元件。提供了一种在基底上形成的机电存储器，所述存储器具有通过电极夹置的存储单元和作为介助于支柱部在空气中桥接的梁的可移动电极。通过所述配置，可以以简单结构实现非易失性存储器。即并且可以实现功耗低且和成本低的高性能的机电存储器，和使用其的电气装置。
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公开(公告)号：CN1929066A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610126133.9
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的静电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN1276449C
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN03133185.8
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/40 , H01H2001/0078 , H01H2059/0027
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN1902818B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200480039296.2
申请日：2004-11-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02393 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519
Abstract: 本发明提供了一种能够减小滤波器尺寸、提高集成度和进行调制的电动机械滤波器。该电动机械滤波器包括用作信号线通路的导体(可动电极)(101)、用于产生穿入导体的磁场的磁场产生单元(102)；和驱动电极(103)，用于偏移导体和磁场产生单元的相对位置以改变穿过信号线通路的磁场。通过改变穿过信号线通路的磁场，可以实现通常难以实现的铁磁共振频率的调制。
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公开(公告)号：CN1929067B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200610126134.3
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的静电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101606213A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200880002243.1
申请日：2008-11-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内藤康幸
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/0086 , H01P1/127
Abstract: 本发明提供一种机电元件及使用该机电元件的电气设备。向机电元件输入高电力的信号时，产生由静电力使可动电极无意地被自动驱动的现象。本发明防止这样的现象，实现可靠性高的机电元件。本发明的机电元件是形成在基板上的机电元件，具有通过可动电极与间隙形成的信号电极与驱动电极。通过在可动电极与驱动电极之间施加引力，能够使可动电极接触信号电极。通过可动电极与驱动电极在高频信号的输入端子侧经由绝缘层进行对置，形成大的静电电容。其结果，由于在输入高电力信号的情况下也会降低可动电极与驱动电极之间的电位差，因此能够实现高可靠性的机电元件。
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公开(公告)号：CN100547921C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200580013759.2
申请日：2005-04-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内藤康幸
Abstract: 一种机电滤波器，其能够实现尺寸减小与更高的集成以执行高灵敏度信号感测。机电滤波器使用量子器件作为感测单元以实施微小的高灵敏度的感测。该机电滤波器包括与输入信号谐振的微振子(101)以及布置成与该微振子距离预定间距的感测电极(103)，从而通过感测该微振子与该感测电极之间的静电电容的变化，可以实现在现有技术中难以实现的高灵敏度感测机制。
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公开(公告)号：CN101111911A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200680003608.3
申请日：2006-10-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 内藤康幸
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B3/0005 , B81B2201/018
Abstract: 本发明提供了一种具有长寿命和高可靠性的疏水表面结构的微机电元件以及使用该微机电元件的机电开关。在该微机电元件中，电极的最外表面具有第一区域和第二区域的复合表面结构，该第一区域是由构成该电极的第一材料形成，该第二区域由至少具有疏水性的第二材料形成。采用由该电极材料和单分子层膜的复合表面结构作为该表面结构，可以避免对单分子层的物理压迫。另外，当其中单分子层不形成于射频信号传播路径上的结构被采用时，可以避免插入损耗的增大以及电场损伤。
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公开(公告)号：CN1902818A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200480039296.2
申请日：2004-11-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02393 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519
Abstract: 本发明提供了一种能够减小滤波器尺寸、提高集成度和进行调制的电动机械滤波器。该电动机械滤波器包括用作信号线通路的导体(可动电极)(101)、用于产生穿入导体的磁场的磁场产生单元(102)；和驱动电极(103)，用于偏移导体和磁场产生单元的相对位置以改变穿过信号线通路的磁场。通过改变穿过信号线通路的磁场，可以实现通常难以实现的铁磁共振频率的调制。
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公开(公告)号：CN101048838A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200580036325.4
申请日：2005-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 提供了具有阻止自驱动发生机构的机电开关，以实现高可靠性的机电开关，且还提供了使用该开关的电子设备。本发明的机电开关是形成在基板上的机电开关，且提供有作为信号传输线的固定电极和与固定电极隔开一间隙以悬浮方式形成的可移动电极。绝缘膜设置在固定电极上，而且驱动器形成在可移动电极的周围的柱部分上。因此，实现了迄今为止仍难于实现的设置有防止自驱动发生的可移动电极固定机构的机电开关。
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