公开(公告)号：CN1245768C

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：CN02131881.6

申请日：2002-09-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 喜多弘行 ,  内山博一

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/04

CPC classification number: H01L41/332 ,  G11B5/4873 ,  G11B5/5552 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0986

Abstract: 包含至少一个由具有彼此相对的第一面和第二面的薄膜压电体、该第一面上的第一的第一电极金属膜、第二面上的第二电极金属膜构成的单位层叠体，在第一电极金属膜和第二电极金属膜之间设置了由与第一面平行的薄膜压电体表面构成的电极分离面。提供电极金属膜的漏电流少的薄膜压电体元件及其制造方法。

公开(公告)号：CN1417797A

公开(公告)日：2003-05-14

申请号：CN02150611.6

申请日：2002-11-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 内山博一 ,  小川裕子 ,  喜多弘行

IPC: G11B21/21

CPC classification number: H01L41/332 ,  H01L41/314 ,  Y10S29/001 ,  Y10S29/016 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/4981

Abstract: 这是在第1基板及第2基板上分别形成具有规定形状的主电极膜、压电体薄膜及对向电极膜，然后在使对向电极膜间对向接合的同时，在外周部形成绝缘性树脂膜，接着，进行第2基板的除去、绝缘性树脂膜的腐蚀加工及形成连接电极片等，然后，除去第1基板，从而得到完全分离的薄膜压电体元件的制造方法。依此，提供可改善形状再现性及防止夹持压电体薄膜的电极间的短路不良、无压电特性偏差、高成品率的薄膜压电体元件及其制造方法。